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INFICON VGC501 Gebrauchsanleitung
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Inhaltsverzeichnis

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Gebrauchs
anleitung
inkl. EU-Konfor
rmitätserklärung
g
Einka
anal, Z
Zweik
kanal
& Dreikan n al Me e ssge e räte
VGC50
1, VGC5
502, VG
GC503
1
tina96d1
(2015
5-05)

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Inhaltszusammenfassung für INFICON VGC501

  • Seite 1 Gebrauchs anleitung inkl. EU-Konfor rmitätserklärung Einka anal, Z Zweik kanal & Dreikan n al Me e ssge e räte VGC50 1, VGC5 502, VG GC503 tina96d1 (2015 5-05)
  • Seite 2: Produktidentifikation

    Nicht beschrifte ete Abbildunge en entspreche en dem Gerät VGC503 (Dre eikanal-Mess- erät). Sie gelte en sinngemäß ß auch für das s VGC501 (Ein nkanal-Messg erät) und für as VGC502 (Z Zweikanal-Me essgerät). echnische Än nderungen ohn ne vorherige A Anzeige sind v vorbehalten.
  • Seite 3: Bestimmungsgemäßer Gebrauch

    Bestimmungsgemäßer Die Geräte VGC501, VGC502 und VGC503 dienen zusammen mit INFICON- Messröhren zur Messung von Totaldrücken. Die Produkte sind gemäß den Gebrauch entsprechenden Gebrauchsanleitungen zu betreiben. Lieferumfang Der Lieferumfang umfasst folgende Teile: 1× Messgerät 1× Netzkabel (länderspezifisch) 1× Gummileiste 2×...
  • Seite 4: Inhaltsverzeichnis

    3.1.2 Rackeinbau VGC502, VGC503 3.1.3 Schalttafeleinbau 3.1.4 Tischgerät 3.2 Netzanschluss 3.3 Messröhrenanschlüsse CH 1, CH 2, CH 3 3.4 Anschluss CONTROL VGC501 3.5 Anschluss CONTROL VGC502, VGC503 3.6 Anschluss RELAY VGC502, VGC503 3.7 Schnittstellenanschluss USB Typ B 3.8 Schnittstellenanschluss USB Typ A 3.9 Schnittstellenanschluss Ethernet...
  • Seite 5 Anhang Umrechnungstabellen Firmware-Update Ethernet-Konfiguration C 1: VGC50x an ein Netzwerk anschließen C 2: VGC50x an einen Computer anschließen C 3: Ethernet Configuration Tool Literatur EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete, Dokumente das Symbol (→...
  • Seite 6: Sicherheit

    Sicherhei 1.1 V Verwende te Symbo Darstellung v von Restgefa ahren EFAHR Angaben zur V Verhütung von n Personensc häden jegliche er Art. WARNUNG Angaben zur V Verhütung um mfangreicher S Sach- und Umw weltschäden. orsicht Angaben zur H Handhabung o oder Verwend dung.
  • Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke

    1.3 Grun dlegende Alle Arb beiten sind nur r unter Beacht tung der einsc chlägigen Vors schriften und E Ein- haltung der Schutzma aßnahmen zu lässig. Beacht ten Sie zudem m die in diesem Siche erheitsver rmerke Dokume ent angegeben nen Sicherhei tsvermerke.
  • Seite 8: Technische Daten

    2 Technische Daten Netzanschluss Spannung 100 … 240 V (ac) ±10% Frequenz 50 … 60 Hz Leistungsaufnahme VGC501 ≤45 W VGC502 ≤65 W VGC503 ≤90 W Überspannungskategorie Schutzklasse Anschluss Gerätestecker IEC 320 C14 (Europa-Apparatestecker) Temperatur Umgebung Lagerung –20 … +60 °C Betrieb + 5 …...
  • Seite 9: Bedienung

    Lebensdauer mechanisch 1×10 Schaltzyklen elektrisch 1×10 Schaltzyklen (bei maximaler Belastung) Kontaktstellungen →  24 Anschluss VGC501 (CONTROL) Gerätestecker D-Sub, 15-polig (Steckerbelegung →  22) VGC502, VGC503 (RELAY) Gerätedose D-Sub, 25-polig (Steckerbelegung →  23) Fehlersignal (Error) Anzahl Reaktionszeit ≤10 ms...
  • Seite 10: Analogausgänge

    Lebensdauer mechanisch 1×10 Schaltzyklen elektrisch 1×10 Schaltzyklen (bei maximaler Belastung) Kontaktstellungen →  24 Anschluss VGC501 (CONTROL) Gerätestecker D-Sub, 15-polig (Steckerbelegung →  22) VGC502, VGC503 (RELAY) Gerätedose D-Sub, 25-polig (Steckerbelegung →  23) Analogausgänge Anzahl VGC501 VGC502 2 (1 pro Kanal)
  • Seite 11: Ethernet-Schnittstelle

    Ethernet-Schnittstelle Protokoll ACK/NAK, ASCII mit 3 Charakter-Mnemonics Datenformat Datenverkehr bidirektional, 1 Startbit, 8 Daten- bits, 1 Stoppbit, kein Paritätsbit, kein Hand- shake Baudrate 9600, 19200, 38400, 57600, 115200 IP-Adresse DHCP (ab Werk), oder manuelle Eingabe (→  105) MAC-Adresse via Parameter "MAC" auslesbar tina96d1 (2015-05) VGC501_VGC502_VGC503.ga...
  • Seite 12 [mm] VGC501 VGC502, VGC erwendung ür Rackeinbau u, Schalttafele e inbau oder al ls Tischgerät VGC501 0.85 k ewicht VGC502 1.10 k VGC503 1.14 k tina96d1 (2015-05) VGC501_VGC502_VGC503.g ga...
  • Seite 13: Installation

