Verwandte Anleitungen für INFICON Gemini MAG500
Inhaltszusammenfassung für INFICON Gemini MAG500
- Seite 1 Cold Cathode Gauge Gemini MAG500, MAG504 Gemini MAG550, MAG554 Cold Cathode Pirani Gauge Gemini MPG500, MPG504 Gemini MPG550, MPG554 Gebrauchsanleitung inkl. EU-Konformitätserklärung tina83d1-d (2018-12)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. INFICON AG, LI-9496 Balzers Model: tina83d1-d (2018-12) -
Seite 3: Gültigkeit
Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihen MAG5xx und MPG5xx. EtherCAT RS232/485 Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild. tina83d1-d (2018-12) -
Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Vakuummessung von Gasen im Druckbereich von 1×10 … 1×10 mbar. Messröhren mit Messröhrenidentifikation können mit einem INFICON Messgerät der VGC40x- / VGC50x-Serien betrieben werden. Gemini MPG500, MPG504, MPG550, MPG554 Die Cold Cathode Pirani Gauges Gemini MPG5xx erlauben die Vakuummessung im Druckbereich von 1×10 …... -
Seite 5: Funktion
Funktion Gemini MAG500, MAG504, MAG550, MAG554 Eingesetzt wird ein Kaltkathoden-Ionisationsmesskreis (nach dem Prinzip des invertierten Magnetrons). Das Messsignal ist über den gesamten Messbereich logarith- misch vom Druck abhängig. Gemini MPG500, MPG504, MPG550, MPG554 Die Messröhre enthält zwei separate Messsysteme (Pirani- Messsystem und Kaltkathoden-Messsystem nach dem Prinzip des invertierten Magnetrons). -
Seite 6: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Lieferumfang Sicherheit Verwendete Symbole Personalqualifikation Grundlegende Sicherheitsvermerke Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Beziehung Messsignal – Druck Gasartabhängigkeit MAG5xx Gasartabhängigkeit MPG5xx Einbau Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig 3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig Betrieb Statusanzeige MAG50x Statusanzeige MPG50x MAG5xx in Betrieb nehmen... - Seite 7 Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Optionen Zubehör Ersatzteile 11.1 Zündhilfe für MAG5xx und MPG5xx 11.2 Ionisationskammer für MAG5xx und MPG5xx 11.3 Messkammer kpl. (Ersatzsensor) 11.3.1 Messkammer kpl. für MAG5x0 11.3.2 Messkammer kpl. für MAG5x4 11.3.3 Messkammer kpl. für MPG5x0 11.3.4 Messkammer kpl. für MPG5x4 Literatur ETL-Zertifikat EU-Konformitätserklärung...
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Seite 8: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Aufdruck auf Typenschild: Aufforderung zur Konsultation der Gebrauchsanleitung Hinweis <…>... -
Seite 9: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 10: Technische Daten
Technische Daten Weitere technische Daten für Messröhren mit RS232C oder RS485C Schnittstelle → [1], mit EtherCAT- Schnittstelle → [2]. Messbereich (Luft, N 1×10 … 1×10 mbar 1×10 … 1000 mbar Genauigkeit MAG (N 1×10 … 1×10 mbar 30% des Messwertes Genauigkeit MPG (N 1×10 …... - Seite 11 2 × 4.7 Ω, kurzschlussfest Ausgangsimpedanz ≥10 kΩ, kurzschlussfest Lastimpedanz Sprungantwortzeit druckabhängig <100 ms >1×10 mbar ≈ 1×10 … 1×10 mbar Messröhrenidentifikation 3MAx-xxx-000N – 3MAx-xxx-000Q 100 kΩ gegen Speisungserde 3MBx-xxx-000P 85 kΩ gegen Speisungserde Statussignal (Digitalausgang) FCC-Stecker Belastbarkeit 100 mA (source) Hochspannung ist EIN +14.5 …...
