Technische Daten; Mechanische Daten; Elektrische Daten; Physikalische Daten - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

INFICON

4.3 Technische Daten

LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

Mechanische Daten

Abmessungen (L x B x H)
Einlassflansch

Elektrische Daten

Stromaufnahme
Schutzklasse

Physikalische Daten

Ansprechzeit Schnüffelbetrieb
Maximaler Einlassdruck
Hochlaufzeit
Ionenquelle
Kleinste nachweisbare Leckrate Vakuum-
betrieb
Kleinste nachweisbare Leckrate Schnüf-
felbetrieb
Messbare Massen
LDS3000
320 mm x 280 mm x 240 mm
1 x DN25 KF 5x DN16 KF
LDS3000
max. 10 A
IP40
LDS3000
Gross: < 5 s, Fine/Ultra: < 1 s
0,2 mbar - 18 mbar
150 s
2 longlife Iridium filaments,Yttrium-oxide
coated
5E-12 mbar l/s
1E-7 mbar l/s
4He, H2, Masse 3 (z. B. H-D, 3He oder
H3)
Helium, Wasserstoff
Beschreibung | 4
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