    3 Instal llation achpersona Die Instal lation darf nur r durch Person nen ausgeführ rt werden, wel lche die geeign nete Ausbildun ng besitzen un nd über die nö ötigen Erfahru ngen verfügen o oder durch de en Betreiber en ntsprechend g geschult worde sind.
  • Seite 14: Einbauhöhe

    Einbauhöhe ackeinbau Höhe 2 Hö öhe 3 Höhe 2 Racke einschubadapt ter (→ , 14) Hö öhe 3 Rackeins schubadapter r (→ , 15) Höhe 2 Rac ckeinschuba dapter   Rackein nschubadapte r im Rackschr rank befestige Die maxim mal zulässige U Umgebungstem mperatur (→...
  • Seite 15  VGC501 in de en Rackeinsch ubadapter ein nschieben … … … und mit den im Lieferumfa ng des VGC5 501 enthaltene en Schrauben stigen. Höhe e 3 Rackeins s chubadapte Für den Einbau in ein nen 19"-Racke einschubadapt ter der Höhe 3...
  • Seite 16: Rackeinbau Vgc502, Vgc503

    1 in den Rack keinschubadap pter einschiebe en … Höhe 3 … und m it den im Liefe erumfang des VGC501 enth haltenen Schra auben be- festigen. 3.1.2 Rackeinba au VGC502 Das Gerät ist fü ür den Einbau u in einen 19"-...
  • Seite 17: Schalttafeleinbau

    (→  8) darf rf nicht übersc hritten werden n und die Luftzirku ulation muss g gewährleistet s sein. Zur Entl lastung der Fr rontplatte des VGC501 emp pfehlen wir, da as Gerät abzus stützen. tina96d1 (2015-05) VGC5 501_VGC502_VGC503.ga...
  • Seite 18: Tischgerät

      VGC501 1 in den Auss chnitt einführe en … … und m it vier M3- ode er gleichwertig gen Schraube n befestigen. VGC502, V VGC503 ür den Einbau u in eine Scha alttafel ist folge ender Schaltta afelausschnitt...
  • Seite 19: Netzanschluss

     Die im Lieferu mfang enthalt enen Gummif füße rückseitig g auf den Geh häuse- boden kleben … Gerä ät so aufstelle en, dass die m aximal zuläs ässige Umgebu ungstemperat tur des Gerä ätes (z. B. info olge Sonnenei strah hlung) nicht üb berschritten w...
  • Seite 20: Messröhrenanschlüsse Ch 1, Ch 2, Ch

    Erdungsansc chluss Auf der Geräte rückseite befi ndet sich eine e Schraube, um m das VGC50 0x bei Bedarf ü ber einen Sch hutzleiter z. B. mit der Schut tzerdung des Pumpstandes s verbinden zu kö önnen. Schutzerdung Diese Schra aube nie löse (interne Erd...
  • Seite 21 Stecke erbelegung C CH 1, CH 2, CH 3 45-Gerätebu chse Die 8-po olige RJ45-Ge erätebuchse is st wie folgt belegt: Signal Speisung +24 V (dc) Speisungs erde Signaleing (Mess signal 0 … +1 0 V (dc)) Identifikatio Signalerde Status HV_L HV_H / HV V_EMI...
  • Seite 22: Anschluss Control Vgc501

    V (dc), 200 mA Abgesich hert bei 300 mA mA mit PTC-Ele ement, selbst- Gehä äuse = GND rückstelle end nach Auss schalten des V VGC501 oder Ausziehe en der CONTR ROL-Steckdos se. Entspricht den Anfo rderungen ein ner geerdeten Schutzklein- spannung...
  • Seite 23: Anschluss Control Vgc502, Vgc503

    3.5 Ansc chluss CO ONTROL Dieser A Anschluss ent thält folgende Anschlüsse: VGC5 502, VGC5 • Anal loge Ausgäng ge für die Sign ale der einzel nen Messkan äle. • Schr reiberausgang g. Dies ist ein programmierb barer analoge r Ausgang, de er einem belie ebigen Messka...
  • Seite 24 GEFAH FAHR: Berüh rungsgefährlic che Spannung annungen übe er 30 V (ac) od der 60 V (dc) g gelten nach E N 61010 als rührungsgefäh hrlich. r geerdete Sch hutzkleinspan nung (PELV) anlegen. Steckerbeleg gungt, Kontaktstellu ungen Die 25-polige D D-Sub-Geräteb buchse ist wie folgt belegt...
  • Seite 25: Schnittstellenanschluss Usb Typ B

    3.7 Schn nittstellena anschluss Die USB B Typ B-Schn ittstelle ermög glicht die direk kte Kommunik ation mit dem VGC50x x über einen C Computer (z. B B. Firmware-U Update, Param meterspeicheru Typ B (lesen/s schreiben)). Schließen Sie die USB S Schnittstelle m mit einem abge eschirmten Ka...
  • Seite 26: Schnittstellenanschluss Ethernet

    Schnittst tellen- Die Ethernet-S chnittstelle er möglicht die d direkte Kommu unikation mit d dem VGC50x ü ber einen Com mputer. anschlus ss Etherne Schl ließen Sie das s Ethernetkab el an den Ans schluss f der Rück kseite an. Ethernet Grüne LED ink- oder Tran...
  • Seite 27: Bedienung

    C501 4.1 Front tplatte zeige dientasten Ansc hluss GC502 VGC503 Anzeige dientasten USB- nschluss Anzeig ge VGC501 rameter oder B argraph Schaltpunkt te, Parameter- Mode, aßeinheit Eingabes sperre Status Mess skanal esskanal: Mess swert in eitkomma oder r Expo-...
  • Seite 28 Anzeige VGC C502, VGC5 Parameter oder Bargraph Messkanal Scha altpunkte, Para ameter-Mode, Maßeinhei ingabesperre Status Messkanal 1 Messkana l 1: Messwert in Gleitkom mma oder Exponentia aldarstellung Status Messkanal 2 Messkana l 2: Messwert in Gleitkom mma oder Exponentia aldarstellung Status Messkanal 3 Messkana...
  • Seite 29: Vgc50X Ein- Und Ausschalten