- Seite 12 FCC 68, 8-polig 3Mxx-xxx-01xx D-Sub, 9-polig Messkabel für FCC 8-polig, abgeschirmt für D-Sub, 9-polig 9-polig, abgeschirmt ≤50 m (0.14 mm Kabellänge (nur für FCC) /Ader) INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur Leitungslänge erhöht werden. tina83d1-d (2018-12)
- Seite 13 → "Elektrischer Anschluss" Erdkonzept Ω Vakuumanschluss – über 10 k verbunden (Potenzialdifferenz ≤16 V) Signalerde Speisungserde – Signalerde getrennt geführt; wir emp- fehlen differentielle Messung Werkstoffe gegen Vakuum Vakuumanschluss Edelstahl (1.4435) Messkammer Edelstahl (1.4435) Pirani-Heizfaden ( MPG5xx) Durchführung, MAG/MPG5x0 Isolation Glas, Keramik (Al Ring Edelstahl (1.4435)
- Seite 14 Zulässige Temperaturen Betrieb +5 °C … +55 °C Pirani-Heizfaden (MPG) 120 °C ≤150 °C Ausheizen Lagerung –40 °C … +70 °C Relative Feuchte, Jahresmittel an 30 Tagen pro Jahr ≤70% (nicht kondensierend) 1×10 … 1×10 mbar ≤95% (nicht kondensierend) 1×10 …...
- Seite 15 Abmessungen MxG50x [mm] FCC 68 D-Sub 8-polig 9-polig HV-ST HV-ST DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Abmessungen MxG55x → [2]. tina83d1-d (2018-12)
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Seite 16: Beziehung Messsignal - Druck
Beziehung Messsignal – Druck Messbereich 1.5 … 8.5 V (3MAx-xxx-xxxN) Druck p 1E+00 1E–01 mbar 1E–02 torr 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 10.0 Messsignal U [V] (U-c) ⇔ p = 10 U = c + log Gültig im Bereich 1×10 mbar <... - Seite 17 Messbereich 0.667 … 10 V (3MAx-xxx-xxxQ) Druck p 1E+00 1E–01 mbar 1E–02 torr 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 10.0 10.5 0.667 Messsignal U [V] (U-c)/1.33 ⇔ p = 10 U = c + 1.33 log p Gültig im Bereich 1×10 mbar <...
- Seite 18 Messbereich 1.397 … 8.6 V (3MBx-xxx-xxxP) Druck p 1E+04 mbar 1E+02 torr 1E+00 1E–02 1E–04 1E–06 1E–08 1E–09 0.0 0.5 10.5 1.217 1.397 Messsignal U [V] 1.667U-d ⇔ p = 10 U = c + 0.6 log p Gültig im Bereich 1×10 mbar <...
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Seite 19: Gasartabhängigkeit Mag5Xx
Gasartabhängigkeit MAG5xx Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p [mbar] Luft Xe Kr Ne He –3 –4 –5 –6 –7 –7 –6 –5 –4 –3 –2 [mbar] Anzeigebereich unter 10 mbar Im Bereich unter 10 mbar ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden: = K ×... - Seite 20 wobei: Gasart Luft (N , CO) Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte. Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-Massenspektrometer. tina83d1-d (2018-12)
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Seite 21: Gasartabhängigkeit Mpg5Xx
Gasartabhängigkeit MPG5xx Messbereich von 10 … 10 mbar (reiner Pirani-Betrieb) Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p [mbar] Luft Anzeigenbereich über 10 mbar Freon 12 –1 O-Dampf –2 –3 –2 –1 4 6 8 4 6 8 4 6 8 4 6 8 [mbar] tina83d1-d... - Seite 22 Messbereich von 10 … 0.1 mbar Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p (mbar) –1 Anzeigenbereich ... 10 mbar –2 –3 Luft –4 –5 –6 –6 –5 –4 –3 –2 –1 4 6 8 (mbar) Messbereich unter 10 mbar Im Bereich unter 10 mbar ist die Anzeige linear.
- Seite 23 wobei: Gasart Luft (N , CO) Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte. Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-Massenspektrometer. tina83d1-d (2018-12)
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Seite 24: Einbau
Einbau Vakuumanschluss GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden. - Seite 25 GEFAHR Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung. • Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender Spannring zu verwenden.
- Seite 26 Die Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Vibrationen an der Messröhre führen im Allgemeinen zu Abweichungen der Messwerte. Die Einbaulage ist frei wählbar. Zu bevorzugen ist eine waag- rechte bis stehende Lage, damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen können. Bei potenziell verschmutzenden Anwendungen und zum Schutz des Messsystems vor Verschmutzung wird empfohlen, eine Dichtung mit Zentrierring und Filter einzubauen (Optionen...
