Geräteaufbau; Gesamtgerät (Lds3000); Gesamtgerät (Lds3000 Aq) - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

4 | Beschreibung
4.2 Geräteaufbau
4.2.1 Gesamtgerät (LDS3000)
4.2.2 Gesamtgerät (LDS3000 AQ)
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Abb. 1: Massenspektrometer-Modul LDS3000
1 Anschlussblock. Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, Drucksensor
PSG500, internes Prüfleck und Schnüffelleitung, siehe auch "Anschlussblock
[} 20]".
2 Drucksensor PSG500 zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe
3 Vorverstärker des Massenspektrometer-Moduls
4 Turbomolekularpumpe mit Kühleinheit
5 MSB-Box. Schnittstellen des Massenspektrometer-Moduls (siehe "MSB-Box
[} 20]")
6 Wandler Turbomolekularpumpe
7 Befestigungselemente zur Montage des Massenspektrometer-Moduls in einer
Prüfanlage
8 Typenschild mit Kenndaten des Massenspektrometer-Moduls
In der Ausführung Akkumulation wird das Massenspektrometer-Modul durch Hard-
und Software in einen besonderen Messaufbau eingebunden.
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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