    4.2 VGC5 50x ein- u aussc chalten VGC50 0x einschalte Der Net tzschalter befi ndet sich auf d Rückpla atte. Das VG GC50x mit dem m Netzschalter r (oder bei Rackmo ontage zentral l über den ges schalteten Netzver rteiler) einscha alten.
  • Seite 30 V V GC501 Bargrap ph FSR tina96d1 (2015-05) VGC501_VGC502_VGC503.g ga...
  • Seite 31 VGC50 02, VGC503 B Bargraph FSR R tina96d1 (2015-05) VGC5 501_VGC502_VGC503.ga...
  • Seite 32: Mess-Modus

    4.4 M Mess-Mod Der Mess-Mod us ist die Stan ndard-Betriebs sart des VGC5 50x mit Anzeig • eines Bargr raphen (bei Be edarf) • eines Mess swertes je Mes sskanal • Statusmeld ungen je Mes sskanal Bargraph ein nstellen Bei Bedarf kan n ein Bargrap ph angezeigt w werden (→...
  • Seite 33 Messb bereich Beim Be etrieb mit linea aren Messröhr ren (CDG) kön nnen negative e Druckwerte a ange- zeigt we erden. Möglich e Ursachen: • nega ativer Drift • aktiv vierte Offsetko orrektur. Messrö öhrenidentifi kation Zuerst mit der Taste den Messkan nal wählen.
  • Seite 34: Parameter-Modus

    4.5 P Parameter r-Modus Der Parameter r-Modus ist die e Betriebsart z zur Anzeige un nd Änderung/E Eingabe von Parameterwert ten, zum Teste en des VGC50 0x und zur Sp peicherung von n Messdaten. ur besseren S Strukturierung sind die einze elnen Parame eter in Gruppe n zusammen-...
  • Seite 35: Schaltfunktionsparameter

    (nur VGC503) Eine Ebene zurück < Das VGC501 hat zwei, das VGC502 vier und das VGC503 sechs Schaltfunktionen mit je zwei einstellbaren Schwellwerten. Die Zustände der Schaltfunktionen werden auf der Frontplatte angezeigt und sind als potentialfreie Kontakte an den Anschlüs- sen CONTROL bzw.
  • Seite 36: Parameter Wählen

    Parameter wählen  D er Name des Parameters u und der aktuell le Parameter- wert scheinen a auf. z. B.: SP1-S AU Schaltfunktion 1 ausgeschaltet  P arameter wäh len. Der Wert t blinkt und ka nn jetzt ge- än ndert werden.
  • Seite 37 Wert Schaltfunktion konfigurieren Schaltpunkt konfigurieren. SP1-S  Schaltfunktion 1 ist Kanal 1 zugeordnet SP1-S 1  Schaltfunktion 1 ist Kanal 2 zugeordnet SP1-S 2 (nur VGC502/503)  Schaltfunktion 1 ist Kanal 3 zugeordnet SP1-S 3 (nur VGC503)  Schaltfunktion 1 ist ausgeschaltet (ab Werk) SP1-S AUS ...
  • Seite 38: Grenzen Der Oberen Schwellwerte

    Grenzen der oberen Wert Schwellwerte Der obere Schwellwert (Setpoint high) definiert SP1-H den Druck, bei dem die Schaltfunktion bei stei- gendem Druck ausgeschaltet wird. z. B.:  messröhrenabhängig (→ Tabelle). SP1-H 1500 Wechselt der Messröhrentyp, passt das VGC50x den Schwellwert nötigenfalls auto- matisch an.
  • Seite 39: Messröhrenparameter

    4.5.2 Messröhrenparameter Die Gruppe Messröhrenparameter umfasst die Anzeige SENSOR > und Änderung/Eingabe von messröhrenrelevanten Parametern. Parameter dieser Gruppe Elektrodensystem reinigen. DEGAS Messbereich lineare Messröhren. Messwertfilter. FILTER Offsetkorrektur. OFFSET Korrekturfaktor für andere Gasarten. Offsetkorrektur. Hochvakuum-Messkreis ein-/ausschalten. HV-CTRL Emission. EMISSION Filament. FILAMENT Anzeigeauflösung.
  • Seite 40 Degas Ablagerungen a auf dem Elekt trodensystem von Heißioni- -Messröhren k können In- tabilitäten des s Messwertes zur Folge hab ben. Degas erm möglicht eine Reinigung. as ist nur bei Drücken unte rhalb 7.2×10 mbar durchfü ührbar. G402-Messröh hre: Die Degas s-Funktion ist nur auf dem je eweils aktiven...
  • Seite 41 Messbereich (F.S.) der Bei linearen analogen Messröhren ist deren Messbereichs-Endwert (Full Scale) zu linearen Messröhre definieren. Bei linearen digitalen und logarithmischen Messröhren wird er auto- matisch erkannt. Verfügbar für folgende Messröhren:  Pirani (PSG)  Pirani / Kapazitiv (PCG)  Kaltkathode (PEG, MAG) ...
  • Seite 42 Messwertfilter Das Messwertfilter erlaubt eine bessere Auswertung unruhiger oder gestörter Messsignale. Das Messwertfilter wirkt nicht auf den Analogausgang (→  23). Wert FILTER  kein Messwertfilter FILTER AUS  schnell: FILTER SCHNELL Das VGC50x reagiert schnell auf Mess- wertschwankungen und spricht dadurch entsprechend empfindlicher auf Messwert- störungen an.
  • Seite 43 Offse etkorrektur d Anzeige e des Offsetwe ertes und Neu abgleich auf d den aktuellen Messwert. Mess sgerätes Verfügb bar für folgend e Messröhren  Piran PSG)  Piran ni / Kapazitiv PCG)  Kaltk kathode PEG, MAG)  Kaltk kathode / Pira MPG) ...
  • Seite 44: Nullpunktab Bgleich Einer R Digitalen Cd Dg