- Seite 27 Bei der Montage an CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit vorübergehend zu entfernen. Innensechskant SW 2 Schutzkappe Schutzkappe aufbewahren. tina83d1-d (2018-12)
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Seite 28: Elektrischer Anschluss
• Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Stecker- gehäuse verwenden. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤6 V (Überspannungsschutz). INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina83d1-d (2018-12) -
Seite 29: Stecker Fcc 68, 8-Polig
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. HS ein High aktiv Low aktiv – HS ein Signal – Ident – Elektrischer Anschluss Pin 1 Speisung (14.5 … 30 V (dc)) Pin 2 Speisungserde GND Pin 3... -
Seite 30: Stecker D-Sub, 9-Polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Elektrischer Anschluss Pin 1 Hochspannung ein/aus (Low aktiv) Pin 2 Speisungserde GND Pin 3 Signalausgang (Messsignal) Pin 4 Speisung (14.5 … 30 V (dc)) Pin 5 nicht belegt Pin 6... -
Seite 31: Betrieb
Betrieb Statusanzeige MAG50x Versorgungsspannung Fehler Hochspannung HV-ST Kaltkathode Kalibrierwert Nur für Werkseinstellung Bedeutung <ST> <HV-ST> Keine Versorgungsspannung leuchtet Versorgungsspannung = ok, grün Kaltkathode aus leuchtet blinkt Versorgungsspannung = ok, grün grün Druck im Kaltkathodenbereich, Kaltka- thode nicht gezündet leuchtet leuchtet Kaltkathode gezündet grün grün... -
Seite 32: Statusanzeige Mpg50X
Statusanzeige MPG50x Versorgungsspannung Fehler Hochspannung HV-ST Kaltkathode Kalibrierwert Nur für Werkseinstellung Bedeutung <ST> <HV-ST> Keine Versorgungsspannung leuchtet Versorgungsspannung = ok, grün Pirani aktiv, Kaltkathode aus leuchtet blinkt Versorgungsspannung = ok, grün grün Druck im Kaltkathodenbereich, Kaltka- thode nicht gezündet leuchtet leuchtet Kaltkathode gezündet grün... -
Seite 33: Mag5Xx In Betrieb Nehmen
Vorsicht Schalten Sie die Messröhre/Hochspannung nur bei Drücken <10 mbar ein, um eine übermäßige Ver- schmutzung zu vermeiden. Bei INFICON-Messgeräten mit mindestens zwei Messröhrenanschlüssen kann die Kaltkathoden- Messröhre beispielsweise durch eine Pirani-Mess- röhre gesteuert werden. MAG50x mit FCC-Stecker Nach dem Anlegen der Speisespannung und dem Einschalten der Hochspannung über Pin 7 (low aktiv) oder Pin 8 (high aktiv) -
Seite 34: Gasartabhängigkeit
. Für andere Gase ist er umzu- rechnen: • (MAG5xx → 19) • (MPG5xx → 21). Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben, kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des ange- zeigten Messwerts eingegeben werden (→ des entsprechen- den Messgeräts). -
Seite 35: Zündverzögerung
Zündverzögerung Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zünd- verzögerung. Sie nimmt bei tieferen Drücken zu und beträgt für saubere, entgaste Messröhren typischerweise bei: 1×10 … 1×10 mbar < 1 Sekunde 1×10 … 1×10 mbar <20 Sekunden 5×10 … 1×10 mbar < 2 Minuten <5×10 mbar <20 Minuten... -
Seite 36: Verschmutzung
Verschmutzung Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heizfaden (MPG5xx)), fallen nicht unter die Gewährleistung. Die Verschmutzung der Messröhre ist abhängig von der Art der Prozessmedien, eventuell vorhandenen oder neu entstehenden Verunreinigungen und deren Partialdruck. -
Seite 37: Ausbau
Ausbau GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein- halten. Vorsicht Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. - Seite 38 Messröhre außer Betrieb setzen und Messkabel ausziehen. Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz- kappe aufsetzen. Bei der Demontage von CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit vorüberge- hend zu entfernen (→ 27). Dichtung mit Zentrierring Schutzkappe Spannelement tina83d1-d (2018-12)
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Seite 39: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleiß- teile (z. B Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heiz- faden (MPG5xx)), fallen nicht unter die Gewährleistung. INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Messröhre abgleichen MAG5xx Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen und wartungsfrei. - Seite 40 Den Abgleich bei den gleichen, konstanten Umgebungsbe- dingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei der die Messröhre normalerweise verwendet wird. Der Abgleich kann erfolgen über • den <ADJ> Taster an der Messröhre, • den Diagnostic Port (→ [1]), • die RS232C/485C-Schnittstelle (→ [1]), •...
