Maschinen- Und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

6.5.7.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen
Maschinenfaktor ein-
stellen
Schnüffelfaktor
einstellen
6.5.7.2 Maschinen- und Schnüffelfaktor per Maschinenkalibrierung einstellen
 Massenspektrometer-Modul intern kalibriert.
1 Externes Prüfleck mit Prüfanlage messen.
 Das Gerät gibt die Leckrate entsprechend des Teilstromverhältnisses zu klein an.
2 Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor einstellen, siehe unten.
 Das Gerät zeigt die tatsächliche Leckrate an.
Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie-
rung im Vakuumbetrieb.
Sollte ohne die Option Internes Prüfleck auf Wert 1,00 stehen. Bei Ändern des Wer-
tes wird die aus der Änderung resultierende Leckrate angezeigt. So wird der Ab-
gleich vereinfacht.
– Maschinenfaktor Masse 2
– Maschinenfaktor Masse 3
– Maschinenfaktor Masse 4
Wertebereich 1E-4...1E+5
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie-
rung im Schnüffelbetrieb
– 0 Schnüffelfaktor Masse 2
– 1 Schnüffelfaktor Masse 3
– 2 Schnüffelfaktor Masse 4
Wertebereich 1E-4...1E+4
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
 Internes Prüfleck angeschlossen.
 Externes Prüfleck in oder an Prüfanlage montiert und geschlossen.
 Leckrate des internen und externen Prüflecks sind eingegeben.
► LD- und ASCII-Protokol: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260
bzw. *STATus:CAL
1 Maschinenkalibrierung starten.
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > Maschine (Schnüffler)
LD-Protokoll: 4, Parameter 3
ASCII-Protokoll: *CAL:FACtor_Machine, *CAL:FACtor_Snif
IO1000 siehe
 Interne Kalibrierung wird automatisch durchgeführt.
 Aufforderung „Prüfleck öffnen" (Externes Prüfleck).
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Maschinenfak. > Masse 2 (3, 4) > Maschinenfaktor VAC H2
(M3, He)
Befehl 522
Befehl *FACtor:FACMachine
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln >
Schnüffelfak. > Masse 2 (3, 4) > Schnüffelfaktor H2 (M3, He)
Befehl 523
Befehl *FACtor:FACSniff
Abb. 6
37
Betrieb