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INFICON LDS3000 Betriebsanleitung
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INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

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Original-Betriebsanleitung
LDS3000
Massenspektrometer-Modul
Katalognummer:
560-300
Ab Software-Version:
MS-Modul 2.41
jiqa54de1-05-(1604)

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Verwandte Anleitungen für INFICON LDS3000

Inhaltszusammenfassung für INFICON LDS3000

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung LDS3000 Massenspektrometer-Modul Katalognummer: 560-300 Ab Software-Version: jiqa54de1-05-(1604) MS-Modul 2.41...
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Strasse 498 50968 Köln, Deutschland...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    5.1 Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen anpassen .............. 21 5.2 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage montieren................ 22 5.3 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage anschließen ............... 23 5.4 Komponentenverbindungen herstellen .................... 25 5.5 Elektrische Verbindungen herstellen ...................... 25 6 Betrieb LDS3000 ............................ 26 6.1 Gerät einschalten............................ 26 6.2 Voreinstellungen ............................. 27 6.3 Kompatibilitätsmodus wählen ......................... 28 6.4 Betriebsart wählen .......................... 30 6.5 Gasart wählen (Masse)........................... 31...
  • Seite 4 6.22.2.2 Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen............... 67 6.23 Einstellungen für das Busmodul BM1000.................... 69 6.24 Warn- und Fehlermeldungen ........................ 69 6.24.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-LEDs .............  77 6.25 Einstellungen zurücksetzen ........................ 78 7 Betrieb CU1000 (optional) .......................... 79 7.1 Elemente des Touchscreens ........................ 79 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 5 Software der Bedieneinheit aktualisieren................ 93 7.2.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren............ 94 7.2.4.3 Software des I/O-Moduls aktualisieren ................ 94 8 Wartung ................................ 96 8.1 Wartung bei INFICON.......................... 96 8.2 Allgemeine Wartungshinweise........................ 96 8.3 Wartungsplan............................ 97 8.4 Wartungsarbeiten ........................... 98 8.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen ............ 98 9 Außerbetriebnahme............................ 103 9.1 Lecksuchgerät stillsetzen........................ 103...

  • Seite 6: Zu Dieser Anleitung

    Unmittelbar drohende Gefahr mit Tod oder schweren Verletzungen als Folge WARNUNG Gefährliche Situation mit möglichem Tod oder schweren Verletzungen als Fol- VORSICHT Gefährliche Situation mit leichten Verletzungen als Folge HINWEIS Gefährliche Situation mit Sach- oder Umweltschäden als Folge 6 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 7: Begriffsdefinitionen

    Empfindlichkeit. Dieser lässt hohe Einlassdrücke zu (bis 15 mbar). Interner Heliumuntergrund Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem. Die Größe des internen Heliumuntergrundes wird im Zustand “Standby“ gemessen und vom gemessenen Signal abgezogen (siehe oben: Automatische Nullpunkteinstel- lung). LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 7 / 108...

  • Seite 8: Kleinste Nachweisbare Leckrate

    (≤ 5x10 mbar l/s). ULTRA ULTRA bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für den Messbereich mit der höchsten Empfindlichkeit bei Einlassdrücken unter 0,4 mbar. Vorvakuumdruck Druck im Vorvakuum zwischen der Turbomolekularpumpe und der Vorvakuumpumpe. 8 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 9: Sicherheit

    • Betreiben Sie das Gerät nur, wenn es in technisch einwandfreiem Zustand ist. Arbeiten • Betreiben Sie das Gerät ausschließlich bestimmungsgemäß, sicherheits- und ge- fahrenbewusst unter Beachtung dieser Betriebsanleitung. • Erfüllen Sie die folgenden Vorschriften und überwachen Sie deren Einhaltung: – Bestimmungsgemäße Verwendung LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 9 / 108...

  • Seite 10: Anforderungen An Den Anwender

    Geräts liegen deutlich höhere Spannungen an. Es besteht Lebensgefahr beim Berüh- ren stromführender Teile im Inneren des Geräts. • Trennen Sie vor allen Installations- und Wartungsarbeiten das Gerät von der Stromversorgung. Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung nicht unbefugt wiederhergestellt werden kann. 10 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 11 Fliehkräfte aufgefangen werden. Gelingt dies nicht, bricht das Massenspektrometer-Modul aus und es können Sach- und Personenschäden entste- hen. • Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein Brems- moment von 820 Nm aufnehmen kann. LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 11 / 108...

  • Seite 12: Lieferumfang, Transport, Lagerung

    Stecker für Output Stecker für Gauges Exit Betriebsanleitung USB-Stick mit Anleitungen, 3D-Zeichnungen und Videos ► Den Lieferumfang bitte nach Erhalt des LDS3000 auf Vollständigkeit prüfen. Transport HINWEIS Beschädigung durch ungeeignete Verpackung Das Gerät kann beim Transport in einer ungeeigneten Verpackung beschädigt wer- den.

  • Seite 13: Beschreibung

    Die MSB-Box gibt Daten über digitale Schnittstellen an die Bedieneinheit CU1000, das I/O-Modul IO1000 oder das Bus-Modul BM1000 aus. Das Massenspektrometer-Modul ist ein Teil des Dichtheitsprüfsystems LDS3000. Es kann zusammen mit einem BUS-Modul oder I/O-Modul und einem Datenkabel ohne zusätzliches INFICON-Zubehör in einer Prüfanlage betrieben werden.

