Maschinen- Und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

INFICON
Maschinenfaktor ein-
stellen
Schnüffelfaktor einstel-
len
6.6.8.2 Maschinen- und Schnüffelfaktor per Maschinenkalibrierung
LDS3000 jiqa54de-05-(1604)
Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie-
rung im Vakuumbetrieb.
Sollte ohne die Option Internes Prüfleck auf Wert 1,00 stehen. Bei Ändern des Wer-
tes wird die aus der Änderung resultierende Leckrate angezeigt. So wird der Ab-
gleich vereinfacht.
Wertebereich 1E-4...1E+5
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Vakuum > -Maschi-
nenfak. > Masse 2 (3, 4) > Maschinenfaktor VAC H2 (M3, He)
LD-Protokoll Befehl 522
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:FACMachine
Korrigiert eine eventuelle Abweichung zwischen der internen und externen Kalibrie-
rung im Schnüffelbetrieb
Wertebereich 1E-4...1E+4
Bedieneinheit Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > Schnüffeln > -
Schnüffelfak. > Masse 2 (3, 4) > Schnüffelfaktor H2 (M3, He)
LD-Protokoll Befehl 523
ASCII-Protokoll Befehl *FACtor:FACSniff
einstellen
ü Internes Prüfleck angeschlossen.
ü Externes Prüfleck in oder an Prüfanlage montiert und geschlossen.
ü Leckraten des internen und externen Prüflecks sind eingegeben.
ü LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw.
*STATus:CAL
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Maschinenkalibrierung starten.
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > Maschine (Schnüffler)
LD-Protokoll: 4, Parameter 3
ASCII-Protokoll: *CAL:FACtor_Machine, *CAL:FACtor_Snif
IO1000 siehe Abbildung in "Externe Kalibrierung konfigurieren und starten
[} 34]"
ð Interne Kalibrierung wird automatisch durchgeführt.
ð Aufforderung „Prüfleck öffnen" (Externes Prüfleck).
2 Externes Prüfleck und Ventil (falls vorhanden) zwischen Lecksuchgerät und An-
lage öffnen.
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