Verwandte Anleitungen für INFICON PCG55 Serie
Inhaltszusammenfassung für INFICON PCG55 Serie
- Seite 1 Pirani Capacitance Diaphragm Gauge PCG550 PCG552 PCG554 Gebrauchsanleitung inkl. EU-Konformitätserklärung tina56d1-h (2019-02)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. tina56d1-h (2019-02) -
Seite 3: Gültigkeit
Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe PCG55x. Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte an- geführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und un- terscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter (z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung). tina56d1-h (2019-02) - Seite 4 ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0 (→ [7]) Halbleiterrelais ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 (→ [8]) **** Mechanische Relais Markante Unterschiede zwischen den beiden ETG-Normen: • PDO-Struktur, • Fehler- und Warnung-Bits. Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild. Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF und Anzeige.
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Seite 5: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
… 1500 mbar. Sie darf nicht für die Messung von leicht entzündbaren oder brennbaren Gasen, die mit Luft reagieren, verwendet werden. Die Messröhre kann mit einem INFICON Messgerät der VGC40x- und VGC50x-Serien oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden. Funktion Die PCG Messröhre ist eine Kombinationsmessröhre bestehend... -
Seite 6: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Marke Patente Lieferumfang Sicherheit Verwendete Symbole Personalqualifikation Grundlegende Sicherheitsvermerke Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Beziehung Messsignal – Druck Gasartabhängigkeit Einbau Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig 3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig 3.2.3 Stecker D-Sub HD, 15-polig 3.2.4 Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF 3.2.5 Stecker DeviceNet 3.2.6 Stecker Profibus... - Seite 7 Ausbau Instandhaltung, Instandsetzung Messröhre abgleichen Atmosphärendrucksensor abgleichen Verhalten bei Störung Sensor austauschen Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Zubehör Ersatzteile Weitere Informationen ETL-Zertifizierung EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ XY) verwen- det, für Verweise auf weitere, unter "Weitere Informationen" auf- gelistete, Dokumente das Symbol (→...
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Seite 8: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis <…> Beschriftung Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 9: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 10: Technische Daten
Technische Daten Weitere technische Daten für Messröhren mit serieller Schnittstelle → [4], [5], [6], [7], [8]. Messbereich 5×10 … 1500 mbar Messprinzip 10 mbar … 1500 mbar Kapazitiver Membran- Sensor 1 … 10 mbar Mischbereich 5×10 … 1 mbar Wärmeleitung nach Pirani Genauigkeit (N 5×10... - Seite 11 Beziehung Spannung-Druck 3PCx-0xx-xxx0 1.286 V/Dekade, logarithmisch 3PCx-0xx-xxx1 1 V/Dekade, logarithmisch 3PCx-0xx-xxx3 1 V/Dekade, logarithmisch → 21 3PCx-0xx-xxx2 2 × 4.7 Ω, kurzschlussfest Ausgangsimpedanz Lastimpedanz >10 kΩ Ansprechzeit <30 ms Messröhrenidentifikation FCC 68 (+0.61 … +10.23 V) 71.5 kΩ HV-Messröhrenabgleich bei <10 mbar ATM-Messröhrenabgleich...
- Seite 12 Versorgungsspannung Klasse 2 / LPS an der Messröhre +15 … +30 V (dc) ≤1 V Ripple Leistungsaufnahme ≤2.5 W ohne Feldbus ≤3 W DeviceNet ≤3 W Profibus ≤4.5 W EtherCAT Sicherung vorzuschalten 1 AT INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina56d1-h (2019-02)
- Seite 13 Anschluss elektrisch 3PCx-0xx-x0xx FCC 68 3PCx-0xx-x1xx D-Sub 9-polig, Stifte 3PCx-0xx-x2xx D-Sub HD 15-polig, Stifte 3PCx-0xx-x4xx D-Sub HD 15-polig, RS485 INF, Stifte Messkabel abgeschirmt, 0.14 mm /Ader ≤100 m Kabellänge ≤30 m RS232C-Betrieb → "Elektrischer Anschluss" Erdkonzept Vakuumanschluss und Signal- erde verbunden über 10 kΩ...
