Externe Kalibrierung - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Prüfleck öffnen/
schließen
6.5.2

Externe Kalibrierung

Leckrate Prüfleck
extern Vakuum
30
Betrieb
Prüfleck öffnen/schließen. Wenn das Prüfleck mittels Bedieneinheit oder Schnitt-
stelle geöffnet wurde, kann keine interne Kalibrierung durchgeführt werden. Das
Prüfleck muss zuerst wieder geschlossen werden.
– 0 Zu
– 1 Auf
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
► Kalibrierung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > intern
LD-Protokoll: 4, Parameter 0
ASCII-Protokoll: *CAL:INT
IO1000: CAL intern, siehe
 Kalibrierung wird automatisch durchgeführt.
Falsche Kalibrierung durch zu niedrige Betriebstemperatur
Wird das Gerät im kalten Zustand kalibriert, kann es falsche Messergebnisse lie-
fern.
► Das Gerät muss vor der Kalibrierung mindestens 20 Minuten eingeschaltet ge-
wesen sein.
Voraussetzungen für die Kalibrierung mit dem externen Prüfleck, ist die einmalige
Eingabe der Leckrate des Prüflecks und ein geöffnetes Prüfleck.
Im Vakuumbetrieb wird das Prüfleck in oder an die Prüfanlage montiert und vor der
Kalibrierung geöffnet.
Beim Schnüffelbetrieb wird mit der Schnüffel-Leitung am stets geöffneten Prüfleck
geschnüffelt.
Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll.
Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich.
Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Funktionen > Ventile > Prüfleck intern öffnen
Befehl 12
Befehl *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF)
Seite 48
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten >
Vakuum > Prüfleck ext. > Masse 2 (3, 4) >
Prüfleck extern VAC H2 (M3, He)
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext.
(für aktuelle Masse in gewählter Einheit)
Befehl 390
Befehl *CONFig:CALleak:EXTVac (für aktuelle Masse in ge-
wählter Einheit)