INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 108

10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
Warnung Fehleranzeige
(Wrn) LDS3000
Fehler
(Err)
Wrn390 500 G außerhalb des
Bereichs
4xx TMP-Fehler (auch Temperatur)
Err400 Fehlernummer der TMP
Wrn401 Warnnummer der TMP
Err402 Keine Kommunikation mit
TMP
Err403 TMP Drehzahl zu niedrig
Err404 TMP Stromaufnahme zu
hoch
Err405 Kein Hochlauf der TMP
Err410 TMP Temperatur zu hoch
Wrn411 Hohe TMP Temperatur
Err420 TMP Spannung zu hoch
Wrn421 TMP Spannung zu niedrig
Err422 TMP kein Hochlauf
Err423 TMP Druckanstieg
5xx Druck- und Fluss-Fehler
108 / 144
Fehlernummer
LDS1000 Binär-
Protokoll bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibilit
ätsmodus
LDS1000/
LDS2010
31 123
49 15
49 15
53 142
49 2
60 61
49 2
49 2
49 2
49 2
49 2
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Grenzwerte Ursache
450 GΩ Vorverstärker defekt, Fehler am
Supressor, IF-Board oder MSB
550 GΩ
defekt
Kabel zur TMP, TMP defekt, IF-
Board oder MSB defekt
< 95% des Druck zu hoch, TMP defekt
Sollwerts
3A
5 Min. Druck zu hoch, TMP fehlerhaft
61°C Kühlung ausgefallen,
Einsatzbedingungen MSB-Modul
überprüfen
60°C Kühlung ausgefallen,
Einsatzbedingungen MSB-Modul
überprüfen
Netzteil defekt, TMP defekt
Leitungsquerschnitt 24-V-
Versorung für MSB-Module zu
gering, Ausgangsstrom 24-V-
Netzteil zu gering (I <10 A),
Netzteil defekt, TMP defekt
8 Min. Vordruck TMP zu hoch, Enddruck
VV-Pumpe zu hoch, Undichtigkeit
Hochvakuum-System, Flutventil
nicht geschlossen, Lagerschaden
TMP, TMP fehlerhaft
Lufteinbruch, Flutventil defekt oder
falsch dimensioniert
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