INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 52

7 | Betrieb LDS3000
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LD-Protokoll
ASCII-Protokoll
► LD- und ASCII-Protokoll: Der Verlauf muss abgefragt werden über: Befehl 260 bzw.
*STATus:CAL
1 Externes Prüfleck öffnen bzw. Schnüffelleitung an Prüfleck halten.
2
Messung starten.
3 Warten, bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil ist.
4
Kalibrierung starten:
Bedieneinheit: Funktionen > CAL > extern
LD-Protokoll: 4, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:EXT
IO1000: siehe folgende Abbildung.
ð Aufforderung „Prüfleck schließen"
5
Vakuumbetrieb: Prüfleck in Prüfanlage schließen.
Schnüffelbetrieb: Schnüffelleitung von Prüfleck entfernen.
ð Leckratensignal fällt ab.
6 Stabilen Untergrundmesswert bestätigen:
Bedieneinheit: „OK"
LD-Protokoll: 11, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED
IO1000 siehe folgende Abbildung.
ð
Die Kalibrierung ist beendet, wenn:
Bedieneinheit: Alter und neuer Kalibrierfaktor werden angezeigt
LD-Protokoll: LD Befehl 260 liefert 0 (READY)
ASCII-Protokoll: Befehl *STATus:CAL? liefert IDLE
IO1000 siehe folgende Abbildung.
oder
Funktionen > CAL > Einstellungen > Prüfleck ext. (für aktuelle
Masse in gewählter Einheit)
Befehl 392
Befehl *CONFig:CALleak:EXTSniff (für aktuelle Masse in
gewählter Einheit)
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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