- Seite 14 DeviceNet-Schnittstelle Spezifikation, Datenformat, → [9] Kommunikationsprotokoll Schnittstelle physikalisch CAN-Bus Übertragungsrate (mit Schalter 125 kBaud <RATE> einstellbar) 250 kBaud 500 kBaud (ab Werk) <P> (programmierbar 125 / 250 / 500 kBaud über DeviceNet, → [5]) Knotenadresse (MAC ID) 0 … 63 ab Werk) (mit Schalter <ADDRESS>, <P>...
- Seite 15 Profibus-Schnittstelle Spezifikation, Datenformat, → [11] Kommunikationsprotokoll Schnittstelle physikalisch RS485 ≤12 Mbaud (→ [6]) Übertragungsrate Geräteadresse lokal (mit hexadezimalen Schaltern <ADDRESS>, <MAD>, <LSD> einstellbar) 00 … 7D (0 … 125 ab Werk über Profibus ("ADDRESS" Schalter auf >7D (>125 00 …...
- Seite 16 Inneres Volumen DN 16 ISO-KF 4.7 cm DN 16 ISO-KF, langes Rohr 14.5 cm DN 16 CF-F 8 cm DN 16 CF-R, langes Rohr 14 cm DN 25 ISO-KF 5.5 cm ® 4 VCR weiblich 5.5 cm ® 8 VCR weiblich 7 cm 1/8"...
- Seite 17 Abmessungen [mm] DN 25 ISO-KF 1/8" NPT 4 VCR 8 VCR 29.2×29.2 mm 7/16-20 UNF 24.4 4-VCR 90° tina56d1-h (2019-02)
- Seite 18 DeviceNet Profibus ADDRESS ADDRESS RATE STATUS NET MOD EtherCAT RS485 ADDRESS RATE 3 2 1 ON tina56d1-h (2019-02)
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Seite 19: Beziehung Messsignal - Druck
Beziehung Messsignal – Druck Messbereich 0.61 … 10.23 V Druck p 1E+06 1E+05 1E+04 mbar 1E+03 Torr 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 10.0 10.5 0.61 Messsignal U [V] 0.778(U-c) ⇔ p = 10 U = c +1.286log gültig im Bereich 5×10 mbar <p<... - Seite 20 Messbereich 1.2 … 8.68 V Druck p 1E+05 1E+04 mbar 1E+03 Torr 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 8.68 Messsignal U [V] (U-c) ⇔ p = 10 U = c + log gültig im Bereich 5×10 mbar <p<...
- Seite 21 Messbereich 0.375 … 5.659 V Messsignal U Druck p [mbar] [Pa] [Torr] 0.375 <5×10 <6.65×10 <5×10 0.376 0.000133322 0.013332237 0.0001 0.377 0.000266645 0.026664474 0.0002 0.379 0.000666612 0.066661184 0.0005 0.384 0.001333224 0.133322368 0.0010 0.392 0.002666447 0.266644736 0.0020 0.417 0.006666118 0.66661184 0.0050 0.455 0.013332237 1.33322368...
- Seite 22 Gültig im Bereich 0.375 … 2.842 V p = a + bU + cU + dU + eU + fU –0.02585 0.04563 –0.04158 0.03767 0.1151 0.008737 wobei p Druck in Torr a, b, c, d, e, f Konstante U Messsignal Gültig im Bereich 2.842 …...
- Seite 23 Messbereich 1.57 … 9.05 V Druck p 1E+05 1E+04 mbar 1E+03 Torr 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 1.57 9.05 Messsignal U [V] (U-c) ⇔ p = 10 U = c + log gültig im Bereich 5×10 mbar <p<...
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Seite 24: Gasartabhängigkeit
Gasartabhängigkeit Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p [mbar] Kapazitiver Pirani- Misch- Membran- sensor bereich Sensor Luft, O , CO, N –1 –2 –3 –4 –4 –3 –2 –1 [mbar] Kalibrierfaktoren gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar = C × angezeigter Druck Gasart Kalibrier- Gasart... -
Seite 25: Einbau
Einbau WARNUNG Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. Vakuumanschluss GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. - Seite 26 GEFAHR Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF-, NPT-, UNF- und VCR- Anschlüsse ent- sprechen dieser Forderung.
- Seite 27 Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuell eine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden. Für einen manuellen Abgleich der Messröhre im einge- bauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten.
