Verwandte Anleitungen für INFICON PSG550
Inhaltszusammenfassung für INFICON PSG550
- Seite 1 Pirani Standard Gauge PSG550 PSG552 PSG554 Gebrauchsanleitung inkl. EU-Konformitätserklärung tina60d1-b (2017-10)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. tina60d1-b (2017-10) -
Seite 3: Gültigkeit
Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe PSG55x. Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte an- geführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und un- terscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter (z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung). tina60d1-b (2017-10) - Seite 4 Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild. Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF und Anzeige. Sie gelten sinn- gemäß auch für die anderen Messröhren. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal- ten. tina60d1-b (2017-10)
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Seite 5: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Sie dürfen nicht für die Messung von leicht entzündbaren oder brennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidationsmittel (z. B. Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen verwendet werden. Sie können mit einem INFICON Messgerät für Kompakt-Mess- röhren oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden. Marke ®... -
Seite 6: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Marke Patente Lieferumfang Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten 2.1 Beziehung Messsignal – Druck 2.2 Gasartabhängigkeit Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig 3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig 3.2.3 Stecker D-Sub HD, 15-polig 3.2.4 Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF... - Seite 7 Instandhaltung, Instandsetzung 6.1 Messröhre abgleichen 6.2 Sensor austauschen 6.3 Fehlerbehebung Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Zubehör Ersatzteile Weitere Informationen ETL-Zertifizierung EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ XY) verwen- det, für Verweise auf weitere, unter "Weitere Informationen" auf- gelistete, Dokumente das Symbol (→...
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Seite 8: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis <…> Beschriftung Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 9: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 10: Technische Daten
Technische Daten Weitere technische Daten für Messröhren mit serieller Schnittstelle → [4], [5], [6], [7]. Messprinzip Wärmeleitung nach Pirani Messbereich 5×10 … 1000 mbar Genauigkeit (N 5×10 … 1×10 mbar ±50% des Messwertes 1×10 … 100 mbar ±15% des Messwertes 100 …... - Seite 11 Ausgangsimpedanz 2 × 4.7 Ω, kurzschlussfest Lastimpedanz ≥10 kΩ <10 ms Ansprechzeit Messröhrenidentifikation FCC 68 (+0.61 … +10 V) 27 kΩ HV-Messröhrenabgleich bei <10 mbar Halbleiterrelais Schaltpunkte SP1/2 Einstellbereich (N 5.0×10 … 1000 mbar Hysterese 10% des Schwellwertes Schaltverhalten Low Trip Point Kontaktbelastung <30 V (ac) / (dc), ≤0.3 A ohmsch...
- Seite 12 3PIx-0xx-x2xx D-Sub 15-polig HD, Stifte 3PIx-0xx-x4xx D-Sub 15-polig HD, RS485 INF, Stifte Messkabel abgeschirmt, 0.14 mm /Ader Kabellänge ≤100 m RS232C-Betrieb ≤30 m Erdkonzept → "Elektrischer Anschluss" Vakuumanschluss und Signalerde verbunden über 10 kΩ INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina60d1-b (2017-10)
- Seite 13 RS232C / RS485C-Schnittstelle Übertragungsrate 57600 Baud (ab Werk) Datenformat binär 8 Daten-Bits ein Stop-Bit kein Parity-Bit kein Handshake → "Elektrischer Anschluss" Weitere Informationen zu der RS232C / RS485C-Schnittstelle → [4]. DeviceNet-Schnittstelle Spezifikation, Datenformat, Kommunikationsprotokoll → [8] Schnittstelle physikalisch CAN-Bus Übertragungsrate (mit Schalter 125 kBaud...
- Seite 14 Profibus-Schnittstelle Spezifikation, Datenformat, Kommunikationsprotokoll → [10] Schnittstelle physikalisch RS485 Übertragungsrate ≤12 Mbaud (→ [6]) Geräteadresse lokal (mit hexadezimalen Schaltern <ADDRESS>, <MAD>, <LSD> einstellbar) 00 … 7D (0 … 125 ab Werk über Profibus ("ADDRESS" Schalter auf >7D (>125 00 …...