  • Seite 14: Geräteaufbau

    4 | Beschreibung INFICON 4.2 Geräteaufbau 4.2.1 Gesamtgerät Abb. 1: Massenspektrometer-Modul LDS3000 Anschlussblock. Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, Drucksensor PSG500, internes Prüfleck und Schnüffelleitung, siehe auch "Anschlussbox [} 15]". Drucksensor PSG500 zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe Turbomolekularpumpe mit Kühleinheit Vorverstärker des Massenspektrometer-Moduls MSB-Box.

  • Seite 15: Anschlussbox

    4.2.3 MSB-Box Abb. 3: Anschlüsse MSB-Box OUTPUT Anschluss für Gasballast und drei Ventile Steckerbelegung Ventil 2 (Gasballast), 24 V, max. 1 A Ventil 3 (nicht verwendet, Reserve) Ventil 4 (nicht verwendet, Reserve) Ventil 6 (nicht verwendet, Reserve) LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 15 / 108...
  • Seite 16 Anschluss für 24-V-Netzteil zur Versorgung von Massenspektrometer-Modul, Be- dieneinheit, I/O-Modul und Bus-Modul. 2 (siehe auch Abbildung MSB-Box) Anschluss für Wandler Turbomolekularpumpe und Lüfter Turbomolekularpumpe (vor- montiertes, zweifaches Kabel) ION SOURCE Anschluss für Ionenquelle 3 (siehe auch Abbildung MSB-Box) Anschluss für Vorverstärker 16 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 17 Software wird aktualisiert Grün Grün, blinkt Software wird aktualisiert SERVICE RS232-Anschluss für INFICON-Service I/O / ANYBUS CONTROL UNIT Anschluss für I/O-Modul oder Bus-Modul oder Bedieneinheit Die Anschlüsse „I/O Anybus“ und „Control Unit“ haben die gleiche Funktionalität. Es können wahlweise angeschlossen werden: –...

  • Seite 18: Typenschild

    Kennzeichen zur Rückführung in den Wiederverwertungskreislauf Gerät darf nicht im Hausmüll entsorgt werden Informationen auf dem Typenschild sind: • Herstelleradresse • Gerätename • Produktionsjahr • Katalognummer • Seriennummer • Betriebstemperatur • Entsorgungshinweise • Messbare Gase 18 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 19: Technische Daten

    Ionenquelle 2 longlife Iridium filaments,Yttrium-oxide coated Kleinste nachweisbare Leckrate Vakuum- 5E-12 mbar l/s betrieb Kleinste nachweisbare Leckrate Schnüf- 1E-7 mbar l/s felbetrieb Messbare Massen 4He, H2, Masse 3 (z. B. H-D, 3He oder Helium, Wasserstoff LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 19 / 108...

  • Seite 20: Umgebungsbedingungen

    Maximale Induktion 7 mT Max. relative Luftfeuchte über 40 °C Max. relative Luftfeuchte von 31 °C bis 40 80% to 50% (linear abfallend) °C Max. Luftfeuchte bis 31°C Max. Lagertemperatur -20 °C - 60 °C Verschmutzungsgrad 20 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 21: Montage

    Um die MSB-Box herauszuziehen, muss die Verriegelungsscheibe gelöst werden. Soll die MSB-Box von der anderen Seite in das Gehäuse geschoben werden, muss auch die Verriegelungsscheibe auf der anderen Seite des Gehäuses festgeschraubt werden. Eine entsprechende Gewindebohrung ist vorhanden. Abb. 4: Verriegelung LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 21 / 108...

  • Seite 22: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Montieren

    Abb. 5: Komponenten eines Befestigungselements Innensechskantschraube M8 x 50 Mutter M8 (selbstsichernd) Unterlegscheibe Grundrahmen MO-Lager Federgummi Prüfanlage Führung MSB-Box Sie benötigen: - Selbstsichernde Muttern M8 - Maulschlüssel SW13 - Innensechskantschlüssel SW6 - Löcher zur Montage in Prüfanlage 22 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 23: Massenspektrometer-Modul An Prüfanlage Anschließen

    Die Betriebsart des Vakuumanschlusses und die Drehzahl der Turbomolekularpumpe legen fest: • Kleinste nachweisbare Leckrate (KnL) • Dauerhaft zulässiger Einlassdruck (p • Saugvermögen (S) Die folgenden Angaben gelten für den Einsatz von Helium als Prüfgas. LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 23 / 108...
  • Seite 24 5 | Montage INFICON Um die KnL zu erreichen, müssen folgende Bedingungen erfüllt sein: • Der LDS3000 muss mindestens 20 Minuten in Betrieb sein. • Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/ Stoße, saubere Umgebung) • Der Prüfling muss so lange bei ausgeschaltetem ZERO betrieben werden, bis der Untergrund stabil ist.

  • Seite 25: Komponentenverbindungen Herstellen

    Bedieneinheit an Buchse “Control Unit“ anschließen. I/O- oder Bus-Modul an Buchse “I/O“ anschließen. Drucksensor PSG500 und, falls verwendet, Prüfleck 560-323 am Kabel von Buchse “1“ anschließen. Schnüffelleitung an Buchse “Sniffer“ anschließen. Gasballastventil an Buchse “Output“ anschließen. LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 25 / 108...