    Nullpunktab bgleich einer Zuer rst die Messrö öhre abgleiche en und anschli ießend das M essgerät. digitalen CD Verfügbar für fo olgende Mess sröhren:  Pirani  (PSG)  Pirani / Kap  pazitiv (PCG)  Kaltkathode  (PEG, MA ...
  • Seite 45 Korrekturfaktor GAS Der Korrekturfaktor GAS erlaubt • das Normieren des Messwertes auf die fest eingestellten Gasarten N , Ar, H He, Ne, Kr und Xe oder • die manuelle Eingabe des Korrekturfaktors für andere Gase (COR). → Kennlinien in den  [1] … [16]. Bei der Maßeinheit Volt ist dieser Parameter nicht verfügbar.
  • Seite 46 Hochvakuum-Messkreis ein- / Ein- und ausschalten des Hochvakuum-Messkreises (→ auch  [32]). ausschalten Verfügbar für folgende Messröhren:  Pirani (PSG)  Pirani / Kapazitiv (PCG)  Kaltkathode (PEG, MAG)  Kaltkathode / Pirani (MPG)  Heißioni / Pirani (BPG, HPG) ...
  • Seite 47: Anzeigeauflösung

    Anzeigeauflösung Auflösung des angezeigten Messwertes. Verfügbar für folgende Messröhren:  Pirani (PSG)  Pirani / Kapazitiv (PCG)  Kaltkathode (PEG, MAG)  Kaltkathode / Pirani (MPG)  Heißioni / Pirani (BPG, HPG)  Kapazitiv (CDG)  Heißioni / Pirani / Kapazitiv (BCG) Wert STELLEN...
  • Seite 48: Messröhren-Einschaltart

    Messröhren-Einschaltart Gewisse Messröhren lassen sich auf verschiedene Arten einschalten. Wert S-ON  manuell: S-ON HAND Die Messröhre lässt sich mit der Taste einschalten.  extern: S-ON EXTERN Die Messröhre lässt sich über den ent- sprechenden Steuereingang am Anschluss CONTROL einschalten →  23). ...
  • Seite 49: Messröhren-Ausschaltart

    Wenn der Druck auf dem Mess- kanal 3 den Ausschaltwert überschreitet, wird die Messröhre ausgeschaltet. Ausschalt-Schwellwert Definition des Ausschalt-Schwellwertes beim Ausschalten bei Selbstüberwachung. VGC501 Dieser Parameter erscheint nur, wenn die Messröhren-Ausschaltart auf S-OFF SELF eingestellt ist. Wert T-OFF z. B.: ...
  • Seite 50 Ausschalt-Schwellwert Definition des Ausschalt-Schwellwertes beim Ausschalten durch die Messröhre auf VGC502, VGC503 dem anderen Kanal oder bei Selbstüberwachung. Dieser Parameter erscheint nur, wenn die Messröhren-Ausschaltart auf S-OFF S 1, S 2, S 3 (nur VGC503) oder S-OFF SELF eingestellt ist. Wert T-OFF z.
  • Seite 51: Allgemeinparameter

    Eine Änderung der Maßeinheit ändert auch die Maßeinheit der BPG-, HPG- und BCG-Messröhren. Nur VGC501: Ist die Masseinheit Micron gewählt, erfolgt oberhalb von 99000 Micron eine automatische Umschaltung auf Torr. Unterhalb von 90 Torr erfolgt eine automatische Umschaltung zurück in die Masseinheit Micron.
  • Seite 52 Baudrate Übertragungsra Ü ate der USB-S Schnittstelle. Wert BAUD USB  960 00 Baud BAUD USB 9600  192 200 Baud BAUD USB 19200  384 400 Baud BAUD USB 38400  576 600 Baud BAUD USB 57600  115 5200 Baud (ab b Werk) BAUD...
  • Seite 53 Wert AO-MODUS  Logarithmische Darstellung des gesamten AO-MODUS LOG Messbereichs (ab Werk). PSG: p = 10^[U/(10 / 7) - 4] PCG: p = 10^[U/(10 / 7) - 4] PEG/MAG: p = 10^[U/(10 / 7) - 9] MPG: p = 10^[U/(10 / 12) - 9] CDG: p = 10^[U/(10 / 4) - 4] ×...
  • Seite 54  Logarithmische Darstellung bei folgender AO-MODUS LOG C3 Kombination: • CDG an Messkanal 1 • CDG an Messkanal 2 • CDG an Messkanal 3 Diese Ausgangscharakteristik ist nur sinn- voll, wenn die Messröhren unterschiedliche Messbereiche besitzen. Der von der Kombi- nation erzielte Gesamtmessbereich wird im Bereich von 0 …...
  • Seite 55 Bargraph In der DotMatrix kann ein Bargraph oder der gemessene Druck als Funktion der Zeit (p = f ) dargestellt werden. Während der Parametereinstellung wird an dieser Stelle der Parameter und der Parameterwert angezeigt. Wert BARGRAPH  Ab Werk. BARGRAPH AUS ...
  • Seite 56 Bildschirms schoner Der Bildschirms schoner reduz ziert die Hellig gkeit der Hinte ergrundbeleuch htung. Wert SCREENSAVE  Ab Werk SCREE ENSAVE AUS  Nac ch 10 Minuten SCREE ENSAVE 10m  Nac ch 30 Minuten SCREE ENSAVE 30m  Nac ch 1 Stunde SCREE ENSAVE 1h...
  • Seite 57 Anzeige Anzeige bei einer Messbereichsunter- oder einer Messbereichsüberschreitung. Messbereichsendwert Wert ENDWERT  Bei einer Messbereichsunter- oder -über- ENDWERT UR/OR schreitung wird UR oder OR angezeigt (ab Werk)  Bei einer Messbereichsunter- oder -über- ENDWERT WERT schreitung wird der jeweilige Messbereichs- endwert angezeigt tina96d1 (2015-05)
  • Seite 58: Testparameter

