Komponentenverbindungen Herstellen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

INFICON

5.4 Komponentenverbindungen herstellen

LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
• Der Prüfling muss so lange bei ausgeschaltetem ZERO betrieben werden, bis der
Untergrund stabil ist. Erst danach darf die ZERO-Funktion eingeschaltet werden.
Anschluss
ULTRA KnL:
p :
max
p kurzfristig (< 3 s):
max
S:
FINE KnL:
p :
max
p kurzfristig (< 3 s):
max
S:
GROSS KnL:
p :
max
S:
Eine Überschreitung des dauerhaft zulässigen Einlassdrucks generiert die
Warnmeldung "TMP Überhitzung".
HINWEIS
Sachschäden durch Druckstöße
Druckstöße, die den maximalen Einlassdruck überschreiten, beschädigen das
Massenspektrometer-Modul.
- Maximalen Einlassdruck nicht überschreiten.
1
Die Betriebsart Vakuumanschluss und Drehzahl Turbomolekularpumpe nach
vakuumphysikalischen Gegebenheiten der Prüfanlage bestimmen.
2 Das Massenspektrometer-Modul über die Anschlüsse "ULTRA", "FINE", oder
"GROSS" an das Vakuumsystem der Prüfanlage anschließen.
3
Die Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen.
1
Drucksensor PSG500 an einen der GROSS-/FOREPUMP-Anschlüsse
anschließen.
2
Vorvakuumpumpe an den zweiten GROSS/FOREPUMP-Anschluss
anschließen.
3 Für den Schnüffelbetrieb Schnüffelleitung an einen der FINE-/SNIFFER-
Anschlüsse anschließen.
Drehzahl Turbomolekularpumpe
1000 Hz 1500 Hz
-12
5 x 10 mbar l/s 1 x 10
0,2 mbar 0,2 mbar
0,2 mbar 0,4 mbar
5 l/s 6 l/s
-11
1 x 10 mbar l/s 5 x 10
0,9 mbar 0,4 mbar
0,9 mbar 0,7 mbar
1,8 l/s 2,5 l/s
-9
1 x 10 mbar l/s 2 x 10
18 mbar 15 mbar
abhängig von der Vorvakuumpumpe
Montage LDS3000 | 5
-11
mbar l/s
-11
mbar l/s
-8
mbar l/s
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