  • Seite 26: Betrieb Lds3000

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON 6 Betrieb LDS3000 Sie können das Massenspektrometer-Modul über folgendes Zubehör betreiben: • Bedieneinheit CU1000 • Bus-Modul BM1000 • I/O-Modul IO1000 Mit dem als Zubehör erhältlichen XL Sniffer Adapter und der Schnüffelleitung SL3000XL können zudem Leckstellen bei verschlechterter Nachweisgrenze in einem größeren Abstand von der vermutlichen Leckstelle erfasst werden (Betrieb im „High...

  • Seite 27: Voreinstellungen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 ð Falls ein XL Sniffer Adapter und die CU1000 angeschlossen sind, werden Sie nach dem Hochlaufen gefragt, ob die Betriebsart “XL Sniffer Adapter“ eingestellt werden soll. 6.2 Voreinstellungen Sprache wählen Sprache der Anzeige auswählen. Die Werkseinstellung ist Englisch. (Das Display am Griff der SL3000XL-Schnüffelleitung zeigt statt Russisch und Chinesisch die Meldun-...

  • Seite 28: Kompatibilitätsmodus Wählen

    Beim Wechsel in einen Kompatibilitätsmodus werden alle Parameter auf die Werk- seinstellungen zurückgesetzt und das Gerät neu gestartet. Falls Sie den LDS3000 zum späteren Zeitpunkt wieder im Normalbetrieb nutzen wol- len, speichern Sie vorher Ihre Parameter auf einem USB-Stick, siehe "Parameter speichern und laden [} 45]".
  • Seite 29 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 LDS2010 LDS3000 Wenn „CAL mode“ ungleich 3 ist (Menüpunkt 26), kann das Gasbal- lastventil über den digitalen Ein- gang DynCAL gesteuert werden. F-ON: Fixed on ermöglicht, das Gasballastventil permanent einzu- schalten (Netzausfallsicher und un- abhängig von den digitalen Eingän- gen).

  • Seite 30: Betriebsart Wählen

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON LDS2010 LDS3000 Kalibrieraufforderung Vorverstärkertemperaturänderung Vorverstärkertemperaturänderung 5 K oder 30 min 5 K oder 30 min. oder TMP Dreh- zahl geändert Druck-/Leckraten Einheiten (VAC/ Bedieneinheit und Rest getrennt SNIF) für alle Schnittstellen Benutzerberechtigungen 3 Ebenen über PIN an Gerätebe- 4 Ebenen über Bedieneinheit oder dienung oder Schlüsselschalter...

  • Seite 31: Gasart Wählen (Masse)

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 6.5 Gasart wählen (Masse) Maschinen-, Kalibrier- und Schnüffelfaktor sind von der eingestellten Masse abhän- gig und im Massenspektrometer-Modul gespeichert. (Wasserstoff, Formiergas) He oder deuterierter Wasserstoff (HD) He (Helium) (Werkseinstellung) Bedieneinheit Einstellungen > Masse LD-Protokoll Befehl 506 mit Wert 2 (3, 4)
  • Seite 32 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Vorverstärkertest aus- Beim Kalibrieren testet das Gerät den eingebauten Vorverstärker. Sie können den schalten Verstärkertest abschalten. Dadurch wird die Kalibrierung schneller, aber die Zuver- lässigkeit sinkt. Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > Vorverstärker >...

  • Seite 33: Interne Kalibrierung Konfigurieren Und Starten

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Kalibrierung Besonder- Das Gerät kann in all seinen Betriebsarten kalibriert werden. Man unterscheidet zwi- heiten schen interner und externer Kalibrierung. Die interne Kalibrierung kann mit Hilfe des optional eingebauten Testlecks durchge- führt werden. Für eine externe Kalibrierung ist ein separates Prüfleck erforderlich.

  • Seite 34: Externe Kalibrierung Konfigurieren Und Starten

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON Leckrate Prüfleck Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll. - intern Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich. 1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum >...
  • Seite 35 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Leckrate Prüfleck Definieren der Leckrate des Prüflecks, die beim Kalibrieren verwendet werden soll. – extern Vakuum Ohne Eingabe des Wertes ist eine Kalibrierung nicht möglich. Für jedes Gas (Masse) muss eine spezifische Leckrate eingestellt werden.
  • Seite 36 6 | Betrieb LDS3000 INFICON ð Aufforderung „Prüfleck schließen“ Vakuumbetrieb: Prüfleck in Prüfanlage schließen. Schnüffelbetrieb: Schnüffelleitung von Prüfleck entfernen. ð Leckratensignal fällt ab. Stabilen Untergrundmesswert bestätigen: Bedieneinheit: „OK“ LD-Protokoll: 11, Parameter 1 ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED IO1000 siehe folgende Abbildung. ð Die Kalibrierung ist beendet, wenn:...

  • Seite 37: Externe Dynamische Kalibrierung Starten

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Abb. 6: Externes Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Beschrei- bung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe "Ein- und Ausgänge belegen [} 57]" 6.6.4 Externe dynamische Kalibrierung starten Um die speziellen Zeit- und Druckbedingungen einer Prüfanlage zu berücksichtigen, kann eine dynamische Kalibrierung durchgeführt werden.
  • Seite 38 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Messung starten. Warten bis zum Zeitpunkt, an dem das Leckratensignal optimal zum normalen Messablauf der Anlage passt. Kalibrierung starten: Bedieneinheit: Funktionen > CAL > dynamisch LD-Protokoll: 4, Parameter 2 ASCII-Protokoll: *CAL:DYN IO1000 siehe folgende Abbildung.