- Seite 15 Werkstoffe gegen Vakuum Vakuumanschluss Edelstahl 1.4435 Heizfaden 3PI1 / 6-0xx-xxxx 3PI2 / 7-0xx-xxxx 3PI3 / 8-0xx-xxxx Keramik beschichtet Vakuumdurchführung Glas Blende Edelstahl 1.4301 Weitere Werkstoffe Ni, NiFe, Edelstahl 1.4301 Inneres Volumen DN 16 ISO-KF 4.7 cm DN 16 ISO-KF, langes Rohr 14.5 cm DN 16 CF-F 8 cm...
- Seite 16 Zulässige Temperaturen Betrieb +10 °C … +50 °C Vakuumanschluss ≤80 °C langes Rohr ≤250 °C Heizfaden <160 °C Lagerung –20 °C … +65 °C Relative Feuchte Jahresmittel ≤65% (nicht kondensierend) an 60 Tagen ≤85% (nicht kondensierend) Einbaulage beliebig Verwendung nur in Innenräumen, Höhe bis zu 2000 m NN Schutzart IP 40...
- Seite 17 Abmessungen [mm] DN 25 ISO-KF 1/8" NPT 4 VCR 8 VCR 29.2×29.2 mm 7/16-20 UNF 24.4 4-VCR 90° tina60d1-b (2017-10)
- Seite 18 DeviceNet Profibus ADDRESS ADDRESS RATE STATUS NET MOD EtherCAT RS485 x100 ADDRESS RATE 3 2 1 ON tina60d1-b (2017-10)
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Seite 19: Beziehung Messsignal - Druck
Beziehung Messsignal – Druck Messbereich 0.61 … 10 V Druck p 1E+06 1E+05 1E+04 mbar 1E+03 Torr 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 10.0 10.5 0.61 Messsignal U [V] 0.778(U-c) p = 10 U = c +1.286log ⇔ gültig im Bereich 5×10 mbar <p<... - Seite 20 Messbereich 1.2 … 8.5 V Druck p 1E+05 1E+04 mbar 1E+03 Torr 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 Messsignal U [V] (U-c) p = 10 ⇔ U = c + log gültig im Bereich 5×10 mbar <p<...
- Seite 21 Messbereich 0.375 … 5.529 V Messsignal U Druck p [mbar] [Pa] [Torr] 0.375 <5×10 <6.65×10 <5×10 0.376 0.000133322 0.013332237 0.0001 0.377 0.000266645 0.026664474 0.0002 0.379 0.000666612 0.066661184 0.0005 0.384 0.001333224 0.133322368 0.0010 0.392 0.002666447 0.266644736 0.0020 0.417 0.006666118 0.66661184 0.0050 0.455 0.013332237 1.33322368...
- Seite 22 Gültig im Bereich 0.375 … 2.842 V p = a + bU + cU + dU + eU + fU –0.02585 0.04563 –0.04158 0.03767 0.1151 0.008737 wobei p Druck in Torr a, b, c, d, e, f Konstante U Messsignal Gültig im Bereich 2.842 …...
- Seite 23 Messbereich 1.57 … 8.875 V Druck p 1E+05 1E+04 mbar 1E+03 Torr 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 1.57 8.875 Messsignal U [V] (U-c) p = 10 ⇔ U = c + log gültig im Bereich 5×10 mbar <p<...
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Seite 24: Gasartabhängigkeit
Gasartabhängigkeit Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p (mbar) Luft / Air Freon 12 –1 O-Dampf –2 –3 –3 –2 –1 (mbar) Kalibrierfaktoren gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar = C × angezeigter Druck Gasart Kalibrier- Gasart Kalibrier- faktor C faktor C Luft, O , CO, N... -
Seite 25: Einbau
Einbau Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden. - Seite 26 GEFAHR GEFAHR: Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF-, NPT-, UNF- und VCR- Anschlüsse ent- sprechen dieser Forderung.