    4.5.5 Testparam meter Die Gruppe Te estparameter u umfasst die A Anzeige der TEST > Firmwareversi on, die Änder rung/Eingabe von speziellen Parameterwer rten und die Te estprogramme Die G Gruppe ist nu r verfügbar, w wenn beim Eins schalten des V VGC50x die Tast gedrück...
  • Seite 59 Watc chdog-Fehler rverhalten Verhalte en der System müberwachung g (Watchdog C Control) bei ei nem Fehler. Einstellung WATCH  Das Syste em quittiert ein ne Fehlermeld dung WATCHDOG AUTO des Watch hdog nach 2 s s selbst (ab W Werk) ...
  • Seite 60 Die Kontakte d er Schaltfunkt tionen sind au uf den Anschlu uss CONTROL L (VGC501), zw. RELAY (V VGC502/503) auf der Gerät erückseite gef führt (→  23 ). Mit einem Ohmmeter dere en Funktion ü...
  • Seite 61: Daten Logger-Modus

    Kompatibilität Kompatibilität des VGC50x zu INFICON-Messröhren oder zu OLV Transmittern. Wert INFICON-Messröhren unterstützt (ab Werk) KOMP. INFICON OLV-Transmitter unterstützt KOMP. OLV 4.5.6 Daten Logger-Modus Die Gruppe Daten Logger erlaubt DATENLOGGER > • die Aufzeichnung von Messdaten auf einen USB- Speicherstick (Schnittstelle Typ A auf der Vorder- seite des VGC50x) •...
  • Seite 62 Intervall ntervall der Me essdatenerfas ssung. Wert NTERVALL  Auf fzeichnungsint tervall 1/s INTER RVALL 1s  Auf fzeichnungsint tervall 1/10 s INTER RVALL 10s  Auf fzeichnungsint tervall 1/30 s INTER RVALL 30s  Auf fzeichnungsint tervall 1/60 s INTER RVALL 1min ...
  • Seite 63: Parametertransfer-Modus

    4.5.7 Parametertransfer-Modus Diese Gruppe erlaubt SETUP > • das Speichern sämtlicher Parameter auf einen USB-Speicherstick (Schnittstelle Typ A auf der Vor- derseite des VGC50x) • das Laden sämtlicher Parameter von einem USB- Speicherstick auf das VGC50x • das Formatieren eines USB-Speichersticks •...
  • Seite 64: Formatieren

    Formatieren USB-Speichers stick formatier ren. Wert FORMAT +  Tasten gleichz zeitig drücken n, um die Format tierung zu star rten  For matierung läu FORMA AT LÄUFT  For matierung abg geschlossen FORMA AT FERTIG Löschen Alle Parameter rdateien (Endu ung CSV) vom m USB-Speich herstick lösche...
  • Seite 65: Kommunikation (Serielle Schnittstelle)

    Messwertübertragung, kann aber mit dem Befehl nach Bearbeitung eventueller Parameteränderungen wieder gestartet werden (→  70). Der Kommunikationsablauf mit den drei Messgeräten VGC501, VGC502 und VGC503 ist identisch. Deshalb wird in diesem Abschnitt die Bezeichnung VGC50x verwendet. Es ist zu beachten, dass bei Befehlen, die kanalspezifische Parameter enthalten, die Anzahl der Werte der Anzahl der Kanäle des jeweiligen Gerätes entsprechen...
  • Seite 66: Datenübertragung

    5.1 Datenübertragung Der Austausch der Information erfolgt bidirektional, d.h. Daten und Steuerbefehle können in beide Richtungen ausgetauscht werden. Datenformat 1 Startbit, 8 Datenbits, Kein Paritätsbit, 1 Stoppbit, kein Hardware-Handshake Definitionen Es werden folgende Abkürzungen und Symbole verwendet: Symbol Bedeutung HOST Computer oder Terminal [...] Nicht zwingend vorgeschriebene Elemente...
  • Seite 67: Kommunikationsprotokoll

    5.2 Kommunikations- protokoll Sendeformat Die Nachrichten werden in Form von Mnemonics (Befehlskürzeln) und Parametern als ASCII-Strings zum VGC50x übertragen. Alle Mnemonics bestehen aus drei ASCII-Charaktern. Leerstellen (Spaces) werden ignoriert. <ETX> (CTRL C) löscht den Eingabebuffer im VGC50x. Sendeprotokoll HOST VGC50x Erklärung Mnemonics [und Parameter] –––––––––>...
  • Seite 68: Mnemonics Tabelle

    Ethernet MAC address Ethernet MAC-Adresse Offset correction (linear gauges) Offsetkorrektur (lineare Messröhren) Offset display (linear gauges) Offsetanzeige (lineare Messröhren) Offset correction (VGC501 only) Offsetkorrektur (nur VGC501) Firmware version Firmwareversion Measurement data gauge 1 Druck Messröhre 1 Measurement data gauge 2 Druck Messröhre 2...
  • Seite 69 Reset Gerät-Neustart Operating hours Betriebsstunden RS232C test RS232C-Test Save parameters (EEPROM) Standard-Werte speichern (EEPROM) Gauge 1 control Steuerung Messröhre 1 Gauge 2 control Steuerung Messröhre 2 Gauge 3 control Steuerung Messröhre 3 Save / load parameters (USB) Parameter speichern/zurücklesen (USB) Switching function 1 Schaltfunktion 1 Switching function 2...
  • Seite 70: Mess-Modus