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Seite 28: Elektrischer Anschluss
Erde verbinden. Das andere Schirm- ende offen lassen. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz) INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina56d1-h (2019-02) -
Seite 29: Stecker Fcc 68, 8-Polig
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Ident Speisungserde Messsignal 4.7Ω – 4.7Ω +24V – Elektrischer Anschluss Pin 1 Speisung Pin 2 Speisungserde, GND Pin 3 Messsignal oder Schwellwerte SP1, SP2 Pin 4 Messröhrenidentifikation Pin 5... -
Seite 30: Stecker D-Sub, 9-Polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Messsignal 4.7Ω – 4.7Ω +24V – Elektrischer Anschluss Pin 1 Relais SP1, Schließer Pin 2 n.c. Pin 3 Speisung Pin 4 Speisungserde, GND Pin 5 Messsignal oder Schwellwerte SP1, SP2 Pin 6 Relais SP1... -
Seite 31: Stecker D-Sub Hd, 15-Polig
3.2.3 Stecker D-Sub HD, 15-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Messsignal 4.7Ω – 4.7Ω +24V – Elektrischer Anschluss Pin 1, 2 n.c. Pin 3 Speisung Pin 4 Speisungserde, GND Pin 5 Signalausgang (Messsignal) Pin 6 Signalerde Relais SP1 Gemeinsamer Kontakt (com) -
Seite 32: Stecker D-Sub Hd, 15-Polig, Rs485 Inf
3.2.4 Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. 10Ω 1 Fail safe bias 2 Termination 120Ω Mess- signal 3 Fail safe 4.7Ω bias – 4.7Ω +24V – Elektrischer Anschluss Pin 1 RS485 B+ Pin 2... -
Seite 33: Stecker Devicenet
3.2.5 Stecker DeviceNet Falls kein DeviceNet-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. DeviceNet-Kabel anschließen. Micro-Style, 5-polig, (DeviceNet) Buchsen, lötseitig Pin 1 Drain Pin 2 Speisung +15 … +30 V (dc) Pin 3 Speisungserde Pin 4 CAN_H Pin 5 CAN_L DeviceNet Kabel tina56d1-h... -
Seite 34: Stecker Profibus
3.2.6 Stecker Profibus Falls kein Profibus-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. Profibus-Kabel anschließen. D-Sub, 9-polig, Stifte, lötseitig Pin 1, 2 nicht anschließen Pin 6 Pin 3 RxD/TxD-P Pin 7, 9 nicht belegt Pin 4 CNTR-P Pin 8 RxD/TxD-N Pin 5 DGND... -
Seite 35: Stecker Ethercat
3.2.7 Stecker EtherCAT Falls keine EtherCAT-Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. EtherCAT-Kabel anschließen. FCC68, 8-polig, lötseitig Pin 1 Sendedaten + Pin 2 Sendedaten - Pin 3 Empfangsdaten + Empfangsdaten - Pin 6 Pin 4, 5, 7 und 8: nicht belegt tina56d1-h (2019-02) -
Seite 36: Betrieb
Betrieb Nach dem Anlegen der Speisespannung steht am elektrischen Anschluss das Messsignal zur Verfügung (→ "Elektrischer Anschluss"). Eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten ist zu be- achten. Die Messröhre sollte unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet bleiben. Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern (Messröhre abgleichen →... - Seite 37 Flüssigkristallanzeige (LCD) Bedeutung Keine Versorgungsspannung leuchtet grün Mess- / Parametermodus leuchtet rot Fehler Die Anzeige kann über den Diagnostik-Port um 180 ° gedreht werden. In Betrieb nehmen Nach dem Anlegen der Speisespan- nung erscheint kurz die Software- version. tina56d1-h (2019-02)
- Seite 38 Messmodus Relais 2 Schaltpunkt ATM-Schaltpunkt Zustand Relais 2 offen geschlossen Relais 1 ATM-Schaltpunkt Schaltpunkt Zustand Relais 1 offen geschlossen Messprinzip Pirani Kapazitiv Pirani / Kapazitiv Messwert Einheit Millibar Torr Pascal Micron keine Anzeige Counts Underrange Overrange keine Anzeige Im Messreich tina56d1-h (2019-02)
- Seite 39 Parametermodus Schaltfunktionen <S> Nach Drücken des Tasters <SP1> oder <SP2> wird der entsprechende Schwellwert angezeigt. Die jeweilige Relais-Anzeige blinkt. Schwellwert Fehleranzeige (Fehlerbehebung → 60) Pirani-Sensorfehler Membran-Sensorfehler Atmosphärendruck-Sensorfehler tina56d1-h (2019-02)
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Seite 40: Eeprom-Fehler
EEPROM-Fehler Sensor-Fehler Gasartabhängigkeit Druckbereich Messprinzip Gasartabhängigkeit Kapazitiver gasartunabhängig, 10 … 1500 mbar Membran-Sensor keine Korrektur erfor- derlich Kapazitiver Membran-Sensor Mischbereich 1 … 10 mbar und Pirani-Sensor 5×10 … 1 mbar Pirani-Sensor proportional zum Druck Schaltfunktionen SP1, SP2 Die zwei Schaltpunkte sind auf einen beliebigen Druck im gan- zen Messbereich der Messröhre einstellbar. - Seite 41 Der jeweils aktuelle Schwellwert • kann über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben werden • steht nach Drücken des Tasters <SP1> oder <SP2> am Messsignalausgang an Stelle des Drucksignals zur Verfü- gung, kann mit Hilfe eines Voltmeters gemessen werden und wird im LCD angezeigt •...
