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Messung Starten Und Stoppen - INFICON LDS3000 Betriebsanleitung

Massenspektrometer-modul
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6.6

Messung starten und stoppen

Korrektur der Leckra-
te im Standby aktivie-
ren/deaktivieren
38
Betrieb
2 Externes Prüfleck und Ventil (falls vorhanden) zwischen Lecksuchgerät und An-
lage öffnen.
3 Eingeschwungenes und stabiles Leckratensignal bestätigen.
Bedieneinheit:
„OK"
LD-Protokoll:
11, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:ACKnowledge
IO1000
siehe
 Aufforderung „Prüfleck schließen" (Externes Prüfleck).
4 Externes Prüfleck schließen. Vorhandenes Ventil offen lassen.
5 Eingeschwungenes und stabiles Leckratensignal bestätigen.
Bedieneinheit:
„OK"
LD-Protokoll:
11, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED
IO1000
siehe
 Maschinen- bzw. Schnüffelfaktor ist bestimmt.
Wechselt zwischen Messen- und Standby-Betrieb
START = Standby --> Messen
STOP = Messen --> Standby
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Während der Messung
ZERO ist möglich.
Die Triggerausgänge schalten abhängig
von der Leckrate und der Triggerschwelle.
Schnüffeln ist möglich.
Bei Aktivierung des Digital-Eingangs CAL
wird eine externe Kalibrierung gestartet.
Im Vakuumbetrieb kann der Maschinenfaktor bei der Korrektur der Leckrate für den
Standby aktiviert oder deaktiviert werden.
Im Schnüffelbetrieb wird im Standby das Schnüffelventil geschlossen. Deshalb ent-
fällt bei dieser Einstellung der Schnüffelfaktor.
– 0 AUS (Maschinenfaktor wird im Standby nicht berücksichtigt.)
– 1 AN (Maschinenfaktor wird im Standby berücksichtigt.)
Bedieneinheit
LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
Abb. 6
Abb. 6
Funktionen > Start/Stop
Befehl 1, 2
Befehl *STArt, *STOp
Während des Standby
ZERO ist nicht möglich.
Die Triggerausgänge geben aus: Leck-
ratenschwellwert überschritten.
Schnüffeln ist nicht möglich.
Bei Aktivierung des Digital-Eingangs
CAL wird eine interne Kalibrierung ge-
startet.
Einstellungen > Einrichten > Betriebsarten > LR Korrektur >
Maschinenfak. in Standby
Befehl 524

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Diese Anleitung auch für:

560-300

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