    5.4 Mess-Modus - Kontinuierliche Mess- Senden: [,a] <CR>[<LF>] wertausgabe Beschreibung Zeitintervall, a = 0 –> 100 ms 1 –> 1 s (Standard) 2 –> 1 Minute Empfangen: <ACK><CR><LF> Auf <ACK> folgt unmittelbar die kontinuierliche Messwertausgabe im gewünschten Zeitintervall Empfangen: b,sx.xxxxEsxx,c,sy.yyyyEsyy,d,sz.zzzzEszz <CR><LF> Beschreibung Status Messröhre 1, b = 0 –>...
  • Seite 71 CPR - Kombinierte er Messbe- Sind am m VGC502 und d VGC503 me ehrere lineare Messröhren m mit unterschied dlichem reich ( lineare Mess sröhren) Fullscale e (F.S.) anges schlossen, we erden mit diese em Prameter die unterschie edlichen Messbe ereiche zu eine em Messberei ch kombiniert...
  • Seite 72 - Fehlerzustand Senden: <CR>[<LF>] Error status Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: aaaa <CR><LF> Beschreibung aaaa Fehlerzustand, aaaa = 0000 –> Kein Fehler 1000 –> ERROR (siehe Anzeige auf Frontplatte) 0100 –> NO HWR (Hardware nicht installiert) 0010 –> PAR (Unerlaubter Parameter) 0001 –>...
  • Seite 73 - Druck Messröhren 1, 2 Senden: <CR>[<LF>] und 3 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a,sx.xxxxEsxx,b,sy.yyyyEsyy,c,sz.zzzzEszz <CR><LF> Beschreibung Status Messröhre 1, a = 0 –> Messdaten okay 1 –> Messbereichsunterschreitung (Underrange) 2 –> Messbereichsüberschreitung (Overrange) 3 –> Messröhrenfehler (Sensor error) 4 –> Sensor off (PEG, MAG) 5 –>...
  • Seite 74 - Gerät-Neustart Senden: [,a] <CR>[<LF>] Beschreibung 1 –> Löscht anstehende Fehler und kehrt in den Mess-Mode zurück Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: b[,b][,b][…] <CR><LF> Beschreibung Auflistung der anstehenden Fehlermeldungen, b = 0 –> Kein Fehler 1 –> Watchdog hat angesprochen 2 –>...
  • Seite 75: Gruppe Schaltfunktionsparameter

    5.5 Gruppe Schaltfunk- tionsparameter - Schaltfunktionsstatus Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a,b,c,d,e,f <CR><LF> Beschreibung Status Schaltfunktion 1, a = 0 –> aus 1 –> ein Status Schaltfunktion 2 Status Schaltfunktion 3 Status Schaltfunktion 4 Status Schaltfunktion 5 Status Schaltfunktion 6 SP1 …...
  • Seite 76: Gruppe Messröhrenparameter

    5.6 Gruppe Messröhren- parameter - Kalibrierfaktor entspricht dem COR-Befehl CF1, CF2, CF3 - Kalibrierfaktor Senden: [,a.aaa] <CR>[<LF>] Messröhre 1, 2 oder 3 Beschreibung Kalibrierfaktor für Messröhre x = 1 –> Messröhre 1 2 –> Messröhre 2 3 –> Messröhre 3 a.aaa Kalibrierfaktor Messröhre x, 0.100 …...
  • Seite 77 - Anzeigeauflösung Senden: [,a,a,a] <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a,a,a <CR><LF> Beschreibung Stellenzahl a = 0 –> AUTO (Standard) 1 –> Eine Stelle 2 –> Zwei Stellen 3 –> Drei Stellen 4 –> Vier Stellen Die Anzeige ist bei PSG- und PCG-Messröhren im Druckbereich p<1.0E-4 mbar und aktivierter PrE (→...
  • Seite 78 - Messwertfilter Senden: [,a,b,c] <CR>[<LF>] Beschreibung Filter Messröhre 1, a = 0 –> Filter ausgeschalten 1 –> schnell 2 –> normal 3 –> langsam Filter Messröhre 2 Filter Messröhre 3 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a,b,c <CR><LF> Beschreibung Filterzeitkonstante Messröhre 1 Filterzeitkonstante Messröhre 2 Filterzeitkonstante Messröhre 3 - Filament auswählen...
  • Seite 79: Messbereich (Lineare Messröhren)

    - Messbereich (lineare Bei linearen analogen Messröhren ist deren Messbereichs-Endwert (Full Messröhren) Scale) zu definieren. Bei linearen digitalen und bei logarithmischen Messröhren wird er automatisch erkannt. Senden: [,a,b,c] <CR>[<LF>] Beschreibung Messbereichs-Endwert Messröhre 1, a = 0 –> 0.01 mbar 1 –> 0.01 Torr 2 –>...
  • Seite 80 - Gaskorrektur Senden: [,a,b,c] <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a,b,c <CR><LF> Beschreibung Gaskorrektur Messkanal 1, a = 0 –> Stickstoff / Luft (Standard) 1 –> Argon 2 –> Wasserstoff 3 –> Helium 4 –> Neon 5 –> Krypton 6 –> Xenon 7 –>...
  • Seite 81 - Offsetkorrektur Senden: [,a,b,c] <CR>[<LF>] (lineare Messröhren) Beschreibung Offsetkorrektur Messröhre 1, a = 0 –> aus (Standard) 1 –> ein 2 –> Offset-Wert ermitteln und Offset-Korrektur einschalten 3 –> Nullpunkt einer linearen Messröhre abgleichen Offsetkorrektur Messröhre 2 Offsetkorrektur Messröhre 3 Empfangen: <ACK><CR><LF>...
  • Seite 82 - Offsetkorrektur Senden: [,a,sx.xxxxEsxx] <CR>[<LF>] (lineare Messröhren, nur VGC501) Beschreibung Modus, a = 0 –> aus (Standard) Es muss kein Offsetwert angegeben werden 1 –> ein Ohne Angabe gilt der vorgängige Wert 2 –> auto (Offset-Messung) Es muss kein Offsetwert angegeben werden 3 –>...
  • Seite 83: Gruppe Messröhrensteuerung

