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INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 92

Massenspektrometer-modul
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9 | Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ)
Leckrate log.
Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter „Exponent oberer
Grenzwert" und „Skalierung bei Leckrate" eingestellt. Beispiel:
Obere Grenze eingestellt auf 1 x 10
-7
liegt bei 1 x 10
mbar l/s (= 0 V). Bei der logarithmischen Ausgangsfunktion werden sowohl die Steigung in V/
Dekade als auch der obere Grenzwert (10-V-Wert) eingestellt. Daraus ergibt sich der kleinste anzeigbare
Wert. Folgende Steigungen sind wählbar: 0.5, 1, 2, 2.5, 3, 5, 10 V/Dekade Je höher der eingestellte
Steigungswert, umso kleiner ist der darstellbare Bereich. Die logarithmischen Einstellungen sind am
sinnvollsten, wenn mehrere Dekaden darstellbar sind, also eine Einstellung < 10 V/Dekade. Der obere
Grenzwert ist für beide Analogausgänge gleich. In den beiden folgenden Abbildungen sind 1 V/Dekade und 5
V/Dekade mit unterschiedlichen Einstellungen des oberen Grenzwerts beispielhaft dargestellt. Je nach
gewählter Leckrateneinheit ergibt sich eine andere absolute Grenze. Der gewählte Bereich kann durch die
Grenzen, die für alle Schnittstellen gültig sind, zusätzlich eingeengt werden, siehe oben.
Über Interface
Leckrate Ma. Hys.
Druck p1 (1 V / Dek.)/
Druck p2 (1 V / Dek.)
Leckrate log. H./
Leckrate Exp. Inv.
92 / 144
x ... 10 V; logarithmisch;
in gewählter Einheit
-5
mbar l/s (= 10 V). Skalierung eingestellt auf 5 V / Dekade. Untere Grenze
Die Ausgangsspannung kann über den LD-Protokoll-Befehl 221 für
Tests festgelegt werden.
0,7 ... 10 V; linear;
in gewählter Einheit
1 ... 10 V; 1 V / Dekade;
-3
2,5 V = 1 x 10
mbar;
8,5 V = 1000 mbar
Sonderfunktion. Nur auf
Empfehlung von INFICON
verwenden.
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Nur sinnvoll, wenn der andere Analog-
Ausgang mit „Leckrate Exponent"
belegt ist. Durch eine Überlappung der
Mantisse im Bereich 0,7 bis 1,0 wird
ein permanentes Springen zwischen
zwei Dekaden verhindert. 0,7 V
entspricht einer Leckrate von 0,7 x 10
x
. 9,9 V entspricht einer Leckrate von
-x
9,9 x 10
.
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Diese Anleitung auch für:

Lds3000 aq

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