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INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 107

Massenspektrometer-modul
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INFICON
Warnung
Fehleranzeige
(Wrn)
LDS3000
Fehler
(Err)
Err340
Emissionsfehler
Wrn342
Kathoden nicht
angeschlossen
Wrn350
Suppressor nicht
angeschlossen
Wrn352
Vorverstärker nicht
angeschlossen
Err358
Vorverstärker pendelt
zwischen 2 Bereichen
Wrn359
Vorverstärker übersteuert
Wrn360
Vorverstärker Output zu
niedrig
Wrn361
Vorverstärker Offset zu
hoch
Wrn362
Vorverstärker
Bereichsfehler
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10
Fehlernummer
LDS1000
Binär-
Protokoll
bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibilit
ätsmodus
LDS1000/
LDS2010
44
135
47
138
39
130
31
123
31
123
31
123
31
123
Grenzwerte Ursache
<90% des
Emission war vorher stabil,
Sollwerts
vermutlich hoher Druck, Meldung
nach 15s
>110% des
Sollwerts
Beide Kathoden beim Selbsttest
nach dem Einschalten defekt oder
Stecker nicht gesteckt
Supressorkabel beim Selbsttest
nach dem Einschalten nicht
gesteckt oder defekt
Vorverstärker defekt, Kabel nicht
gesteckt
Signal schwankt zu stark (siehe
Befehl 1120)
Vorverstärker defekt
Signal zu groß, Vorverstärker
defekt
<-70 mV
Ionenquelle schlecht oder
bei
Massenspektrometer verunreinigt
500 GΩ
>+/-50 mV
Vorverstärker defekt
bei
500 GΩ,
>+/-10 mV
bei 15 GΩ,
<+/-10 mV
bei
470 MΩ,
<+/-9 mV
bei 13  MΩ
Vorverstärker oder MSB-Box
defekt
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