INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 37

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LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und
Transportmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des
Massenspektrometer-Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden –
nicht die Transportmuttern.
Der Untergrund muss stabil sein.
WARNUNG
Schwere Verletzungen durch Ausbruch des Massenspektrometer-Moduls
Wenn das Massenspektrometer-Modul nicht ausreichend gesichert ist, kann ein
plötzlich blockierender Rotor der Turbomolekularpumpe bewirken, dass das
Massenspektrometer-Modul ausbricht. Schwerste Verletzungen können die Folge
sein.
► Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein
Bremsmoment von 820 Nm aufnehmen kann.
1
Durchgangsbohrungen bohren:
– X-Abstand: 283 mm
– Y-Abstand: 121,5 mm
– Durchgangsbohrung in Blech: Ø 9 mm
– Befestigungsschrauben: M8 x 50
2
Transportmuttern demontieren.
3 Massenspektrometer-Modul auf Durchgangsbohrungen setzen und mit
Befestigungselementen wie in obiger Abbildung gezeigt festschrauben
Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6
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