    5.7 Gruppe Messröhren- steuerung SC1, SC2, SC3 - Steuerung Senden: [,a,b,c.ccEscc,d.ddEsdd] <CR>[<LF>] Messröhre 1, 2 oder 3 Beschreibung Gesteuerte Messröhre, x = 1 –> Messröhre 1 2 –> Messröhre 2 3 –> Messröhre 3 Messröhren-Einschaltart, a = 0 –> Manuell (Standard) 1 –>...
  • Seite 84: Gruppe Generalparameter

    5.8 Gruppe General- parameter - Charakteristik Senden: [,a,b] <CR>[<LF>] Schreiberausgang Beschreibung Messkanal, a = 0 –> Messkanal 1 1 –> Messkanal 2 2 –> Messkanal 3 Ausgangscharakteristik, b = 0 –> Logarithmisch 1 –> Logarithmisch LOG A 2 –> Logarithmisch LOG -6 3 –>...
  • Seite 85 - Hintergrundbeleuchtung Senden: [,a] <CR>[<LF>] Beschreibung Hintergrundbeleuchtung in Prozent, a = 0 … 100 100% ist volle Helligkeit Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a <CR><LF> Beschreibung Hintergrundbeleuchtung - Überragungsrate serielle Senden: [,a] <CR>[<LF>] Schnittstelle (USB) Beschreibung Übertragungsrate, a = 0 –> 9600 Baud (Standard) 1 –>...
  • Seite 86 - Bargraph-Anzeige Senden: [,a,b] <CR>[<LF>] Beschreibung Messkanal, a = 0 –> Messkanal 1 1 –> Messkanal 2 2 –> Messkanal 3 Bargraph-Anzeige, b = 0 –> Ausgeschaltet (Standard) 1 –> Bargraph über gesamten Messbereich der Messröhre 2 –> Bargraph über gesamten Messbereich der Messröhre, hohe Darstellung 3 –>...
  • Seite 87 - Anzeigekontrast Senden: [,a] <CR>[<LF>] Beschreibung Kontrast in Prozent, a = 0 … 100 100% ist voller Kontrast Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a <CR><LF> Beschreibung Kontrast - Bildschirmschoner Senden: [,a] <CR>[<LF>] Beschreibung Bildschirmschoner, a = 0 –> Aus (Standard) 1 –>...
  • Seite 88 - Messbereichsendwert Senden: [,a] <CR>[<LF>] Beschreibung Anzeige Messbereichsendwert, a = 0 –> Bei einer Messbereichsunter- oder -überschreitung wird UR oder OR angezeigt (Standard) 1 –> Bei einer Messbereichsunter- oder -überschreitung wird der jeweilige Messbereichsendwert angezeigt Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a <CR><LF> Beschreibung Messbereichsendwert - Zahlenformat...
  • Seite 89 - Pirani-Bereichser- Senden: [,a,b,c] <CR>[<LF>] weiterung Beschreibung Pirani-Bereichserweiterung Messröhre 1, a = 0 –> Aus (Standard) 1 –> Ein Pirani-Bereichserweiterung Messröhre 2 Pirani-Bereichserweiterung Messröhre 3 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a,b,c <CR><LF> Beschreibung Pirani-Bereichserweiterung Messröhre 1 Pirani-Bereichserweiterung Messröhre 2 Pirani-Bereichserweiterung Messröhre 3 Nur PCG- und PSG-Messröhren, Messbereich bis 5×10 hPa.
  • Seite 90: Gruppe Daten Logger

    5.9 Gruppe Daten Logger Diese Gruppe ist nur verfügbar, wenn ein USB-Speicherstick mit FAT- Dateisystem (FAT32) eingesteckt ist. Speichersticks mit ≤32 GB ver- wenden. - Datum Senden: [,yyyy-mm-dd] <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: yyyy-mm-dd <CR><LF> Beschreibung yyyy-mm-dd Datum im Format yyyy-mm-dd –...
  • Seite 91: Gruppe Parametertransfer

    TAD-Befehl - Kompatibilität Senden: [,a] <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a <CR><LF> Beschreibung 0 –> INFICON-Messröhren (Standard) 1 –> OLV Transmitter - Anzeige-Test entspricht dem TDI-Befehl - EEPROM-Test entspricht dem TEE-Befehl - FLASH-Test entspricht dem TEP-Befehl tina96d1 (2015-05) VGC501_VGC502_VGC503.ga...
  • Seite 92 - Hardwareversion Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a.a <CR><LF> Beschreibung Hardwareversion, z. B. 1.0 - I/O-Test entspricht dem TIO-Befehl - Eingabesperre Senden: [,a] <CR>[<LF>] Beschreibung Eingabesperre, a = 0 –> Aus (Standard) 1 –> Ein Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ>...
  • Seite 93 - Betriebsstunden entspricht dem TRS-Befehl - Test A/D-Wandler Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: aa.aaaa,bb.bbbb,cc.cccc <CR><LF> Beschreibung aa.aaaa A/D-Wandler Kanal 1 Messsignal [0.0000 … 11.0000 V] bb.bbbb A/D-Wandler Kanal 2 Messsignal [0.0000 … 11.0000 V] cc.cccc A/D-Wandler Kanal 3 Messsignal [0.0000 …...
  • Seite 94 - FLASH-Test Test des Programmspeichers. Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> startet den Test (sehr kurz) Empfangen: aaaa,bbbbbbbb <CR><LF> Beschreibung aaaa Error-Wort bbbbbbbbbb Checksumme (Hex) - I/O-Test Vorsicht Vorsicht: Relais schalten druckunabhängig Der Start des Testprogrammes kann zu unbeabsichtigten Ergebnissen an angeschlossenen Steuerungen führen.
  • Seite 95 - Bedientasten-Test Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: abcd <CR><LF> Beschreibung Taste 1, a = 0 –> Nicht gedrückt 1 –> Gedrückt Taste 2, b = 0 –> Nicht gedrückt 1 –> Gedrückt Taste 3, c = 0 –> Nicht gedrückt 1 –>...
  • Seite 96: Weitere

