Zero Ausführen; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Einstellen; Maschinen- Und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen - INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung

8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
8.10 ZERO ausführen
8.11 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen
8.11.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen
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Nach dem Hochlaufen des LDS3000 AQ und der Wahl von Formiergas als Gasart
sorgt der vorhandene Wasserstoff im Vakuumsystem zunächst dafür, dass auf dem
Display eine steigende Kurve sichtbar wird. Diese Anzeige kann als Anzeige einer Un-
dichtigkeit missverstanden werden.
Um verfälschende Wasserstoff-Spuren zu beseitigen, warten Sie mit dem Messen ca.
30 Minuten nach dem Hochfahren des Geräts.
Um den Rest-Offset zu beseitigen, führen Sie danach ZERO AQ aus. ZERO AQ dient
nicht zum Unterdrücken von Messsignalen.
ü Als Masse ist Wasserstoff (Formiergas) eingetragen.
Falls kein Wasserstoff (Formiergas) eingetragen ist, können Sie es unter "Hauptme-
nü > Einstellungen > Masse" oder unten im Display des Messfensters über "Assis-
tent" einstellen.
ü In der Messkammer ist weder ein Prüfkörper noch ein Prüfleck.
1 Hauptmenü > Funktionen > ZERO AQ
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Folgen Sie den Anweisungen auf dem Bildschirm.
ð LD- und ASCII-Protokoll: Warten Sie nach dem Entfernen von Prüfkörper
oder Prüfleck zunächst die Messzeit ab.
ð LD-Protokoll: Befehl 6, Parameter 1; ASCII-Protokoll: *ZERO:ON
ð IO1000: Eingang ZERO
Die interne Kalibrierung kalibriert ausschließlich das von der Prüfanlage entkoppelte
Messsystem des Massenspektrometer-Moduls. Wenn das Messsystem nach einer in-
ternen Kalibrierung aber parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird (nach
dem Teilstromprinzip), gibt das Messsystem die Leckrate entsprechend dem Teil-
stromverhältnis zu klein an. Mit Hilfe eines korrigierenden Maschinenfaktors für den
Vakuumbetrieb und eines Schnüffelfaktors für den Schnüffelbetrieb gibt das Messsys-
tem die tatsächliche Leckrate an. Mit den Faktoren wird also das Verhältnis des effek-
tiven Saugvermögens des Messsystem im Vergleich zum Saugvermögen des Mess-
systems an der Prüfanlage berücksichtigt.
ü Massenspektrometer-Modul intern kalibriert.
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Externes Prüfleck mit Prüfanlage messen.
ð Das Gerät gibt die Leckrate entsprechend des Teilstromverhältnisses zu klein
an.
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Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor einstellen, siehe unten.
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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