INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 133

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LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Alten Betriebsmittelspeicher entnehmen
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe
Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe können mit giftigen
Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein.
► Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen.
► Kontaminierte Teile vor Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren.
► Alte Betriebsmittelspeicher nach geltenden Vorschriften entsorgen.
HINWEIS
Beschädigung der Turbomolekularpumpe durch Lösen von Schrauben
Um den Betriebsmittelspeicher zu entnehmen, schrauben Sie nur den
Verschlussdeckel heraus. Lösen Sie keine Schrauben unterhalb des
Verschlussdeckels! Andernfalls wird die Pumpe irreparabel beschädigt.
ü Stirnlochschlüssel, P/N: 551-200
ü Zwei Schraubendreher
ü Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet.
1
Verschlussdeckel (1) mit Stirnlochschlüssel herausschrauben.
2
Betriebsmittelspeicher (2) mit zwei Schraubendrehern herausheben. Lösen Sie
keine Schrauben!
1
2
1 Verschlussdeckel 2 Betriebsmittelspeicher
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