  • Seite 39: Externe Kalibrierung Mit Der Schnüffelleitung Sl3000Xl (Zubehör)

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Abb. 7: Abb. 7 Externes dynamisches Kalibrieren mit IO1000 am Beispiel der Schnüffelleitung SL3000XL, Beschreibung der PLC-Ein- und Ausgänge: siehe "Ein- und Ausgänge belegen [} 57]" 6.6.5 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL (Zubehör) Die Vorgehensweise entspricht der einer externen oder externen dynamischen Kali- brierung im Schnüffelbetrieb.

  • Seite 40: Kalibrierung Prüfen

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON Zum Kalibrieren empfehlen wir unser Prüfleck mit der Katalog-Nummer 12322. 6.6.6 Kalibrierung prüfen Um zu prüfen, ob eine neue Kalibrierung nötig ist, können Sie die bestehende prüfen. 6.6.6.1 Kalibrierung mit internem Prüfleck prüfen Diese Prüfung ist nur mit der Einstellung "Masse 4" möglich.

  • Seite 41: Kalibrierfaktor Eingeben

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 IO1000 vergleiche Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten [} 34]". 6.6.7 Kalibrierfaktor eingeben Der Kalibrierfaktor wird normalerweise durch die entsprechende Kalibrierroutine be- stimmt. Daher ist es normalerweise nicht nötig, den Kalibrierfaktor manuell zu verstel- len.

  • Seite 42: Kalibrierfaktor Vakuum

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON 6.6.7.2 Kalibrierfaktor Vakuum Eingabe der Kalibrierfaktoren für Masse 2, 3, 4. Die Werte werden bei der nächsten Kalibrierung überschrieben. 0,01 … 5000 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > Kalibrier- fak. > Masse 2 (3, 4) > Kalibrierfaktor VAC H2 (M3, He)

  • Seite 43: Maschinen- Und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Maschinenfaktor ein- Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie- stellen rung im Vakuumbetrieb. Sollte ohne die Option Internes Prüfleck auf Wert 1,00 stehen. Bei Ändern des Wer- tes wird die aus der Änderung resultierende Leckrate angezeigt. So wird der Ab- gleich vereinfacht.

  • Seite 44: Messung Starten Und Stoppen

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON Eingeschwungenes und stabiles Leckratensignal bestätigen. Bedieneinheit: „OK“ LD-Protokoll: 11, Parameter 1 ASCII-Protokoll: *CAL:ACKnowledge IO1000 siehe Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten [} 34]" ð Aufforderung „Prüfleck schließen“ (Externes Prüfleck). Externes Prüfleck schließen. Vorhandenes Ventil offen lassen.

  • Seite 45: Parameter Speichern Und Laden

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Korrektur der Leckrate Im Vakuumbetrieb kann der Maschinenfaktor bei der Korrektur der Leckrate für den im Standby aktivieren/ Standby aktiviert oder deaktiviert werden. Im Schnüffelbetrieb wird im Standby das deaktivieren Schnüffelventil geschlossen. Deshalb entfällt bei dieser Einstellung der Schnüffelfak- tor.
  • Seite 46 6 | Betrieb LDS3000 INFICON „ZERO“ aktivieren und ZERO aktivieren/deaktivieren deaktivieren Bedieneinheit Funktion > ZERO > ZERO LD-Protokoll Befehl 6 ASCII-Protokoll Befehl *ZERO „ZERO bei Start“ ZERO bei Start unterdrückt den Heliumuntergrund automatisch beim Start einer aktivieren und deakti- Messung.

  • Seite 47: Messergebnis-Darstellung Mit Signalfiltern

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 6.11 Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern Signalfilter auswählen Mit den Signalfiltern kann die Leckratenanzeige bezüglich Flankensteilheit und Rauschverhaltenbeeinflusst werden. – Für die Betriebsart „Vakuum“ in der Regel Signalfilter I•CAL wählen. – Für die Betriebsart „Schnüffeln“ in der Regel Signalfilter I-Filter wählen.

  • Seite 48: Gasballastventil Der Vorvakuumpumpe Steuern

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON Filter-ZERO-Zeit Update-Intervall für den Offset-Wert bei negativem Leckraten-Signal (außer für den einstellen I•CAL-Filter). Auflösung 0,1 s (50 = 5,0 s) Bedieneinheit Einstellungen > ZERO/Filter > Einstellungen Filter > ZERO Zeit LD-Protokoll Befehl 411 ASCII-Protokoll Befehl *CONFig:ZEROTIME 6.12 Gasballastventil der Vorvakuumpumpe steuern...

  • Seite 49: Einheit Für Den Druck Wählen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Leckrateneinheit Wählen der Leckrateneinheit der Schnittstellen für Vakuum bzw. Schnüffeln Schnittstelle mbar l/s (Werkseinstellung) Pa m3/s atm cc/s Torr l/s ppm (nicht VAC) g/a (nicht VAC) oz/yr (nicht VAC) Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Einheiten (Schnitt- stelle) >...

