Verwandte Anleitungen für INFICON MPG400
Inhaltszusammenfassung für INFICON MPG400
- Seite 1 Gebrauchsanleitung Inverted Magnetron Pirani Gauge MPG400 MPG401 tina48d1-c (2017-10)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein: Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikelnummer: MPG400 (FPM-gedichtet) MPG401 (ganzmetall) 351-010 351-020 (DN 25 ISO-KF) (DN 25 ISO-KF) 351-011... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten 4 Betrieb 4.1 Messprinzip, Messverhalten 5 Ausbau 6 Instandhaltung 6.1 Messröhre abgleichen 6.2 MPG400 reinigen, Ersatzteile einbauen 6.2.1 MPG400 zerlegen 6.2.2 MPG400 reinigen 6.2.3 MPG400 zusammenbauen 6.3 MPG401 reinigen, Ersatzteile einbauen 6.3.1 MPG401 zerlegen 6.3.2 MPG401 reinigen 6.3.3 MPG401 zusammenbauen... -
Seite 4: Sicherheit
Starke Magnetfelder können elektronische Geräte, z. B. Herzschritt- macher, stören oder ihre Funktion beeinträchtigen. Zwischen Herzschrittmacher und Magnet einen Sicherheitsabstand von ≥10 cm einhalten oder den Einfluss starker Magnetfelder durch Magnetfeldabschirmungen vermeiden. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 5: Verantwortung Und Gewährleistung
1.4 Verantwortung und INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen, usw.) vornehmen • das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produkt- dokumentationen nicht aufgeführt ist. -
Seite 6: Technische Daten
Leistungsaufnahme ≤2 W Sicherung ≤1 AT Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur Leitungslänge erhöht werden. Spannung am Speisegerät bei maxi- 16 … 30 V (dc) (Rippel ≤ 1 V maler Leitungslänge INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... - Seite 7 ±50 V bezüglich Genauigkeit ±10 V) Speisungserde-Signalerde getrennt geführt Werkstoffe gegen Vakuum Vakuumanschluss Edelstahl Messkammer Edelstahl Durchführung Keramik Interne Dichtungen MPG400 FPM 75 MPG401 Ag, Cu, Weichlot (Sn, Ag) Anode Zündhilfe Edelstahl Pirani-Messrohr Ni, Au Pirani-Heizfaden Einbaulage beliebig Inneres Volumen ≈20 cm³...
- Seite 8 Abmessungen [mm] MPG400 MPG401 ø 63.5 ø 63.5 DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Gewicht ≈700 g ≈730 g 351-010 351-020 ≈720 g ≈750 g 351-011 351-021 ≈980 g ≈1010 g 351-012 351-022 tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga...
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Seite 9: Einbau
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten. Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... - Seite 10 Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen. Bei der Montage an CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Magneteinheit vorübergehend zu entfernen (→ 11). Dichtung mit Zentrierring oder Schutzdeckel Spannelement Dichtung mit Zentrierring und Filter Schutzkappe aufbewahren. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga...
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Seite 11: Magneteinheit Entfernen (Nur Für Cf-Flansche)
Magneteinheit aufsetzen und mit der Sechskantschraube (3) arretieren. f) Elektronikeinheit (2) vorsichtig aufsetzen. (Steckteil des Piranielements muss in die entsprechende Öffnung der Elektronikeinheit greifen.) g) Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem Innensechskant- Gewindestift (1) arretieren. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 12: Elektrischer Anschluss
3.2 Elektrischer Anschluss Voraussetzung Die Messröhre muss ordnungsgemäß angeschlossen sein (→ 9). 3.2.1 Verwendung mit INFICON Messröhre mit dem Messkabel an das Messgerät anschließen. Messgeräten 3.2.2 Verwendung mit anderen Messkabel gemäß Schema herstellen. Auswertegeräten Elektrischer Anschluss Pin 1 Speisung (15 …... -
Seite 13: Betrieb
Der Messwert ist gasartabhängig. Die Anzeige gilt für trockene Luft, O , CO und N Für andere Gase ist sie umzurechnen (→ Anhang B). Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben, kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwertes eingegeben werden (→ des entsprechenden Messgerätes). - Seite 14 Durch gezielte Wahl der Messröhren-Flanschposition an einem Ort, wo der Partialdruck der Verunreinigung minimal ist. Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z.B. des Kaltkathoden-Messsystems) ab- scheiden, ist besondere Vorsicht geboten. Notfalls die Messröhre während der Anwesenheit der Dämpfe abschalten. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga...
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Seite 15: Ausbau
Vakuumsystem belüften. Messröhre außer Betrieb setzen und Messkabel ausziehen. Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzkappe montieren ausziehen. Bei der Demontage des CF-Flansches kann es vorteilhaft sein, die Magneteinheit vorübergehend zu entfernen (→ 11). Schutzdeckel tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 16: Instandhaltung
Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen (→ 15). Messröhre in Betrieb nehmen (möglichst in der gleichen Lage, in der sie später betrieben wird). Evakuieren auf p << 10 mbar, anschließend >10 Minuten warten. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... - Seite 17 Belüften mit Luft oder Stickstoff auf Atmosphärendruck, anschließend >10 Minuten warten. Typenschild im Uhrzeigersinn bis zum Anschlag drehen. Das Potentiometer <ATM> … … auf 8.60 V abgleichen oder … auf 1×10 mbar abgleichen. Typenschild in seine Ausgangsposition zurückdrehen (es rastet ein). tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga...
