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6.6
Kalibrieren im Vakuumbetrieb
Interne Kalibrierung
6-9
Betrieb
Das Modul1000 kann auf verschiedene Weise kalibriert werden. Bei jeder Kalibrie-
rung wird das Massenspektrometer auf maximale Empfindlichkeit abgeglichen
(Autotune).
Man unterscheidet zwischen interner und externer Kalibrierung, je nach verwende-
tem Tesrleck.
Die Kalibrierung kann, üabhängig vom Steuerungsort, auf folgende Arten gestartet
werden:
Intern manuell
Intern automatisch
extern manuell
extern automatisch
Bei der internen Kalibrierung wird das im Modul1000 eingebaute interne Testleck
verwendet.
Für eine externe Kalibrierung ist ein separates Testleck erforderlich. Externe Kalib-
rierungen haben den Vorteil, dass sie unter den Randbedingungen (Druck, Mess-
zeit) durchgeführt werden können, die den späteren Messungen ähnlich oder gleich
sind.
Ist eine Gerätebedienung an das Modul1000 angeschlossen, leuchten während der
Kalibrierung die LEDs in den Tasten START, STOP / VENT und ZERO.
Hinweis Vor einer Kalibrierung sollte das Dichtheitsprüfgerät mindestens 20
Minuten warm gelaufen sein.
Bei Verwendung einer Teilstrompumpe im Messbetrieb muss vor der 1. Kalibrierung
der richtige Maschinenfaktor eingestellt werden.
Die interne Kalibrierung erfolgt auch bei der Einstellung „Teilstrom im Messbetrieb"
nicht im Teilstrombetrieb. Die Korrektur erfolgt über den eingestellten Maschinenfak-
tor.
Automatische interne Kalibrierung
Nach dem Start der Kalibrierung erfolgt der gesamte Kalibrierablauf automatisch.
Dabei wird die im Menü einstellbare Signaleinschwingzeit des Testlecks (CAL-
Einschwingzeit) verwendet, die vorher auf das Volumen am Einlass abgestimmt
werden muss. Die CAL-Einschwingzeit vergrößert sich entsprechend dem am
Einlass angeschlossenen Volumen.
Manuelle interne Kalibrierung
Nach Starten der Kalibrierung öffnet das Modul1000 das interne Testleck und pumpt
den Einlass ab. Abhängig vom angeschlossenen Volumen verlängert sich die
Signaleinschwingzeit des Testlecks.
Daher muss der Bediener bestätigen, dass das Testlecksignal ein stabiles einge-
schwungenes Niveau erreicht hat.
eingestellter Steuerungsort
LOKAL, RS232 ASCII
LOKAL, RS232 ASCII, RS232 BINARY, SPS
LOKAL, RS232 ASCII, RS232 BINARY, SPS
LOKAL, RS232 ASCII
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