  • Seite 50: Anzeigegrenzen Wählen

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON 6.15 Anzeigegrenzen wählen Anzeigegrenzen Absenkung und Anhebung der Anzeigegrenzen: Falls sehr kleine Leckraten für Ihre Anwendung nicht von Interesse sind, kann eine Anhebung der unteren Anzeigegrenze die Beurteilung der Leckratenanzeige erleich- tern. – bis 15 Dekaden in VAC –...

  • Seite 51: Kapillarüberwachung Einstellen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 6.17 Kapillarüberwachung einstellen Druckwert Kapillare Um ein Verstopfen der 25/300-sccm-Kapillare zu detektieren, wird ein minimaler verstopft Druckwert eingestellt. Wird der Wert unterschritten, gibt das System die Warnmel- dung 540 aus. Bei starker Unterschreitung wird die Fehlermeldung 541 ausgegeben.

  • Seite 52: Kathode Auswählen

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON Drehzahl der Turbomolekularpumpe in Hertz 1000 1500 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > MS-Modul > TMP > Einstellungen > TMP Drehzahl LD-Protokoll ASCII-Protokoll *CONFig:SPEEDTMP 6.19 Kathode auswählen Auswahl einer Kathode Das Massenspektrometer enthält zwei Kathoden. In der Werkseinstellung verwendet das Gerät Kathode 1.
  • Seite 53 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Funktion rechte Aktivieren bzw. Deaktivieren der rechten Taste der SL3000XL-Schnüffelleitung (Um- Schnüfflertaste schalten zwischen Low Flow und High Flow). Deaktivieren der Taste verhindert un- beabsichtigte Messbeeinflussung. Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüff- ler >...
  • Seite 54 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Schnüffler-LEDs: Verhalten der LEDs am Schnüffler, wenn Triggerwert 1 überschritten wird. Alarmkonfiguration keine Reaktion Blinken Die LEDs blinken Heller Die LEDs leuchten mit maximaler Helligkeit. Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > Schnüff- ler >...
  • Seite 55 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Intervall Auto Standby Um ein Verstopfen der XL-Kapillare (High Flow, 3000 sccm) zu detektieren, wird ein minimaler Druckwert eingestellt. Wird der Wert unterschritten, gibt das System die Warnmeldung 550 aus. Bei starker Unterschreitung wird die Fehlermeldung 551 aus- gegeben.

  • Seite 56: Typ Des Erweiterungsmoduls Auswählen

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON 6.21 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen Funktion rechte Typ des am I/O-Anschluss angeschlossenen Moduls auswählen Schnüfflertaste I/O-Modul Busmodul Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > Geräteauswahl > Mo- dul am I/O Anschluss oder Einstellungen > Einrichten > Zubehör >...

  • Seite 57: Ein- Und Ausgänge Belegen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 6.22.2 Ein- und Ausgänge belegen Analoge Ausgänge des Die analogen Ausgänge des I/O-Moduls IO1000 können mit unterschiedlichen Mess- I/O-Moduls belegen wertdarstellungen belegt werden. Mögliche Funktionen: siehe folgende Tabelle Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Schnittstellen > I/O-Modul > Analog- Ausg.
  • Seite 58 6 | Betrieb LDS3000 INFICON in gewählter Einheit Die obere Grenze (= 10 V) wird über den Parameter „Exponent oberer Grenzwert“ eingestellt. Der untere Wert ist immer 0 (Leckrate), was 0 V Ausgangsspannung entspricht. Der Exponent des oberen Grenzwerts kann in ganzen Dekaden eingestellt werden, z.B.
  • Seite 59 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Leckrate log. x ... 10 V; logarithmisch; in gewählter Einheit Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter „Exponent oberer Grenzwert“ und „Skalierung bei Leckrate“ eingestellt. Beispiel: Obere Grenze eingestellt auf 1 x 10 mbar l/s (= 10 V).
  • Seite 60 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Abb. 8: Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 1 V/Dekade Abb. 9: Analog-Ausgangsspannung Leckrate log. 5 V/Dekade Ausgangsspannungen Bei einem Fehler liegen folgende Spannungen an den analogen Ausgängen: im Fehlerfall Kompatibilitätsmodus Spannung LDS1000 LDS2010 10 V LDS3000 10,237 V 60 / 108...
  • Seite 61 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Konfiguration Für die Übertragung der Einstellungen von LDS2010 nach LDS3000 kann die folgen- (LDS2010-kompatibel) de Tabelle genutzt werden. LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü- gang punkt 22 Kanal Leckrate Mantisse in gewählter Einheit.
  • Seite 62 6 | Betrieb LDS3000 INFICON LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü- gang punkt 22 Kanal Druck p2 log. in Pa p2 1 V/ unrelevant unrelevant Dek. 1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar Druck p1 log. in Pa p1 1 V/...
  • Seite 63 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü- gang punkt 22 Kanal Leckrate log. in mbar l/s Leckrate Spezial 1 1E-5 mbar l/s log. 0 ... 10 V, 3 V/Dekade, 0 V = 1E-9 mbar l/s Leckrate log. in mbar l/s Leckrate 2 V/Dek.
  • Seite 64 6 | Betrieb LDS3000 INFICON LDS2010 Analog Funktion LDS2010 Funktion Skalierung der Obere Grenze Einstell. Aus- LDS3000 Leckrate (10 V = ...) Menü- gang punkt 22 Kanal Leckrate log. in mbar l/s Leckrate 1 V/Dek. 1E2 mbar l/s log. 0 ... 4 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-8 mbar l/s Leckrate lin. in mbar l/s...