- Seite 42 High Trip Point Ist der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert, leuchtet das jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende Relais ist geschlossen. Messsignal (Druck p) Schwellwert Hysterese Schaltpunkt (10% des Schwellwertes) Zeit t tina56d1-h (2019-02)
- Seite 43 High & Low Trip Point Dem jeweiligen Schaltpunkt ist gleichzeitig ein High Trip Point und ein Low Trip Point zugeordnet. Ist beim High Trip Point der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das ent- sprechende Relais ist geschlossen.
- Seite 44 4.3.1 Einstellen der Schwellwerte SP1, SP2 Das Schaltverhalten und die Hysterese des jeweiligen Schaltpunktes können nur programmiert werden über • den Diagnostik-Port (→ [4]) • die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT- und RS485- Schnittstelle (→ [4], [5], [6], [7], [8]). Der Schwellwert des jeweiligen Schaltpunktes kann eingestellt werden über •...
- Seite 45 Danach ändert sich die Schwellwerteinstellung Richtung obere Einstellgrenze, bis der Taster losgelassen wird oder die Einstellgrenze erreicht ist. Taster gedrückt halten Taster <SP1> erneut drücken: Feineinstellung innerhalb 0...1 s: Schwellwert ändert um eine Einheit Richtungswechsel Schwellwerteinstellung ändert ihre innerhalb 2...3 s: Richtung ...
- Seite 46 Schwellwert SP1 programmieren Programmierbare Parameter: Low Trip Point (→ [4], [5], [6], [7], [8]) Low Trip Enable Low Trip Point Hysteresis High Trip Point High Trip Enable High Trip Point Hysteresis Setpoint Mode Schwellwert SP2 einstellen Der Einstellvorgang für SP2 entspricht demjenigen von SP1. tina56d1-h (2019-02)
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Seite 47: Atm-Schaltpunkt
ATM-Schaltpunkt Bei Messröhren mit separatem Atmosphärendrucksensor können die Schaltpunkte SP1 und SP2 über den Diagnostik-Port oder über die serielle Schnittstelle auf Atmosphärendruck- schaltpunkt (ATM-Schaltpunkt) umprogrammiert werden. Der ATM-Schaltpunkt wird als Faktor des aktuellen Atmosphä- rendrucks programmiert und kann auf einen beliebigen Druck im ganzen Messbereich der Messröhre eingestellt werden. - Seite 48 Der aktuell programmierte ATM-Schwellwert • kann über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben werden • steht nach Drücken des entsprechenden Tasters (<SP1>, <SP2>) am Messsignalausgang an Stelle des Drucksignals zur Verfügung, kann mit Hilfe eines Voltmeters gemessen werden und wird im LCD angezeigt •...
