Interne Kalibrierung Konfigurieren Und Starten - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

INFICON

7.8.2 Interne Kalibrierung konfigurieren und starten

Leckrate Prüfleck
- intern
Prüfleck öffnen/
schließen
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
extern
extern - dynamisch
Voraussetzung für die Kalibrierung mit dem internen Prüfleck ist die einmalige Einga-
be der Leckrate des Prüflecks.
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Prüfleck int. > Prüfleck intern
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck int.
LD-Protokoll Befehl 394
ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:CALleak:INT
Prüfleck öffnen/schließen. Dies wird bei der internen Kalibrierung automatisch durch-
geführt. Wenn das Prüfleck mittels Bedieneinheit oder Schnittstelle geöffnet wurde,
kann keine interne Kalibrierung durchgeführt werden. Das Prüfleck muss in diesem
Fall zuerst wieder geschlossen werden.
0 Zu
1 Auf
Bedieneinheit Funktionen > Ventile > Prüfleck intern öffnen
– Vakuumbetrieb: mit externem Prüfleck in Prüfanlage
– Schnüffelbetrieb: mit externem Prüfleck
– Berücksichtigung der Charakteristika der Prüfanlage
(Druck, Teilstromverhältnis)
– Verstärkertest
– Autotune (Massenabgleich)
– Bestimmung des Kalibrierfaktors, nachdem das Signal des
Prüflecks eingeschwungen ist
– Bestimmung des Untergrunds
– mit externem Prüfleck in Prüfanlage
– Berücksichtigung der Charakteristika der Prüfanlage
(Druck, Teilstromverhältnis, Messzeit)
– Messzeit entsprechend des dynamischen Signalverlaufs
– Verstärkertest
– Bestimmung des Kalibrierfaktors bevor das Signal des
Prüflecks eingeschwungen ist
– Bestimmung des Untergrunds
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