  • Seite 65: Digitale Eingänge Des I/O-Moduls Belegen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 6.22.2.1 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen Die digitalen Eingänge PLC-IN 1 ... 10 des I/O-Moduls können beliebig mit den zur Verfügung stehenden Funktionen belegt werden. – Aktives Signal: typisch 24 V – inaktives Signal: typisch 0 V.
  • Seite 66 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Funktion Flanke/ Beschreibung Zustand: Löschen inaktiv → aktiv: Warn- oder Fehlermeldung löschen bzw. Kalibrierung abbrechen. Gasballast inaktiv → aktiv: Gasballastventil öffnen. aktiv → inaktiv: Gasballastventil schließen, falls nicht dauerhaft geöffnet. Auswahl dyn/ inaktiv → aktiv: Externer Kalibriermodus bei Aktivierung des Digital-Eingangs „CAL“:...

  • Seite 67: Digitale Ausgänge Des I/O-Moduls Belegen

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Funktion Flanke/ Beschreibung Zustand: Prüfleck auf inaktiv → aktiv: Prüfleck öffnen, wenn geschlossen, bzw. schließen, wenn offen Puls aktiv → inaktiv: keine Funktion Fluss inaktiv → aktiv: Fluss der SL3000XL auf 3000 sccm schalten (XL-Adapter) aktiv →...
  • Seite 68 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Funktion Zustand: Beschreibung Bereit geschlossen: Emission eingeschaltet, Kalibriervorgang inaktiv, kein Fehler geöffnet: Emission ausgeschaltet oder Kalibriervorgang aktiv oder Fehler Warnung geschlossen: Warnung geöffnet: keine Warnung Fehler geschlossen: Fehler geöffnet: kein Fehler CAL aktiv geschlossen: Gerät wird kalibriert.

  • Seite 69: Einstellungen Für Das Busmodul Bm1000

    Die folgende Tabelle zeigt alle Warn- und Fehlermeldungen. Es werden mögliche Ur- sachen für die Störung und Hinweise zur Störungsbeseitigung genannt. Beachten Sie, dass die mit Stern gekennzeichneten Arbeiten nur von Servicepersonal durchgeführt werden darf, das von INFICON autorisiert wurde. LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 69 / 108...
  • Seite 70 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 1xx Systemfehler (RAM, ROM, EEPROM, Uhr, ...) Wrn102 Zeitüberschreitung EE- EEPROM auf IF-Board oder MSB PROM MSB-Box (Parame-...
  • Seite 71 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn203 Spannung 24V_PWR12 Kurzschluss am Ventil 1 (Kalibrier- außerhalb des Bereichs leck) oder Ventil 2 (Gasballast) (TL_valve/GB_valve)
  • Seite 72 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 3xx Nachweissystem (Offset Vorverstärker, Vorverstärkertest, Emission, Kathodentest) Wrn300 Anodenspannung zu nied- 7V < des Kurzschluss Anodenspannung, zu...
  • Seite 73 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Wrn342 Kathoden nicht ange- Beide Kathoden beim Selbsttest schlossen defekt oder Stecker nicht gesteckt Wrn350 Suppressor nicht ange-...
  • Seite 74 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Warnung Fehleranzeige Fehlernummer Grenzwerte Ursache (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binär- Protokoll bzw.ASCII Fehler Protokoll (Err) Kompatibili- tätsmodus LDS1000/ LDS2010 Err402 Keine Kommunikation mit Kabel zur TMP, TMP defekt, IF- Board oder MSB defekt Err403 TMP Drehzahl zu niedrig <...
  • Seite 75 INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Wrn521 Druckanstieg, Zusammen- < Sollwert - Druck p1 zu hoch, Meldung nach bruch Anodenspannung  20V 1,4s Wrn522 Druckanstieg, Emission zu- < 90% des Emission war vorher stabil, Druck sammengebrochen Sollwerts p1 zu hoch, Meldung nach 5s >...
  • Seite 76 6 | Betrieb LDS3000 INFICON Wrn610 Maschinenfaktor zu niedrig 81 1,00E-04 Abgleich Maschinenfaktor fehler- haft Wrn611 Maschinenfaktor zu hoch 1,00E+04 Abgleich Maschinenfaktor fehler- haft, Teilstromfaktor zu groß Wrn612 Maschinenfaktor niedriger < 50% des Teilstromfaktor hat sich geändert als beim letzten Mal...

  • Seite 77: Darstellung Der Fehlercodes Mit Hilfe Der Status-Leds

    INFICON Betrieb LDS3000 | 6 Wrn710 MSB Temperatur zu hoch 55°C Temperatur zu groß Err711 Max. MSB Temperatur 65°C Temperatur zu groß überschritten 8xx unbenutzt 9xx Wartungsmeldungen (z. B. TMP) Wrn901 Wartung Lager/Schmier- 3 Jahre Wartung TMP erforderlich mittel Wrn910 Wartung Membranpumpe 8000-Std.-Wartung Membranpum-...