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Seite 49: Diagnostik-Port (Rs232C-Schnittstelle)
Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) Über den Diagnostik-Port <DIA> können parallel der Messwert und alle Statusinformationen ausgelesen sowie alle Einstellfunk- tionen vorgenommen werden (→ [4]). → "Zubehör" tina56d1-h (2019-02) -
Seite 50: Devicenet-Betrieb
Die Messröhre muss vor der Inbetriebnahme im DeviceNet kon- figuriert werden. Dies geschieht mit einem Konfigurations-Tool und der gerätespezifischen "EDS-Datei" (Electronic Data Sheet). Diese Software kann von unserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com). Knotenadresse einstellen (ab Werk 63 Die Knotenadresse (0 … 63 ) muss mit den Schaltern <ADDRESS>, <MSD>... - Seite 51 Übertragungsrate einstellen Die Übertragungsrate lässt sich mit dem Schalter <RATE> auf 125 (<1>), 250 (<2>) oder 500 kBaud (<5>) einstellen (ab Werk 500 kBaud). In der Position <P> ist die Übertragungsrate über DeviceNet programmierbar (→ [5]). RATE Beispiel: Übertragungsrate = 250 kBaud: Messwerte übertragen Gemäß...
- Seite 52 "STATUS MOD"(Messröhren-Status): Bedeutung Keine Versorgungsspannung blinkt grün-rot Selbsttest leuchtet grün Betrieb leuchtet rot Nicht korrigierbarer Fehler blinkt rot Korrigierbarer Fehler (z. B. fehlende DeviceNet-Speisung) <STATUS NET> (Netzwerk-Status): Bedeutung Messröhre ist nicht online: • Selbsttest ist noch nicht abgeschlossen • Keine Speisung, → "Status MOD" blinkt grün Messröhre ist online, hat aber keine Ver- bindung:...
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Seite 53: Profibus-Betrieb
Der Betrieb der Messröhre am Profibus erfordert bei der über- geordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (GSD-Datei). Diese Datei kann von unserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com). Gerätedresse einstellen (ab Werk 01 Die eindeutige Identifikation der Messröhre am Profibus erfordert die Zuweisung einer Geräteadresse. - Seite 54 Geräteadresse >7D (>125 Die Messröhre startet mit der Adresse 126 . Sie kann über Profibus geändert werden ("Set slave address", → [6]). Zusätzlich kann mit dem Attribut "NO_ADD_CHG" festgelegt werden, ob über Profibus weitere Adressänderungen zulässig sind. Die Adresse und das Attribut werden nichtflüchtig gespeichert. Will man diese ändern, muss die Messröhre zuerst mit einer Adresseinstellung <126 gestartet werden.
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Seite 55: Ethercat-Betrieb
Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der über- geordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei kann von unserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com). Spezifische Gerätedresse ändern (ab Werk 00 Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am Gerät eingestellte Adresse. -
Seite 56: Ausbau
Status-LED LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung des Röhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status (→ [7], [8]). Ausbau WARNUNG Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. - Seite 57 Vorsicht Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re- geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be- schädigung beachten. Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.
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Seite 58: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleiß- teile (z. B. Heizfaden), fallen nicht unter die Gewähr- leistung. INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen... - Seite 59 Die Messröhre wird auf Standardwerte abgeglichen, kann aber auch auf andere Druckwerte eingestellt werden. Dies bedingt jedoch, den exakten Druckwert zu kennen (Referenzmessung). Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen → "Ausbau"). Messröhre in Betrieb nehmen und mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck betreiben.
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Seite 60: Atmosphärendrucksensor Abgleichen
Wird am Messsignalausgang oder im LCD der Druck 4.99×10 mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. Andernfalls den Abgleich wiederholen. Atmosphärendrucksensor abgleichen Der Umgebungsdruck der Messröhre (Atmosphärendruck) wird in der Elektronikeinheit der Messröhre durch einen separaten Atmosphärendrucksensor gemessen. Der Atmosphärendrucksensor kann mit dem kapazitiven Mem- bransensor geeicht werden. -
Seite 61: Fehler Beheben
Fehlerdiagnose an der Messröhre Das Messsignal steht am Messkabelstecker zur Verfügung. Ist ein Fehler aufgetreten, empfehlen wir, die Versor- gungsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder einzuschalten. Störung Mögliche Ursache Behebung Messsignal Messkabel defekt oder nicht Messkabel prüfen dauernd ≈0 V korrekt angeschlossen <ST>... - Seite 62 Fehlerdiagnose am Sensor (Pirani Heizfaden) Wird die Ursache einer Störung im Sensor selber vermutet, lässt sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe Diagnose durchführen. Der Sensor muss für den Test von der Elektronikeinheit getrennt werden (→ 63). Mittels Ohmmeter kann nun folgende Messung an den Kontakt- stiften des Sensors durchgeführt werden.
