Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

7 | Betrieb LDS3000
7.8.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen
7.8.8.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen
Maschinenfaktor
einstellen
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LD-Protokoll Befehl 520
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:CALVac
Die interne Kalibrierung kalibriert ausschließlich das von der Prüfanlage entkoppelte
Messsystem des Massenspektrometer-Moduls. Wenn das Messsystem nach einer
internen Kalibrierung aber parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird
(nach dem Teilstromprinzip), gibt das Messsystem die Leckrate entsprechend dem
Teilstromverhältnis zu klein an. Mit Hilfe eines korrigierenden Maschinenfaktors für
den Vakuumbetrieb und eines Schnüffelfaktors für den Schnüffelbetrieb gibt das
Messsystem die tatsächliche Leckrate an. Mit den Faktoren wird also das Verhältnis
des effektiven Saugvermögens des Messsystem im Vergleich zum Saugvermögen
des Messsystems an der Prüfanlage berücksichtigt.
ü Massenspektrometer-Modul intern kalibriert.
1
Externes Prüfleck mit Prüfanlage messen.
ð Das Gerät gibt die Leckrate entsprechend des Teilstromverhältnisses zu klein
an.
2
Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor einstellen, siehe unten.
ð Das Gerät zeigt die tatsächliche Leckrate an.
Geräte im Modus AQ:
Der Maschinenfaktor "1" ist voreingestellt. Diese Einstellung soll nicht geändert
werden.
Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen
Kalibrierung im Vakuumbetrieb.
Sollte ohne die Option Internes Prüfleck auf Wert 1,00 stehen. Bei Ändern des
Wertes wird die aus der Änderung resultierende Leckrate angezeigt. So wird der
Abgleich vereinfacht.
Wertebereich 1E-4...1E+5
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > -
Maschinenfak. > Masse 2 (3, 4) > Maschinenfaktor VAC H2 (M3,
He)
LD-Protokoll Befehl 522
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:FACMachine
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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