  • Seite 78: Einstellungen Zurücksetzen

    6 | Betrieb LDS3000 INFICON 6.25 Einstellungen zurücksetzen Massenspektrometer- Die Einstellungen des Massenspektrometermoduls können auf die Werkseinstellun- modul gen zurückgesetzt werden. Werkseinstellungen laden Zurücksetzen der Einstellungen für Kompatibilitätsmodus LDS1000 Zurücksetzen der Einstellungen für Kompatibilitätsmodus LDS2010 Zurücksetzen der Einstellungen für XL Sniffer Adapter Mode Bedieneinheit Funktionen >...

  • Seite 79: Betrieb Cu1000 (Optional)

    7 Betrieb CU1000 (optional) 7.1 Elemente des Touchscreens 7.1.1 Elemente der Messanzeige Abb. 10: Messanzeige Tastatursperre Grafische Darstellung der Leckrate und der Peak-Hold-Funktion Kommunikationsstatus Zeitachse Datenaufzeichnung Vorvakuumdruck Bediener Taste "Favorit 2" Zero Taste "Favorit 1" Meldung Menü LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 79 / 108...

  • Seite 80: Tastatursperre

    Für weitere Informationen siehe Kapitel 6.2.2., Seite 20. 5 - Zero Die Untergrundunterdrückung ist aktiv. 6 - Symbol für Achtung m Gerät sind aktive Warnmeldungen gespeichert. Die aktiven Warnmeldungen können über das Menü “Info > Historie > Warnungen“ an- gezeigt werden. 80 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 81 Abb. 4 ist die Taste “Favorit 2“ beispielhaft mit der Funktion “Start/Stop“ belegt. 14 - Taste "Favorit 1" Auf dieser Taste können bevorzugte Parameter abgelegt werden (siehe Seite 19). In Abb. 4 ist die Taste “Favorit 1“ beispielhaft mit der Funktion “ZERO“ belegt. LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 81 / 108...

  • Seite 82: Einstellungen Und Funktionen

    15 - Symbol für das Menü Alle Funktionen und Parameter der Bedieneinheit sind über die Taste “Menü“ zu errei- chen. Eine vollständige Darstellung des Menüs ist auf dem mit der LDS3000 mitgelieferten USB-Stick enthalten. 16 - Wertachse Wertachse der Leckrate Q(t).
  • Seite 83 Art der grafischen Anzeige Diagramm Balkenanzeige Bedieneinheit Anzeige > Messanzeige > Art der Messwertanzeige Numerische Darstellung der Messwerte Bedieneinheit Anzeige > Messanzeige > Wertanzeige Anzeige-Helligkeit Anzeige-Helligkeit 20 ... 100% Bedieneinheit Anzeige > Helligkeit > Anzeige-Helligkeit LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 83 / 108...
  • Seite 84 Kalibrierhinweis mit folgendem Inhalt unterdrücken oder zulassen: • Leckagerate des verwendeten Prüflecks • In den ersten 20 min nach dem Einschalten soll nicht kalibriert werden AUS (unterdrückt) AN (zugelassen) Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Bedieneinheit > Meldungen > Kalibrierhinweise anzeigen 84 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 85 Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Bedieneinheit > Audio > Au- dioalarm Typ Verhalten bei Warnungen oder Fehlermeldungen: Wenn der Touchscreen eine War- nung oder einen Fehler anzeigt, wird immer gleichzeitig ein Zweitonsignal ausgege- ben. LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 85 / 108...

  • Seite 86: Bedienertypen Und Berechtigungen

    (ohne PIN-Abfrage). Ist ein I/O-Modul angeschlossen, kann zusätzlich zur PIN ein Schlüsselschalter ein- gesetzt werden. Der Schlüsselschalter wird am I/O-Modul über drei digitale Eingän-ge angeschlossen (siehe Betriebsanleitung LDS3000). Die folgende Tabelle zeigt die Berechtigungen der einzelnen Bedienertypen. 86 / 108...
  • Seite 87 ändern Werkseinstel- lungen aufrufen Wartungsver- lauf eintragen Das Menü “Service“ ist nur für den INFICON-Service zugänglich. Parameter laden Die gespeicherten/gesicherten Parameter der Bedieneinheit CU1000 und des Mas- senspektrometer-Moduls können von einem USB-Stick geladen werden. Menü Funktion > Daten > Parameter > Laden...

  • Seite 88: Bediener Abmelden

    • Startzeit • Zeitstempel (Messung gibt den Offset in Sekunden zur Startzeit an) • Dateiname • Zeitstempel (Offset in Sekunden zur Startzeit) • Leckrate (in gewählter Anzeigeneinheit) • Druck p1 (in gewählter Anzeigeneinheit) • Gerätestatus 88 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 89: Informationen Aufrufen

    • Bedieneinheit Menü Funktionen > Daten > Rekorder > Einstel- lungen > Speicherort 7.2.3.3 Informationen aufrufen Über das Info-Menü können verschiedene Informationen und Zustände der Anlage aufgerufen werden. Messwerte • Preamplifier • Environment • TMP LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 89 / 108...
  • Seite 90 • Ion source: Informationen zur eingesetzten Ionen-Quelle • Preamplifier: Informationen zum Preamplifier • Preamplifier test: Informationen zum Preamplifier-Test. Schnittstellen • I/O module (1): Informationen zu Softwareversion, Ein- und Ausgängen • I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen 90 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 91 Abb. 11: I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen Zustand der Eingangssignale Konfigurierte Funktion (INV = Funktion ist invertiert) Status der Funktion (aktiv oder in- aktiv) • I/O module (3): Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 91 / 108...
  • Seite 92 Abb. 12: Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen Konfigurierte Funktion (INV = Zustand der Ausgangssignale Funktion ist invertiert) Status der Funktion (aktiv oder in- aktiv) • Bus module (1): Informationen zum Bus-Modul • Bus module (2): Informationen zum Bus-Modul, Fortsetzung 92 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 93: Software Aktualisieren

    INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 7 7.2.4 Software aktualisieren Softwareaktualisierungen von INFICON werden mit Hilfe eines USB-Sticks einge- spielt. Die Update-Funktion des Geräts finden Sie unter „Funktionen > Daten > Upda- te“. Ein Update ist möglich, • wenn ein oder mehrere Updates auf dem USB-Stick vorhanden sind, aber höchs- tens ein Update je Typ (Bedieneinheit, MSB-Box, I/O-Modul), •...

  • Seite 94: Softwareversion Der Msb-Box Prüfen Und Aktualisieren

    7 | Betrieb CU1000 (optional) INFICON 7.2.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren Die aktuelle Software ist beim Support von Inficon erhältlich. Die Funktionen des XL Sniffer Adapter Set sind in der System-Software ab Version 2.11 berücksichtigt. Kopieren Sie die Datei Flash_LDS3000_MSB_Vxx.xx.xxx.bin in das Hauptver- zeichnis eines USB-Sticks.
  • Seite 95 INFICON Betrieb CU1000 (optional) | 7 • IO1000 anschließen und einschalten. • Boot-Modus aktivieren (DIP S2.3 einmal ein- und ausschalten). • Wenn die STATUS LED grün blinkt OK drücken. Abb. 13: DIP-Schalter am I/O-Modul LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 95 / 108...

  • Seite 96: Wartung

    Die Wartung des Massenspektrometer-Moduls beschränkt sich auf den Tausch des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe und die Überprüfung des Lüfters an der Turbomolekularpumpe. Wir empfehlen den Abschluss eines Wartungsvertrags mit INFICON oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner. 8.1 Wartung bei INFICON WARNUNG Gefährdung der Gesundheit...

  • Seite 97: Wartungsplan

    Das Massenspektrometer-Modul ist ein Präzisionsmessgerät. Schon geringe Ver- schmutzungen können das Gerät beschädigen. ► Bei allen Wartungsarbeiten auf saubere Umgebung achten und sauberes Werkzeug benutzen. 8.3 Wartungsplan Wenn die Wartungsarbeiten des Wartungsplans nicht durchgeführt werden, verfällt die Gewährleistung für das Massenspektrometer-Modul LDS3000. Wartungs- Betriebsstunden 8000 16000 24000...

  • Seite 98: Wartungsarbeiten

    Turbomolekularpumpe geflutet ist. Turbomolekularpumpe fluten Massenspektrometer-Modul außer Betrieb nehmen, siehe "Außerbetriebnahme [} 103]". Auslauf Turbomolekularpumpe abwarten (mindestens 1 min). 24-V-Netzteil von MSB-Box trennen. Gegebenenfalls Turbomolekularpumpe auskühlen lassen. Turbomolekularpumpe ausbauen. Belüftungsschraube langsam öffnen. ð Turbomolekularpumpe flutet auf Atmosphärendruck an. 98 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 99 INFICON Wartung | 8 Abb. 14: Turbomolekularpumpe SplitFlow 80 Verschlussdeckel Betriebsmittelspeicher O-Ring Belüftungsschraube LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 99 / 108...
  • Seite 100 ü Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet. ü Der neue Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel gefüllt. Das Verfallsdatum des neuen Betriebsmittelspeichers prüfen. Kein zusätzliches Betriebsmittel einfüllen. Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel herausschrauben. Alten O-Ring entnehmen. Betriebsmittelspeicher mit zwei Schraubendrehern herausheben. 100 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
  • Seite 101 INFICON Wartung | 8 Abb. 15: Betriebsmittelspeicher tauschen O-Ring Porex-Stäbe Betriebsmittelspeicher LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 101 / 108...
  • Seite 102 Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel einschrauben (Anzugsdrehmoment 13 Nm +/-10%). Belüftungsschraube handfest anziehen. Turbomolekularpumpe einbauen. Massenspektrometer-Modul in Betrieb nehmen. Wartungsarbeit bestätigen ü Bedieneinheit installiert ü Berechtigung = Integrator ► Wartungsarbeit in Bedieneinheit bestätigen: „Berechtigung > Integrator > Wartung > Wartungsarbeit“ 102 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 103: Außerbetriebnahme

    Warten, bis Turbomolekularpumpe nicht mehr läuft. 9.2 Massenspektrometer-Modul entsorgen Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zu INFICON gesendet werden. Das Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollte von dieser Möglichkeit Gebrauch ge- macht werden.

  • Seite 104: Anhang

    10 | Anhang INFICON 10 Anhang 10.1 CE-Erklärung 104 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

  • Seite 105: Einbauerklärung

    INFICON Anhang | 10 10.2 Einbauerklärung LDS3000 jiqa54de-05-(1604) 105 / 108...

  • Seite 106: Kontaminationserklärung

    10 | Anhang INFICON 10.3 Kontaminationserklärung 106 / 108 LDS3000 jiqa54de-05-(1604)

Inhaltsverzeichnis