INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 134

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Porex-Stäbe tauschen
HINWEIS
Sachschäden durch Reinigungsflüssigkeiten
Reinigungsflüssigkeiten können das Gerät beschädigen.
► Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden.
► Sauberes fusselfreies Tuch verwenden.
ü Pinzette
ü Porex-Stäbe
1 Alte Porex-Stäbe (1) (8 Stück) mit Pinzette herausziehen.
2
Verunreinigungen an Turbomolekularpumpe und Verschlussdeckel mit
sauberem fusselfreien Tuch entfernen.
3 Neue Porex-Stäbe (1) (8 Stück) mit Pinzette einsetzen.
1
1 Porex-Stäbe
Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen
HINWEIS
Sachschäden durch falsch montierten O-Ring
Ein falsch montierter O-Ring kann Undichtigkeiten verursachen. Das Gerät hat
Fehlfunktionen und wird beschädigt.
► O-Ring des Verschlussdeckels sorgfältig einlegen.
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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