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Seite 63: Sensor Austauschen
Sensor austauschen Voraussetzung Messröhre ausgebaut (→ 56). Innensechskantschrauben herausschrauben und Sensor ohne Drehbewegung entfernen. 2 mm Ersatzsensor ohne Drehbewegung aufsetzen und fest- schrauben. tina56d1-h (2019-02) -
Seite 64: Produkt Zurücksenden
Schadstoffen sein. Versandvorschriften der be- teiligten Länder und Transportunternehmen beach- ten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beile- gen. Formular unter www.inficon.com Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produk- te werden kostenpflichtig zurückgesandt. tina56d1-h... -
Seite 65: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein- halten. WARNUNG Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um-... -
Seite 66: Zubehör
Zubehör Bestellnummer Zentrierring mit Feinfilter DN 16 ISO-KF 211-097 Kommunikationsadapter (2 m) 303-333 Die Diagnose-Software (Windows NT, XP) kann von unserer Website herunter geladen werden. tina56d1-h (2019-02) -
Seite 67: Ersatzteile
Ersatzteile Bestellen Sie Ersatzteile immer mit: • allen Angaben gemäß Typenschild • Beschreibung und Artikelnummer Sensor für Messröhre mit Wolfram-Heizfaden Bestell- nummer 3PC1-0x1-xxxx 357-925 DN 16 ISO-KF 3PC6-0x1-xxxx 3PC1-0x2-xxxx 357-926 DN 16 ISO-KF, langes Rohr 3PC6-0x2-xxxx 3PC1-0x4-xxxx 357-927 DN 16 CF-F 3PC6-0x4-xxxx 3PC1-0x5-xxxx 357-928... - Seite 68 Sensor für Messröhre mit Nickel-Heizfaden Bestell- nummer 3PC2-0x1-xxxx 357-936 DN 16 ISO-KF 3PC7-0x1-xxxx 3PC2-0x2-xxxx 357-937 DN 16 ISO-KF, langes Rohr 3PC7-0x2-xxxx 3PC2-0x4-xxxx 357-938 DN 16 CF-F 3PC7-0x4-xxxx 3PC2-0x5-xxxx 357-939 DN 16 CF-R, langes Rohr 3PC7-0x5-xxxx 3PC2-0x6-xxxx 357-940 DN 25 ISO-KF 3PC7-0x6-xxxx 3PC2-0xD-xxxx 357-943...
- Seite 69 Sensor für Messröhre mit Al beschichtetem Bestell- Heizfaden nummer 3PC3-0x1-xxxx 357-947 DN 16 ISO-KF 3PC8-0x1-xxxx 3PC3-0x2-xxxx 357-948 DN 16 ISO-KF, langes Rohr 3PC8-0x2-xxxx 3PC3-0x4-xxxx 357-949 DN 16 CF-F 3PC8-0x4-xxxx 3PC3-0x5-xxxx 357-950 DN 16 CF-R, langes Rohr 3PC8-0x5-xxxx 3PC3-0x6-xxxx 357-951 DN 25 ISO-KF 3PC8-0x6-xxxx 3PC3-0xD-xxxx 357-954...
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Seite 70: Weitere Informationen
Weitere Informationen www.inficon.com Gebrauchsanleitung Einkanal-Messgerät VGC401 tinb01d1 deutsch tinb01e1 englisch INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC402, VGC403 tinb07d1 deutsch tinb07e1 englisch INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Ein-, Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC501, VGC502,... - Seite 71 www.inficon.com Kommunikationsanleitung ® EtherCAT PCG55x, PSG55x (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0) tira85e1 englisch INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Kommunikationsanleitung ® EtherCAT PCG55x, PSG55x (ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0) tirb51e1 englisch INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Common Industrial Protocol (CIP™) Ed. 3.5 and DeviceNet™...
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Seite 72: Etl-Zertifizierung
ETL-Zertifizierung RECOGNIZED ETL LISTED COMPONENT The products PCG550, PCG552 and PCG554 • conform to the UL Standard UL 61010-1 • are certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1-12 3103457 tina56d1-h (2019-02) -
Seite 73: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS- Richtlinie 2011/65/EU. Pirani Capacitance Diaphragm Gauge PCG550, PCG552, PCG554 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung) - Seite 74 Notizen tina56d1-h (2019-02)
- Seite 75 Notizen tina56d1-h (2019-02)
- Seite 76 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch www.inficon.com t i na56d1- h...