- Seite 27 Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuell eine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden. Für einen manuellen Abgleich der Messröhre im einge- bauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten.
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Seite 28: Elektrischer Anschluss
Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere Schirmende offen lassen. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz) INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina60d1-b (2017-10) -
Seite 29: Stecker Fcc 68, 8-Polig
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Elektrischer Anschluss Pin 1 Speisung Pin 2 Speisungserde, GND Pin 3 Messsignal oder Schwellwerte SP1, SP2 Pin 4 Messröhrenidentifikation Pin 5 Signalerde Pin 6, 8 Relais SP2, Schließer Gemeinsamer Kontakt (com) Pin 7, 8 Relais SP1, Schließer... -
Seite 30: Stecker D-Sub, 9-Polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Elektrischer Anschluss Pin 1 Relais SP1, Schließer Pin 2 n.c. Pin 3 Speisung Pin 4 Speisungserde, GND Pin 5 Messsignal oder Schwellwerte SP1, SP2 Pin 6 Relais SP1 Gemeinsamer Kontakt (com) D-Sub... -
Seite 31: Stecker D-Sub Hd, 15-Polig
3.2.3 Stecker D-Sub HD, 15-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Elektrischer Anschluss Pin 1, 2 n.c. Pin 3 Speisung Pin 4 Speisungserde, GND Pin 5 Signalausgang (Messsignal) Pin 6 Signalerde Pin 7, 8, 9 n.c. Pin 10 Relais SP1 (NO) Pin 11... -
Seite 32: Stecker D-Sub Hd, 15-Polig, Rs485 Inf
3.2.4 Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Elektrischer Anschluss Pin 1 RS485 B+ Pin 2 RS485 A– Pin 3 Speisung Pin 4 Speisungserde, GND Pin 5 Signalausgang (Messsignal) Pin 6 Signalerde Pin 7, 9 Reserviert... -
Seite 33: Stecker Devicenet
3.2.5 Stecker DeviceNet Falls kein DeviceNet-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. DeviceNet-Kabel anschließen. Micro-Style, 5-polig, (DeviceNet) Buchsen, lötseitig Pin 1 Drain Pin 2 Speisung +15 … +30 V (dc) Pin 3 Speisungserde Pin 4 CAN_H Pin 5 CAN_L DeviceNet Kabel tina60d1-b... -
Seite 34: Stecker Profibus
3.2.6 Stecker Profibus Falls kein Profibus-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. Profibus-Kabel anschließen. D-Sub, 9-polig, Stifte, lötseitig Pin 1, 2 nicht anschließen Pin 6 Pin 3 RxD/TxD-P Pin 7, 9 nicht belegt Pin 4 CNTR-P Pin 8 RxD/TxD-N Pin 5 DGND... -
Seite 35: Stecker Ethercat
3.2.7 Stecker EtherCAT Falls keine EtherCAT-Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. EtherCAT-Kabel anschließen. FCC68, 8-polig, lötseitig Pin 1 Sendedaten + Pin 2 Sendedaten - Pin 3 Empfangsdaten + Empfangsdaten - Pin 6 Pin 4, 5, 7 und 8: nicht belegt FCC68 Kabel Ausgang <OUT>... -
Seite 36: Betrieb
Betrieb Nach dem Anlegen der Speisespannung steht am elektrischen Anschluss das Messsignal zur Verfügung (→ "Elektrischer An- schluss"). Eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten ist zu be- achten. Die Messröhre sollte unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet bleiben. Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern (Messröhre abgleichen →... - Seite 37 Flüssigkristallanzeige (LCD) Bedeutung Keine Versorgungsspannung leuchtet grün Mess- / Parametermodus leuchtet rot Fehler Die Anzeige kann über den Diagnostik-Port um 180 ° gedreht werden. In Betrieb nehmen Nach dem Anlegen der Speisespan- nung erscheint kurz die Software- version. tina60d1-b (2017-10)
- Seite 38 Messmodus tina60d1-b (2017-10)
