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Umgebungsbedingungen; Werkseinstellungen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON

4.4 Werkseinstellungen

LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Kleinste nachweisbare Leckrate
Formiergas oder Helium
Messbereich
Druck in Testkammer
Zeitkonstante des Leckratensignals

Umgebungsbedingungen

Zulässige Umgebungstemperatur (im
Betrieb)
Max. Höhe über Meeresspiegel
Zulässiges Magnetfeld max.
Max. relative Luftfeuchte über 40 °C
Max. relative Luftfeuchte von 31 °C bis 40
°C
Max. Luftfeuchte bis 31°C
Lagertemperatur
Verschmutzungsgrad
Parameter
AO Exponent obere Grenze
Betriebsart
AQ Kammervolumen
AQ Messzeit
AQ Zerozeit Faktor
Bus-Modul Adresse
Druck Kapillarüberwachung verstopft
– mit XL Sniffer Adapter (Low Flow)
Druck Kapillarüberwachung gebrochen
– mit XL Sniffer Adapter (Low Flow)
Druck Kapillarüberwachung verstopft
– mit XL Sniffer Adapter (High Flow)
Druck Kapillarüberwachung gebrochen
– mit XL Sniffer Adapter (High Flow)
560-600 (Modus AQ)
-7
1 x 10
mbar l/s
6 Dekaden
1 atm
< 1 s
560-300, 560-600
10 °C ... 45 °C
2000 m
7 mT
50%
80% ... 50% (linear abfallend)
80%
-20 °C ... 60 °C
II
Werkseinstellung
-5
1 x 10
Vakuum
1)
AQ
1)
1 l
1)
10 s
1)
4
126
0,4 mbar
0,2 mbar
2 mbar
0,6 mbar
150 mbar
400 mbar
Beschreibung | 4
27 / 144

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Diese Anleitung auch für:

Lds3000 aq

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