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Gerät Kalibrieren; Zeitpunkt Und Generelle Voreinstellungen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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INFICON
8.9 Gerät kalibrieren

8.9.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen

LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Mindestgröße für die Leckrate des Prüflecks
Um eine stabile Kalibrierung durchführen zu können, empfehlen wir eine Mindestgrö-
ße für die Leckrate des verwendeten Prüflecks.
Bei Beibehaltung der vom AQ-Assistenten vorgeschlagenen Messzeit sollte die Leck-
rate folgenden Wert nicht unterschreiten:
- Bei der Verwendung von Formiergas den gewählten Schwellenwert (Trigger 1)
- Bei Verwendung von Helium 1/5 des gewählten Schwellenwerts (Trigger 1)
Falls die Leckrate des verwendeten Prüflecks zu gering ist, wird zum Start oder zum
Abschluss der Kalibrierung eine Fehlermeldung ausgegeben.
Die folgenden Angaben beziehen sich auf eine CU1000, die für die Nutzung des
LDS3000 AQ angepasst wurde.
ü Die gewünschte Einheit, in der Sie die Leckrate eintragen wollen, ist eingestellt. So-
fern die in Ihrem System angezeigte Einheit der Leckrate von der Angabe der Ein-
heit auf dem Prüfleck abweicht, stellen Sie zumindest vorübergehend die Einheit
wie auf dem Prüfleck angegeben ein. Siehe auch "Einheit für die Leckrate wählen
[} 42]".
1
Hauptmenü > Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext.
2
Tragen Sie das gewünschte Gas und die zugehörige Leckrate ein.
(LD Protokoll: Befehl 390
ASCII-Protokoll: *CONFig:CALleak:EXTVac)
HINWEIS
Falsche Kalibrierung durch zu niedrige Betriebstemperatur
Wird das Gerät im kalten Zustand kalibriert, kann es falsche Messergebnisse liefern.
► Für eine optimale Genauigkeit sollte das Gerät mindestens 60 Minuten eingeschal-
tet gewesen sein.
Es wird empfohlen, das Gerät einmal pro Schicht in den gewünschten Betriebsarten
und für die gewünschten Gase zu kalibrieren. Danach können Sie ohne Neu-Kalibrie-
rung zwischen den Betriebsarten und Gasen wechseln.
Ferner ist eine Kalibrierung nach einer Kalibrierungs-Aufforderung durch das System
notwendig.
Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) | 8
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