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Seite 39: Eeprom-Fehler
Parametermodus Schaltfunktionen <S> Nach Drücken des Tasters <SP1> oder <SP2> wird der entsprechende Schwellwert angezeigt. Die jeweilige Relais-Anzeige blinkt. Schwellwert Fehleranzeige (Fehlerbehebung → 58) Pirani-Sensorfehler EEPROM-Fehler Sensor-Fehler tina60d1-b (2017-10) -
Seite 40: Gasartabhängigkeit
. Für andere Gase ist er umzu- rechnen ( "Technische Daten"). → Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben, kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des ange- zeigten Messwerts eingegeben werden (→ des entsprechen- den Messgeräts). Schaltfunktionen SP1, SP2 Die zwei Schaltpunkte sind auf einen beliebigen Druck im gan- zen Messbereich der Messröhre einstellbar. - Seite 41 Messsignal (Druck p) Hysterese Schaltpunkt (10% des Schwellwertes) Schwellwert Zeit t Die Schaltpunkte SP1 und SP2 sind ab Werk an der unteren Messbereichsgrenze eingestellt, sodass sie nicht schalten. High Trip Point Ist der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert, leuchtet das jeweilige LED (<SP1>...
- Seite 42 High & Low Trip Point Dem jeweiligen Schaltpunkt ist gleichzeitig ein High Trip Point und ein Low Trip Point zugeordnet. Ist beim High Trip Point der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das ent- sprechende Relais ist geschlossen.
- Seite 43 4.3.1 Einstellen der Schwellwerte SP1, SP2 Das Schaltverhalten und die Hysterese des jeweiligen Schaltpunktes können nur programmiert werden über • den Diagnostik-Port (→ [4]) • die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT und RS485- Schnittstelle (→ [4], [5], [6], [7]). Der Schwellwert des jeweiligen Schaltpunktes kann eingestellt werden über •...
- Seite 44 Danach ändert sich die Schwellwerteinstellung Richtung obere Einstellgrenze, bis der Taster losgelassen wird oder die Einstellgrenze erreicht ist. Taster gedrückt halten Taster <SP1> erneut drücken: Feineinstellung innerhalb 0...1 s: Schwellwert ändert um eine Einheit Richtungswechsel Schwellwerteinstellung ändert ihre innerhalb 2...3 s: Richtung ...
- Seite 45 Schwellwert SP1 programmieren Programmierbare Parameter: Low Trip Point Low Trip Enable (→ [4], [5], [6], [7]) Low Trip Point Hysteresis High Trip Point High Trip Enable High Trip Point Hysteresis Setpoint Mode Schwellwert SP2 einstellen Der Einstellvorgang für SP2 entspricht demjenigen von SP1. tina60d1-b (2017-10)
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Seite 46: Diagnostik-Port (Rs232C-Schnittstelle)
Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) Über den Diagnostik-Port <DIA> können parallel der Messwert und alle Statusinformationen ausgelesen sowie alle Einstellfunk- tionen vorgenommen werden (→ [4]). → "Zubehör" tina60d1-b (2017-10) -
Seite 47: Devicenet-Betrieb
DeviceNet-Betrieb Vorsicht Vorsicht: Datenübertragungsfehler Der Versuch, die DeviceNet-Messröhre mit der RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehler- haften Daten und Störungen der Datenüber- tragung. Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232C- Schnittstelle ist nicht zulässig. Die Messröhre muss vor der Inbetriebnahme im DeviceNet konfiguriert werden. - Seite 48 Übertragungsrate einstellen Die Übertragungsrate lässt sich mit dem Schalter <RATE> auf 125 (<1>), 250 (<2>) oder 500 kBaud (<5>) einstellen (ab Werk 500 kBaud). In der Position <P> ist die Übertragungsrate über DeviceNet programmierbar (→ [5]). RATE Beispiel: Übertragungsrate = 250 kBaud: Messwerte übertragen Gemäß...