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Seite 41: Messröhre Warten, Ersatzteile Einbauen
Wird am Messsignalausgang der Druck 1000 mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. Andern- falls den Abgleich wiederholen. Vakuumsystem auf p <10 mbar evakuieren, anschließend mind. 2 Minuten warten. Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift kurz drücken (Dauer des Abgleichs ≈5 s). Wird am Messsignalausgang ein Druck <1×10 mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. - Seite 42 Vorsicht Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re- geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be- schädigung beachten. Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sau- beres Werkzeug benutzen.
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Seite 43: Fehlerdiagnose An Der Messkammer
6.2.1 Fehlerdiagnose an der Messkammer Wird die Ursache einer Störung in der Messkammer selber ver- mutet, lässt sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe Diagnose durchführen. Benötigtes Werkzeug / Material • Innensechskantschlüssel SW 2 • Zange für Sicherungsring • Ohmmeter ... - Seite 44 Ionisations- und Messkammer auf Verschmutzung prüfen: • Nur Ionisationskammer verschmutzt: Ionisationskammer 45) → ersetzten ( • Messkammer stark verschmutzt: Komplette Messkam- 50). → mer ersetzten ( An den Kontaktstiften der Messkammer mittels Ohmmeter folgende Messungen durchführen. Messung Mögliche zwischen...
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Seite 45: Ionisationskammer Und Zündhilfe Ersetzen
6.2.2 Ionisationskammer und Zündhilfe ersetzen Voraussetzung 43). → Fehlerdiagnose an der Messkammer durchgeführt ( Bei Verschmutzung die Zündhilfe mit dem Demontage- 57). → werkzeug entfernen (Zubehör Ein Scotch-Brite in das Montagewerkzeug einführen … tina83d1-d (2018-12) - Seite 46 … und Anode vorsichtig blank reiben. Anode nicht verbiegen. Ein Scotch-Brite in das Montagewerkzeug einführen … tina83d1-d (2018-12)
- Seite 47 … und die Innenwandungen der Messkammer vorsichtig blank reiben. Anode nicht verbiegen. Wir empfehlen die Innenwandungen der Messkammer bis zur Nut des Sicherungsringes mit einem Poliertuch blank zu reiben. • Dichtfläche nur konzentrisch bearbeiten • Anode nicht verbiegen Messkammer mit Industriealkohol spülen und trocknen lassen.
- Seite 48 Neue Zündhilfe mit der flachen Seite nach oben in das Montagewerkzeug einlegen … … und vorsichtig bis zum mechanischen Anschlag auf die Anode schieben. tina83d1-d (2018-12)
- Seite 49 Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff ausblasen (und dabei die Messkammer mit dem Flansch nach unten halten). Neue Ionisationskammer (2) bis zum mechanischen An- schlag in die Messkammer (3) schieben und Sicherungs- 57). → ring (1) montieren (Ersatzteile ...
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Seite 50: Messkammer Ersetzen
… und mit dem Gewindestift (4) arretieren. 6.2.3 Messkammer ersetzen Voraussetzung 43). → Fehlerdiagnose an der Messkammer durchgeführt ( Am <CAL> Schalter der Elektronikeinheit (5) den Kalibrier- wert des Ersatzsensors einstellen. HV-ST Kalibrierwert Ersatzsensor (Messkammer kpl.) tina83d1-d (2018-12) - Seite 51 Messkammer kpl. vorsichtig bis zum mechanischen An- schlag in die Elektronikeinheit (5) schieben. Pins gerade ausgerichtet. Messkammer (3) mit dem Gewindestift (4) arretieren. MPG5xx Messröhre: Manuellen ATM- und HV-Abgleich des Pirani-Messkreises durchführen (→ 40). Ein Abgleich der MAG5xx-Messröhre ist nicht er- forderlich.
