Verwandte Anleitungen für INFICON CDG025D
Inhaltszusammenfassung für INFICON CDG025D
- Seite 1 Capacitance Diaphragm Gauge CDG025D CDG025D-S Gebrauchsanleitung inkl. Konformitätserklärung tina49d1-c (2009-06)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. Model: tina49d1-c (2009-06) -
Seite 3: Gültigkeit
Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihen CDG025D und CDG025D-S. Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte an- geführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und un- terscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter (z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung). Flansch 0 ⇒ 1/2" Rohr 1 ⇒... -
Seite 4: Bestimmungsgemässer Gebrauch
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen der Messröhre CDG025D-S mit Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäss auch für die anderen Messröhren. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal- ten. Alle Massangaben in mm. Bestimmungsgemässer Gebrauch Die Capacitance Diaphragm Gauges der Serie CDG025D sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Messung... -
Seite 5: Lieferumfang
Lieferumfang 1× Messröhre 1× Taststift 1× Kalibrierzertifikat 1× Gebrauchsanleitung 1× Operating Manual tina49d1-c (2009-06) -
Seite 6: Inhaltsverzeichnis
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.2 Elektrischer Anschluss Betrieb 4.1 Anzeigen 4.2 Messröhre abgleichen 4.3 Schaltfunktionen (nur CDG025D-S) 4.4 Werkseinstellung laden (Factory Reset) Ausbau Instandhaltung, Instandsetzung Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Literatur Kontaminationserkärung ETL-Zertifizierung EG-Konformitätserklärung... -
Seite 7: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 8: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmassnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 9: Technische Daten
Technische Daten Messbereich → "Gültigkeit" Genauigkeit ≥1 Torr/mbar (F.S.) 0.20% vom Messwert 0.25 Torr/mbar (F.S.) 0.25% vom Messwert 0.1 Torr/mbar (F.S.) 0.50% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt ≥10 Torr/mbar (F.S.) 0.0050% F.S./ °C 1 / 2 Torr/mbar (F.S.) 0.015% F.S./ °C 0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.) 0.020% F.S./ °C Temperatureinfluss auf Bereich... - Seite 10 Schutzkleinspannung (SELV) und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Mess- röhre ist abzusichern Versorgungsspannung an der Messröhre +14 … +30 VDC Klasse 2 / LPS Ripple ≤1 V INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina49d1-c (2009-06)
- Seite 11 Stromaufnahme <500 mA (max. Einschaltstrom) Leistungsaufnahme (speisespannungsabhängig) ≤1 W Sicherung (vorzuschalten) 1 AT (träge), automatisch rückstellend (Polyfuse) Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung ge- schützt. Anschluss elektrisch 15-polig D-Sub, Stifte Messkabel ohne Schaltfunktion 5-polig plus Abschirmung mit Schaltfunktionen 9-polig plus Abschirmung Leitungslänge ≤100 m (0.14 mm²...
- Seite 12 Zulässige Temperatur Lagerung –40 °C … +65 °C Betrieb +5 °C … +50 °C Ausheizen (ausser Betrieb) ≤110 °C am Flansch Relative Feuchte ≤80% bei Temperaturen ≤+31 °C abnehmend auf 50% bei +40 °C Verwendung nur in Innenräumen, Höhe bis zu 2000 m NN Schutzart IP 30 Abmessungen [mm]...
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Seite 13: Beziehung Messsignal Analog - Druck
Beziehung Messsignal analog – Druck Druck p 1.1×F.S. 1.0×F.S. 0.9×F.S. 0.8×F.S. 0.7×F.S. 0.6×F.S. 0.5×F.S. 0.4×F.S. 0.3×F.S. 0.2×F.S. 0.1×F.S. 0.0×F.S. Messsignal U p = (U / 10 V) × c (F.S.) Umrechnung Torr ↔ Pascal Torr mbar 1013.25 / 760 = 101325 / 760 = 1.00 1.3332…... -
Seite 14: Einbau
Einbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. - Seite 15 GEFAHR GEFAHR: Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung. •...
- Seite 16 Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuell eine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden. Falls ein Abgleich der Messröhre im eingebauten Zu- stand möglich sein soll, ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten (→...
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Seite 17: Elektrischer Anschluss
Erde verbinden. Das andere Schirm- ende offen lassen. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz) INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina49d1-c (2009-06) - Seite 18 Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäss folgendem Schema herstellen. Messröhre mit Schaltfunktionen Ident case Elektrischer Anschluss Pin 1, 4 Relais SP1, Schliesser Pin 2 Signalausgang (Messsignal) oder Schwellwert SP1/2 Pin 5 Speisungserde Pin 7, 11 Speisung Pin 8, 9 Relais SP2, Schliesser Pin 10 Messröhrenidentifikation...