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Seite 18: Mpg400 Reinigen, Ersatzteile Einbauen
6.2 MPG400 reinigen, GEFAHR Ersatzteile einbauen GEFAHR: Reinigungsmittel Reinigungsmittel können Gesundheits- und Umweltschäden ver- ursachen. Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen bezüglich deren Handhabung und Entsorgung einhalten. Mögliche Reaktionen mit den Produkt- werkstoffen (→ 7) berücksichtigen. -
Seite 19: Mpg400 Reinigen
Piranielement (13)) das Druckstück (9), die komplette Anode (10), die FPM- Dichtung (11) inkl. Innenring (12) und das Pirani-Messelement (13) mit der FPM-Dichtung (13a) entfernen. Die Teile können nun gereinigt oder ersetzt werden. 6.2.2 MPG400 reinigen Reinigen der Messkammer und des Poleinsatzes Mit einem Poliertuch die Innenwandungen der Messkammer sowie den Poleinsatz blank reiben. -
Seite 20: Mpg400 Zusammenbauen
Neue FPM-Dichtung (13a) über das Pirani-Messelement (13) in die dafür vorgesehene Nut schieben. Pirani-Messelement einbauen (→ 20). 6.2.3 MPG400 zusammen- (→ Abbildung 18) bauen FPM-Dichtung (11) mit dem Innenring (12) zentrisch in die Messkammer (7) einlegen. -
Seite 21: Mpg401 Reinigen, Ersatzteile Einbauen
Gabelschlüssel SW 6 • Gabelschlüssel SW 7 • Zange für Sicherungsring • Poliertuch (Korn 400) oder Scotch-Brite • Pinzette • Industriealkohol • Montagewerkzeug für Zündhilfe • Zündhilfe • Metalldichtung (11) für Anodendurchführung • Piranielement (13) inkl. Dichtungssatz (13a, 13b) tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 22: Mpg401 Zerlegen
Piranielement (13)) das Druckstück (9), die Anodenverlängerung (9a), die komplette Anode (10), die Metalldichtung (11) inkl. Zentrierring (12) entfernen. Verschraubung (13a) des Piranielements lösen und dieses inkl. Cu-Dich- tung (13b) entfernen. Die Teile können nun gereinigt oder ersetzt werden. tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 23: Mpg401 Reinigen
15 mm weit einschie- ben. Die endgültige Positionierung erfolgt erst nach dem Einbau der Anode. Austauschen des Pirani- Messelements Verschraubung (13a) und Cu-Dichtung (13b) auf das Röhrchen des Pirani- elements (13) schieben. Pirani-Messelement einbauen (→ 24). tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 24: Mpg401 Zusammenbauen
Magneteinheit (4) aufsetzen und mit der Schraube (3) arretieren. Elektronikeinheit (2) vorsichtig aufsetzen (Steckteil des Piranielements muss in die entsprechende Öffnung der Elektronikeinheit greifen.) Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem Innensechskant- Gewindestift (1) arretieren. Messröhre abgleichen (→ 16). tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 25: Störungsbehebung
Speisung einschalten. "Error low". Messsignal dauernd >9.5 V Pirani-Messelement Pirani-Messelement "Error high". defekt (Fadenbruch). ersetzen (MPG400 → 20) (MPG401 → 23). Elektronikeinheit nicht Elektronikeinheit voll- vollständig aufgesteckt. ständig aufstecken (MPG400 → 20) (MPG401 → 24). Grüne Lampe leuchtet und... -
Seite 26: Zubehör
Beschreibung und Bestellnummer gemäß Zubehörliste Beschreibung Bestellnummer Magnetabschirmung BG443155-X 8 Ersatzteile Bitte bestellen Sie Ersatzteile immer mit: • allen Angaben gemäß Typenschild • Beschreibung und Bestellnummer gemäß Ersatzteilliste MPG400 Pos. Beschreibung Bestellnummer Wartungssatz, bestehend aus: 351-999 1× Innenring 1× O-Ring FPM ø3.69×1.78 1×... - Seite 27 1× Anode komplett 3× Zündhilfe 1× Dichtung HNV 100 (9×1.6) 1× Zentrierring Zündhilfensatz, bestehend aus: 351-995 10× Zündhilfe Montagewerkzeug für Zündhilfe 351-994 Messsystem komplett Flansch DN 25 ISO-KF BN846472-T Flansch DN 40 ISO-KF BN846473-T Flansch DN 40 CF-F BN846474-T tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga...
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Seite 28: Produkt Zurücksenden
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transport- unternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen (Formular unter www.inficon.com). Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kosten- pflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt. -
Seite 29: Anhang
5.0×10 1.0×10 7.5×10 1.0×10 1.0×10 7.5×10 1.0×10 1.0×10 7.5×10 1.0×10 1.0×10 7.5×10 1.0×10 1.0×10 7.5×10 1.0×10 1.0×10 7.5×10 1.0×10 7.5×10 7.5×10 0.75 1000 1.0×10 1000 1.0×10 8.6 … 9.5 Messbereichsüberschreitung (overrange) 9.5 … 10.5 Messsystemfehler (Pirani defekt) tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 30: B: Gasartabhängigkeit
4 6 8 (mbar) Anzeigebereich von Angezeigter Druck (Messröhre für Luft abgeglichen). … 0.1 mbar p (mbar) –1 Anzeigenbereich ... 10 mbar –2 –3 –4 Luft –5 –6 –6 –5 –4 –3 –2 –1 4 6 8 (mbar) tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... -
Seite 31: Etl-Zertifizierung
Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck- Messgeräten möglich, z.B. mit einem Quadrupol-Massenspektro- meter. ETL-Zertifizierung ETL LISTED RECOGNIZED COMPONENT The products MPG400 and MPG401 • conform to the UL Standard UL 61010-1 • are certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1 3103457 tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga... - Seite 32 LI–9496 Balzers Liechtenstein Tel +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina48d1-c (2017-10) www.inficon.com t i na48d1- c...