Komponenten Auswählen Und Verbindungen Herstellen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

6 | Montage LDS3000 AQ (Akkumulation)
6.3 Komponenten auswählen und Verbindungen
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herstellen
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Abb. 12: Akkumulation: Überblick über den Aufbau
1 Messkammer mit Lüfter
2 ISO-KF DN16
3 Einlassmodul
4 Wellschlauch
5 Blindflansch
6 Massenspektrometer-Modul
ü Sie verfügen über das Massenspektrometer-Modul (Akkumulation) von INFICON,
einen Wellschlauch und die abgebildeten Verbindungen.
ü Sie verfügen über eine trockene Vorvakuumpumpe mit eigener Stromversorgung.
Sie können alle trockenen Vakuumpumpen mit einem Gasdurchfluss von mehr als
60 sccm bei einem Basisdruck von unter 5 mbar verwenden. In dieser Anleitung
wird die Verwendung der trockenen INFICON-Vorpumpe (Katalog-Nummer
560-630) beschrieben.
ü Sie verfügen über eine geeignete Messkammer.
Die Messkammer muss dicht sein. Das Nettovolumen, also das Messkammer-Volu-
men minus Volumen des Prüfobjekts, muss im Bereich zwischen 0,1 und 10000 Li-
tern liegen. Die Messkammer sollte nicht größer als nötig sein, aber das Prüfobjekt
darf die Wände nicht berühren.
Die Messkammer muss einen Lüfter enthalten, der Luft auf das Prüfobjekt bläst.
Das durch das Leck austretende Helium/Formiergas wird durch den Lüfter gleich-
mäßig in der Messkammer verteilt.
1 2 4
3
4 11
4 10
7 Netzteil 24 V
8 Trockene Vorpumpe mit separater
9 Schlauch ID 10
10 Gerade-Verbinder 8 auf 10 mm
11 Adapter auf DN16
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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Stromversorgung
INFICON
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