Vorvakuumpumpe Dekontaminieren; Einheit Für Die Leckrate Wählen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Filter-Umschaltleck-
rate einstellen
Filter-ZERO-Zeit ein-
stellen
6.11

Vorvakuumpumpe dekontaminieren

Gasballastventil steu-
ern
6.12 Einheit für die Leckrate wählen
Leckrateneinheit
Anzeige
Leckrate-Hintergrund für die Mittelungsdauer in mbar l/s. Unterhalb dieses Wertes
ist die Mittelungsdauer 10,24 s. Oberhalb dieses Wertes ist die Mittelungsdauer
160 ms (gilt nur für zweistufige Filter)
1E-11 ... 9.9E-3
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Update-Intervall für den Offset-Wert bei negativem Leckraten-Signal (außer für den
I•CAL-Filter).
Auflösung 0,1 s (50 = 5,0 s)
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Das Massenspektrometer-Modul kann über den Anschluss „Output" ein elektrisches
24-V-Gasballastventil der Vorvakuumpumpe steuern.
Gasballastventil über digitale Ausgänge steuern.
– 0 Aus
– 1 Ein
– 2 Dauernd Ein
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Wählen der Leckrateneinheit in der Anzeige für Vakuum bzw. Schnüffeln
– 0 mbar l/s
3
– 1 Pa m /s
– 2 atm cc/s
– 3 Torr l/s
– 4 ppm (nicht VAC)
– 5 g/a (nicht VAC)
– 6 oz/yr (nicht VAC)
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Einstellungen > ZERO/Filter > Einstellungen Filter > 2-stufig
Befehl 403
Befehl *CONFig:LRFilter
Einstellungen > ZERO/Filter > Einstellungen Filter > ZERO
Zeit
Befehl 411
Befehl *CONFig:ZEROTIME
Funktionen > Ventile > Prüfleck intern öffnen
Befehl 228
–
Anzeige > Einheiten (Anzeige) > Leckrateneinheit VAC
(SNIF)
Befehl 396 (Vakuum)
Befehl 396 (Schnüffeln)
Befehl *CONFig:UNIT:VACDisplay
Befehl *CONFig:UNIT:SNDisplay
41
Betrieb