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Inhaltsverzeichnis - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

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1 Zu dieser Anleitung........................................................................................................................................... 6
1.1 Mitgeltende Dokumente............................................................................................................................ 6
1.2 Zielgruppen............................................................................................................................................... 6
1.3 Warnhinweise ........................................................................................................................................... 6
1.4 Begriffsdefinitionen ................................................................................................................................... 7
2 Sicherheit.......................................................................................................................................................... 9
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung.......................................................................................................... 9
2.2 Anforderungen an den Betreiber .............................................................................................................. 9
2.3 Anforderungen an den Anwender........................................................................................................... 10
2.4 Gefahren................................................................................................................................................. 10
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung ................................................................................................................ 12
4 Beschreibung.................................................................................................................................................. 13
4.1 Funktion .................................................................................................................................................. 13
4.2 Geräteaufbau.......................................................................................................................................... 14
4.2.1 Gesamtgerät ...............................................................................................................................  14
4.2.2 Anschlussbox..............................................................................................................................  15
4.2.3 MSB-Box.....................................................................................................................................  15
4.2.4 Typenschild.................................................................................................................................  18
4.3 Technische Daten................................................................................................................................... 19
5 Montage.......................................................................................................................................................... 21
5.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen ..................................................................... 21
5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren........................................................................... 22
5.3 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage anschließen ....................................................................... 23
5.4 Komponentenverbindungen herstellen ................................................................................................... 25
5.5 Elektrische Verbindungen herstellen ...................................................................................................... 25
6 Betrieb LDS3000 ............................................................................................................................................ 26
6.1 Gerät einschalten.................................................................................................................................... 26
6.2 Voreinstellungen ..................................................................................................................................... 27
6.3 Kompatibilitätsmodus wählen ................................................................................................................. 28
6.4 Betriebsart wählen .................................................................................................................................. 30
6.5 Gasart wählen (Masse)........................................................................................................................... 31
6.6 Gerät kalibrieren ..................................................................................................................................... 31
6.6.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen...................................................................................  31
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
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