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Kleinste Nachweisbare Leckrate - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

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Kleinste nachweisbare Leckrate

Die kleinste nachweisbare Leckrate, die der Lecksucher unter idealen Bedingungen
-12
erfassen kann (≤ 5x10
ULTRA
ULTRA bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für den Messbereich
mit der höchsten Empfindlichkeit bei Einlassdrücken unter 0,4 mbar.
Vorvakuumdruck
Druck im Vorvakuum zwischen der Turbomolekularpumpe und der Vorvakuumpumpe.
mbar l/s).
INFICON
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

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