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Seite 19: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Bei Verwendung mit einem INFICON-Messgerät den Messbereich eingeben [1, 2, 3]). → Beachten Sie eine Aufwärmzeit der Messröhre von mindestens ¼ Stunde, bei Präzisionsmessungen mindestens 2 Stunden. Anzeigen ZERO Zustand Bedeutung <RUN> leuchtet... -
Seite 20: Messröhre Abgleichen
Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abge- glichen (→ "Calibration Test Report"). Wir empfehlen den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnah- me einzustellen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunkt- verschiebung führen und periodisch ebenfalls eine Nullpunktein- stellung erfordern. - Seite 21 <ZERO> Adjust 4.2.1 Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre- chend der nachfolgenden Tabelle: Empfohlener Enddruck F.S. bei Nullpunkteinstellung <6.65 × 10 <5 × 10 1100 mbar − mbar <5 × 10 <6.65 × 10 <5 × 10 Torr mbar 1000 Torr/mbar...
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Seite 22: Adjust Mit Rampenfunktion
Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken. Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die LED <RUN> blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≤8 s) abge- schlossen ist. Taster kurz drücken max. ø1.1 mm Nach dem Nullpunkt-Abgleich kehrt die Messröhre auto- matisch in den Messmodus zurück. - Seite 23 Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie eingestellt werden, um • einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder • einen leicht positiven Nullpunkt für einen 0 … 10 V AD-Wand- ler zu erzeugen. Der Offset sollte nicht grösser als 2% vom F.S. (+200 mV) sein. Bei grösserem positiven Offset wird die obere Messbereichs- grenze überschritten.
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Seite 24: Schaltfunktionen (Nur Cdg025D-S)
über die RS232C-Schnittstelle erfolgen (→ [4]). Die LED <RUN> blinkt, wenn die Messröhre ein negatives Ausgangssignal zeigt. Schaltfunktionen (nur CDG025D-S) Die beiden Schaltfunktionen können auf einen beliebigen Druck im ganzen Messbereich der Messröhre eingestellt werden (→ 13). Die aktuellen Schwellwerte •... -
Seite 25: Einstellen Der Schwellwerte
Messsignal (Druck p) Hysterese Schaltpunkt (1% F.S.) Schwellwert Zeit t 4.3.1 Einstellen der Schwellwerte Die Schwellwerte können eingestellt werden über • die Taster an der Messröhre, • die RS232C-Schnittstelle (→ [4]). GEFAHR GEFAHR: Fehlfunktion Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert werden, ist zu beachten, dass das Drücken des Tasters <SP>... - Seite 26 Schwellwert <1> einstellen Taster <SP> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken. Die Messröhre wechselt in den Schaltfunktionsmodus und gibt am Messsignalausgang während 10 s den aktuellen unte- ren Schwellwert aus (LED <1> blinkt). Taster drücken max. ø1.1 mm Zum Verändern des Schwellwertes Taster <ZERO> drücken und halten.
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Seite 27: Werkseinstellung Laden (Factory Reset)
Taster <ZERO> erneut drücken: Feineinstellung Zero-Adjust Wert ändert um eine innerhalb 0...3 s: Einheit Richtungswechsel Zero-Adjust Einstellung ändert ihre innerhalb 3...5 s: Richtung (Blinkfrequenz der LED <RUN> ändert kurz) Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück. -
Seite 28: Ausbau
Ausbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. - Seite 29 Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit blossen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. Vakuumsystem belüften. Messröhre ausser Betrieb setzen. Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen. Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz- deckel aufsetzen.
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Seite 30: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleis- tung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 21). INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z.B. -
Seite 31: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um-... -
Seite 32: Literatur
Literatur www.inficon.com Gebrauchsanleitung Vacuum Gauge Controller VGC032 tinb02d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Einkanal-Messgerät VGC401 tinb01d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC402, VGC403 tinb07d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com... -
Seite 33: Kontaminationserkärung
Kontaminationserkärung Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden. Art des Produkts Grund für die Einsendung Ty penbezeichnung... -
Seite 34: Etl-Zertifizierung
ETL-Zertifizierung ETL LISTED The products CDG025D & CDG025D-S comply with the requirements of the following Standards: UL 61010-1, Issued: 2004/07/12 Ed: 2 Rev: 2005/07/22 CAN/CSA C22.2#61010-1, 3103457 Issued: 2004/07/12 tina49d1-c (2009-06) -
Seite 35: Eg-Konformitätserklärung
EG-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur Niederspannungsrichtlinie 2006/95/EG und zur EMV-Richtlinie 2004/108/EG. Capacitance Diaphragm Gauge CDG025D CDG025D-S Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit) • EN 61000-6-3:2001 + A11:2004 (EMV Störaussendung) - Seite 36 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina49d1-c (2009-06) www.inficon.com t i na49d1- c...