INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 21

INFICON
Zubehör des Kunden
Optionales Zubehör
von INFICON
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Abb. 4: Einlassmodul
1 Elektrischer Anschluss für das Einlassmodul. Das Einlassmodul benötigt für
den Anschluss an eine Messkammer keinen elektrischen Anschluss. Bei
Verwendung eines Zweikammersystems kann das Ventil des Einlassmoduls
durch Anlegen von 24 V geschaltet werden. Weitere Informationen erhalten
Sie bei Bedarf vom INFICON Service.
2 Filter. Eine Reinigung des Filters ist nicht vorgesehen. Als Ersatzfilter von
INFICON unter der Bestellnummer 200009701 zu beziehen (10 Stück).
Verschmutzte Filter ersetzen Sie mit Hilfe eines Steckschlüssels, 8 mm.
Schrauben Sie nur den Filter heraus. Lösen Sie keine weiteren Schrauben.
Kalibrieren Sie nach dem Wechseln des Filters.
Das Einlassmodul wird mit der Filterseite an die Messkammer angeschlossen.
Um den Messaufbau zu vervollständigen, können fehlende Teile durch den Kunden
bereitgestellt werden.
Falls Sie eine eigene Vorvakuumpumpe einsetzen wollen, stellen Sie sicher, dass es
sich um eine trockene Vorvakuumpumpe mit einem Gasfluss von mehr als 60 sccm
bei einem Basisdruck von unter 5 mbar handelt. Sie sollte über eine eigene
Stromversorgung verfügen.
Falls Sie eine eigene Bedieneinheit einsetzen wollen, beachten Sie, dass der
Assistent zur Vornahme der Messeinstellungen, zum Kalibrieren und zum Einstellen
der ZERO-Funktion sich nur auf der INFICON Bedieneinheit CU1000 befindet.
Siehe auch "Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen [} 38]".
Mit Ausnahme der Messkammer werden die benötigten Teile auch von INFICON
angeboten.
• Bedieneinheit CU1000 (inkl. Assistent zur Vornahme wichtiger Einstellungen)
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