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Seite 52: Fehlerbehebung
Fehlerbehebung Ist ein Fehler aufgetreten, empfehlen wir, die Versor- gungsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder einzuschalten. tina83d1-d (2018-12) - Seite 53 tina83d1-d (2018-12)
- Seite 54 tina83d1-d (2018-12)
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Seite 55: Produkt Zurücksenden
Schadstoffen sein. Versandvorschriften der be- teiligten Länder und Transportunternehmen beach- ten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beile- gen. Formular unter www.inficon.com Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produk- te werden kostenpflichtig zurückgesandt. tina83d1-d... -
Seite 56: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um- weltschäden verursachen. -
Seite 57: Optionen
Optionen Bestellnummer Dichtung mit Zentrierring und Feinfilter, 211-098 DN 25 ISO-KF (Edelstahl) Baffle (optisch dicht) mit Zentrierring und Dichtung, DN 25 ISO-KF 211-113 Baffle, DN 25 ISO-KF, DN 40 ISO-KF, DN 40 CF-x 353-512 Zubehör Bestellnummer Montage- / Demontagewerkzeug für Zündhilfe 351-550 Ersatzteile Bestellen Sie Ersatzteile immer mit:... -
Seite 58: Zündhilfe Für Mag5Xx Und Mpg5Xx
11.1 Zündhilfe für MAG5xx und MPG5xx Bestellnummer Zündhilfe (10 Stück) 351-995 11.2 Ionisationskammer für MAG5xx und MPG5xx Bestellnummer Ionisationskammer Edelstahl 351-555 Ionisationskammer Titan 351-556 11.3 Messkammer kpl. (Ersatzsensor) Messkammer Ionisationskammer Sicherungsring 11.3.1 Messkammer kpl. für MAG5x0 Ionisationskammer aus Edelstahl Bestellnummer 3MA0-006-xxxx 351-500 DN 25 ISO-KF... -
Seite 59: 11.3.2 Messkammer Kpl. Für Mag5X4
Ionisationskammer aus Titan Bestellnummer 3MA0-116-xxxx 351-502 DN 25 ISO-KF 3MA0-117-xxxx 351-514 DN 40 ISO-KF 3MA0-118-xxxx 351-538 DN 40 CF-R 3MA0-11Q-xxxx 351-526 DN 40 CF-F 11.3.2 Messkammer kpl. für MAG5x4 Ionisationskammer aus Edelstahl, Bestellnummer beschichtet 3MA3-006-xxxx 351-501 DN 25 ISO-KF 3MA3-007-xxxx 351-513 DN 40 ISO-KF 3MA3-008-xxxx... -
Seite 60: 11.3.4 Messkammer Kpl. Für Mpg5X4
Ionisationskammer aus Titan Bestellnummer 3MB0-116-xxxx 351-508 DN 25 ISO-KF 3MB0-117-xxxx 351-520 DN 40 ISO-KF 3MB0-118-xxxx 351-544 DN 40 CF-R 3MB0-11Q-xxxx 351-532 DN 40 CF-F 11.3.4 Messkammer kpl. für MPG5x4 Ionisationskammer aus Edelstahl, Bestellnummer beschichtet 3MB3-006-xxxx 351-507 DN 25 ISO-KF 3MB3-007-xxxx 351-519 DN 40 ISO-KF 3MB3-008-xxxx... -
Seite 61: Literatur
Literatur www.inficon.com Kommunikationsanleitung RS232C / RS485C MAG500, MAG504, MPG500, MPG504 tira83e1 (nur englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Kommunikationsanleitung EtherCAT MAG550, MAG554, MPG550, MPG554 tirb38e1 (nur englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein ETL-Zertifikat RECOGNIZED ETL LISTED COMPONENT... -
Seite 62: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für die nachfolgenden Produkte die Konformität zu folgenden Richtlinien: • 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014 (EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit) • 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011 (RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung be- stimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten) Cold Cathode &... - Seite 63 Notizen tina83d1-d (2018-12)
- Seite 64 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina83d1-d (2018-12) www.inficon.com t i na83d1- d...