Kalibrieren - INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung

8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)

8.9.4 Kalibrieren

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Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >
Kalibrierfak. > Masse 2 (3, 4) > Kalibrierfaktor VAC H2 (M3, He)
LD-Protokoll Befehl 520
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:CALVac
Beachten Sie auch die allgemeinen Hinweise zum Kalibrieren, siehe "Gerät kalibrieren
[} 48]".
Voraussetzungen für alle Vorgehensweisen
• Ein externes Prüfleck ist vorhanden.
• Die Angaben zum Prüfleck sind eingetragen, siehe auch "Leckrate von Prüflecks
hinterlegen [} 77]".
• Um Verfälschungen von Messergebnissen durch einen erhöhten Untergrundwert
entgegenzuwirken, haben Sie mindestens 60 Minuten Aufwärmzeit gewartet.
• Der aktuelle "Peak" wurde bestimmt, siehe auch "Peak bestimmen [} 76]".
Bedieneinheit CU1000
1 Legen Sie das offene Prüfleck in die Messkammer und schließen Sie die
Messkammer.
2
Hauptmenü > Funktionen > CAL > Extern
ð Die Leckrate des Prüflecks wird angezeigt und die Frage, ob die Kalibrierung
gestartet werden soll.
3
Zum Start des Kalibriervorgang bestätigen Sie über "OK".
4
Folgen Sie den Anweisungen auf dem Bildschirm.
LD- oder ASCII-Protokoll, IO1000
1
Legen Sie das offene Prüfleck in die Messkammer und schließen Sie die
Messkammer.
2 Für ein stabiles Leckratensignal warten Sie mindestens die Dauer der
eingestellten AQ-Messzeit ab.
3
Starten Sie die Kalibrierung
LD-Protokoll: Befehl 4, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:EXT
IO1000: Eingang "CAL extern", siehe auch die folgende Abbildung
ð Bei Verwendung von Helium fahren Sie mit dem letzten Handlungsschritt (Nr.
8) fort.
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
INFICON