INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 20

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Abb. 3: Massenspektrometer-Modul (Ausführung Akkumulation)
1 Drucksensor PSG500 zur Messung des Einlassdrucks
2 GROSS-Drosselflansch mit Verbindungsschlauch zur Vorvakuumpumpe
3 Wellschlauch zur Messkammer
4 ULTRA-Anschlüsse blindgeflanscht
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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