Interne Kalibrierung Konfigurieren Und Starten - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

7 | Betrieb LDS3000

7.8.2 Interne Kalibrierung konfigurieren und starten

Leckrate Prüfleck
- intern
Prüfleck öffnen/
schließen
50 / 144
extern
extern - dynamisch
Voraussetzung für die Kalibrierung mit dem internen Prüfleck ist die einmalige
Eingabe der Leckrate des Prüflecks.
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Prüfleck int. > Prüfleck intern
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck int.
LD-Protokoll Befehl 394
ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:CALleak:INT
Prüfleck öffnen/schließen. Dies wird bei der internen Kalibrierung automatisch
durchgeführt. Wenn das Prüfleck mittels Bedieneinheit oder Schnittstelle geöffnet
wurde, kann keine interne Kalibrierung durchgeführt werden. Das Prüfleck muss in
diesem Fall zuerst wieder geschlossen werden.
0 Zu
1 Auf
Bedieneinheit Funktionen > Ventile > Prüfleck intern öffnen
– Vakuumbetrieb: mit externem Prüfleck in Prüfanlage
– Schnüffelbetrieb: mit externem Prüfleck
– Berücksichtigung der Charakteristika der Prüfanlage
(Druck, Teilstromverhältnis)
– Verstärkertest
– Autotune (Massenabgleich)
– Bestimmung des Kalibrierfaktors, nachdem das Signal des
Prüflecks eingeschwungen ist
– Bestimmung des Untergrunds
– mit externem Prüfleck in Prüfanlage
– Berücksichtigung der Charakteristika der Prüfanlage
(Druck, Teilstromverhältnis, Messzeit)
– Messzeit entsprechend des dynamischen Signalverlaufs
– Verstärkertest
– Bestimmung des Kalibrierfaktors bevor das Signal des
Prüflecks eingeschwungen ist
– Bestimmung des Untergrunds
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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