- Seite 49 "STATUS MOD"(Messröhren-Status): Bedeutung Keine Versorgungsspannung blinkt grün-rot Selbsttest leuchtet grün Betrieb leuchtet rot Nicht korrigierbarer Fehler blinkt rot Korrigierbarer Fehler (z. B. fehlende DeviceNet-Speisung) <STATUS NET> (Netzwerk-Status): Bedeutung Messröhre ist nicht online: • Selbsttest ist noch nicht abgeschlossen • Keine Speisung, → "Status MOD" blinkt grün Messröhre ist online, hat aber keine Ver- bindung:...
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Seite 50: Profibus-Betrieb
Profibus-Betrieb Vorsicht Vorsicht: Datenübertragungsfehler Der Versuch, die Profibus-Messröhre mit der RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehler- haften Daten und Störungen der Datenüber- tragung. Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232C- Schnittstelle ist nicht zulässig. Der Betrieb der Messröhre am Profibus erfordert bei der über- geordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (GSD-Datei). - Seite 51 Geräteadresse >7D (>125 Die Messröhre startet mit der Adresse 126 . Sie kann über Profibus geändert werden ("Set slave address", → [6]). Zusätzlich kann mit dem Attribut "NO_ADD_CHG" festgelegt werden, ob über Profibus weitere Adressänderungen zulässig sind. Die Adresse und das Attribut werden nichtflüchtig gespeichert. Will man diese ändern, muss die Messröhre zuerst mit einer Adresseinstellung <126 gestartet werden.
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Seite 52: Ethercat-Betrieb
EtherCAT-Betrieb Vorsicht Vorsicht: Datenübertragungsfehler Der Versuch, die EtherCAT-Messröhre mit der RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehler- haften Daten und Störungen der Datenüber- tragung. Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232C- Schnittstelle ist nicht zulässig. Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der über- geordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). -
Seite 53: Ausbau
Status-LED LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung des Röhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status (→ [7]). Ausbau GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein- halten. - Seite 54 Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sau- beres Werkzeug benutzen. Vakuumsystem belüften. Messröhre außer Betrieb setzen. Arretierungsschraube(n) lösen und Messkabel ausziehen. ...
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Seite 55: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleiß- teile (z. B. Heizfaden), fallen nicht unter die Gewähr- leistung. INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen... - Seite 56 Für den ATM-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken: Der Pirani-Sensor gleicht auf 1000 mbar (standard) ab. Vakuumsystem auf p <<10 mbar evakuieren, anschlie- ßend mind. 2 Minuten warten. Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift drü- cken: Die Messröhre gleicht auf 5×10 mbar (standard) ab.
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Seite 57: Sensor Austauschen
Sensor austauschen Der Sensor kann bei starker Verschmutzung oder Defekt ersetzt werden. Voraussetzung Messröhre ausgebaut (→ 53). Innensechskantschrauben herausschrauben und Sensor ohne Drehbewegung entfernen. 2 mm Ersatzsensor ohne Drehbewegung aufsetzen und fest- schrauben. tina60d1-b (2017-10) -
Seite 58: Fehlerbehebung
Fehlerbehebung Ist ein Fehler aufgetreten, empfehlen wir, die Versor- gungsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder einzuschalten. Störung Mögliche Ursache Behebung Messsignal Messkabel defekt oder nicht Messkabel prüfen dauernd ≈0 V korrekt angeschlossen <ST> leuchtet rot Speisung fehlt Speisung einschalten Fehler Fehler beheben Messröhre in undefiniertem... - Seite 59 Der Sensor muss für den Test von der Elektronikeinheit getrennt werden (→ 57). Mittels Ohmmeter kann nun folgende Messung an den Kontakt- stiften des Sensors durchgeführt werden. Ω Mögliche Ursache Sensor PSG550 (W) 40 ± 1 [Ω] Verschmutzung > >40 Ω PSG554 (W) Verschmutzung < <40 Ω...
