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Betriebsart Wählen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON
Drehzahl der Turbomolekularpum-
pe
Adresse RS485
Schnüffeltaster ein/aus
Defaultwert für Int. Prüfleck
Defaultwert Ext. Prüfleck VAC/
SNIF-Mode
Einstellbereich int. Prüfleck
Abgleich Maschinenfaktor
Wertebereich Maschinen-/Schnüf-
felfaktor
Druck: Kapillarüberwachung 20
Analogausgang
Kalibrieraufforderung
Druck-/Leckraten Einheiten (VAC/
SNIF) für alle Schnittstellen
Benutzerberechtigungen
Schlüsselschalter
7.6 Betriebsart wählen
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
LDS2010
nur 2 Drehzahlen
ja, da BUS-fähig
wählbar
1E-15 mbar l/s
1E-7 mbar l/s
10E-7
manuell
Maschinenfaktor: 1E-3...9.9E+3
Schnüffelfaktor: 1E-3...9.9E+3
feste Kennlinien
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min
ja
3 Ebenen über PIN an Gerätebe-
dienung oder Schlüsselschalter
fest eingebaut
Das Gerät verfügt über folgende Betriebsarten:
• Vakuumbetrieb
• Schnüffelbetrieb
• XL Sniffer Adapter (Schnüffelbetrieb mit hoher Flussrate, XL Sniffer Adapter erfor-
derlich).
Das Gerät wechselt automatisch in die Betriebsart "XL Sniffer Adapter", wenn Sie
einen XL Sniffer Adapter anschließen.
Betrieb LDS3000 | 7
LDS3000
über serielle Schnittstelle von
750 Hz bis 1500 Hz einstellbar,
über Gerätebedienung 1000 Hz und
1500 Hz
nein, da nicht Bus-fähig
wählbar
9.9E2 mbar l/s
9.9E2 mbar l/s
1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
manuell/automatisch
Maschinenfaktor: 1E-4...1E+5
Schnüffelfaktor: 1E-4...1E+4
vorhanden, Druck einstellbar
frei konfigurierbar
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min. oder TMP Dreh-
zahl geändert
Bedieneinheit und Rest getrennt
4 Ebenen über Bedieneinheit oder
optionalen Schlüsselschalter
kann, falls benötigt, extern ange-
schlossen werden, siehe "Digitale
Eingänge des I/O-Moduls belegen
[} 96]" (Schlüsselschalter)
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