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Seite 60: Produkt Zurücksenden
Schadstoffen sein. Versandvorschriften der be- teiligten Länder und Transportunternehmen beach- ten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beile- gen. Formular unter www.inficon.com Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produk- te werden kostenpflichtig zurückgesandt. tina60d1-b... -
Seite 61: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um-... -
Seite 62: Zubehör
Zubehör Bestellnummer Zentrierring mit Feinfilter DN 16 ISO-KF 211-097 Kommunikationsadapter (2 m) 303-333 Die Diagnose-Software (Windows NT, XP) kann von unserer Website herunter geladen werden. tina60d1-b (2017-10) -
Seite 63: Ersatzteile
Ersatzteile Bestellen Sie Ersatzteile immer mit: • allen Angaben gemäß Typenschild • Beschreibung und Artikelnummer Sensor für Messröhre mit Wolfram-Heizfaden Bestell- nummer 3PI1-0x1-xxxx 355-925 DN 16 ISO-KF 3PI6-0x1-xxxx 3PI1-0x2-xxxx 355-926 DN 16 ISO-KF, langes Rohr 3PI6-0x2-xxxx 3PI1-0x4-xxxx 355-927 DN 16 CF-F 3PI6-0x4-xxxx 3PI1-0x5-xxxx 355-928... - Seite 64 Sensor für Messröhre mit Nickel-Heizfaden Bestell- nummer 3PI2-0x1-xxxx 355-936 DN 16 ISO-KF 3PI7-0x1-xxxx 3PI2-0x2-xxxx 355-937 DN 16 ISO-KF, langes Rohr 3PI7-0x2-xxxx 3PI2-0x4-xxxx 355-938 DN 16 CF-F 3PI7-0x4-xxxx 3PI2-0x5-xxxx 355-939 DN 16 CF-R, langes Rohr 3PI7-0x5-xxxx 3PI2-0x6-xxxx 355-940 DN 25 ISO-KF 3PI7-0x6-xxxx 3PI2-0xD-xxxx 355-943...
- Seite 65 Sensor für Messröhre mit Al beschichtetem Bestell- Heizfaden nummer 3PI3-0x1-xxxx 355-947 DN 16 ISO-KF 3PI8-0x1-xxxx 3PI3-0x2-xxxx 355-948 DN 16 ISO-KF, langes Rohr 3PI8-0x2-xxxx 3PI3-0x4-xxxx 355-949 DN 16 CF-F 3PI8-0x4-xxxx 3PI3-0x5-xxxx 355-950 DN 16 CF-R, langes Rohr 3PI8-0x5-xxxx 3PI3-0x6-xxxx 355-951 DN 25 ISO-KF 3PI8-0x6-xxxx 3PI3-0xD-xxxx 355-954...
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Seite 66: Weitere Informationen
Weitere Informationen www.inficon.com Gebrauchsanleitung Einkanal-Messgerät VGC401 tinb01d1 deutsch tinb01e1 englisch INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC402, VGC403 tinb07d1 deutsch tinb07e1 englisch INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Ein-, Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC501, VGC502,... -
Seite 67: Etl-Zertifizierung
2080: Specific Device Profile (SDP): Vacuum Pressure Gauge ETL-Zertifizierung ETL LISTED RECOGNIZED COMPONENT The products PSG550, PSG552 and PSG554 • conform to the UL Standard UL 61010-1 • are certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1-12 3103457 tina60d1-b (2017-10) -
Seite 68: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für die nachfolgenden Produkte die Konformität zu folgenden Richtlinien: • 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014 (EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit) • 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011 (RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung be- stimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten) - Seite 69 Notizen tina60d1-b (2017-10)
- Seite 70 Notizen tina60d1-b (2017-10)
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