    - Watchdog- Senden: [,a] <CR>[<LF>] Fehlerverhalten Beschreibung Watchdog-Fehlerverhalten, a = 0 –> Fehlerbestätigung manuell 1 –> Fehlerbestätigung automatisch (Standard) Hat der Watchdog angesprochen, wird der Fehler nach 2 s auto- matisch bestätigt und gelöscht. Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: a <CR><LF> Beschreibung Watchdog-Fehlerverhalten 5.12 Weitere...
  • Seite 97: Beispiel Mnemonics

    5.13 Beispiel Mnemonics "Senden (S)" und "Empfangen (E)" sind auf den Host bezogen. Aufruf der Messröhrenidentifikation <CR> [<LF>] positive Rückmeldung E: <ACK> <CR> <LF> Abfrage S: <ENQ> Ausgabe der Messröhrentypen E: PSG <CR> <LF> Aufruf der Parameter der Schaltfunktion 1 <CR>...
  • Seite 98: Instandhaltung

    6 In nstandha altung GC50x reinig ür die äußere Reinigung re icht im Norma alfall ein leicht feuchtes Tuc h. Benutzen Sie keine aggre essiven oder s scheuernden R Reinigungsmit ttel. GEFAH FAHR: Netzsp pannung r Kontakt mit n netzspannung sführenden K Komponenten im Gerät...
  • Seite 99: Störungsbehebung

    CON- Servicestelle K Kontakt auf. 8 Instan ndsetzun Defekte e Produkte sind d zur Instands setzung an Ihr re nächstgeleg gene INFICON Services stelle zu send den. INFICO N übernimmt keine Verantw wortung und G Gewährleistung g, falls der Be...
  • Seite 100: Zubehör

    9 Zubehör Nur VGC501 Bestellnummer Adapterplatte für Einbau in Rackeinschübe der Höhe 3 398-499 10 Produkt lagern Vorsicht Vorsicht: Elektronikkomponente Unsachgemäße Lagerung (statische Ladungen, Feuchtigkeit usw.) kann zu Defekten an den elektronischen Komponenten führen. Produkt in antistatischem Beutel oder Behälter aufbewahren. Zuläs- sige Technische Daten einhalten (→...
  • Seite 101: Anhang

    Anhang Umrechnungstabellen Masse slug 2.205 68.522×10 35.274 0.454 31.081×10 slug 14.594 32.174 514.785 28.349×10 62.5×10 1.943×10 Druck , Pa mBar, hPa Torr , Pa 10×10 10×10 7.5×10 9.869×10 100×10 750.062 0.987 mBar, hPa 750.062×10 0.987×10 Torr 133.322 1.333×10 1.333 1.316×10 101.325×10 1.013 1.013×10...
  • Seite 102: B: Firmware-Update

    Speicherstick (Typ A) erkannt, wenn diese z. B. nicht der USB-Norm entsprechen (vor allem Billigprodukte). Versuchen Sie einen anderen Speicherstick, bevor Sie mit Ihrer nächstgelegenen INFICON-Servicestelle Kontakt aufnehmen.  Zwei Dateien mit Endung ".S19" und ".CNF" von unserer Internetseite "www.inficon.com" auf einen USB-Speicherstick herunterladen.
  • Seite 103  Gerät mit einem USB-Kabel Typ A/B mit dem Computer verbinden.  USB UpdateTool starten, in der Auswahlliste die COM-Schnittstelle wählen und <Connect> anklicken. Verbindung hergestellt  Im Register <Release Notes> finden Sie das Änderungsprotokoll. tina96d1 (2015-05) VGC501_VGC502_VGC503.ga...
  • Seite 104 Firmwa are wählen … • Opti on <Load from m disk>: Eine Kopie der Firm mware von un nserer Web- seite e "www.inficon n.com" herunte er laden. Ansc chließend im U Update-Tool entsprechend den Ordner öff fnen. • Opti on <Load from...
  • Seite 105: C: Ethernet-Konfiguration

    Ethernet-Konfiguration Das Anwenderprogramm (z. B. Terminalprogramm, LabView, etc.) muss serielle Schnittstellen unterstützen. Unter Microsoft Windows Betriebssystemen erscheint das VGC50x als virtuelle COM-Schnittstelle. Nehmen Sie mit Ihrem Netzwerk-Administrator Kontakt auf, bevor sie mit der Konfiguration beginnen. Wir empfehlen vor Beginn der Ethernet-Konfiguration ein Update des Betriebssystems durchzuführen.
  • Seite 106: C 2: Vgc50X An Einen Computer Anschließen

    Schnittstelle (COM) zugeordnet werden. Zusätzlich ist die Konfiguration der Ether- net-Schnittstelle via Computer möglich. Voraussetzung: Betriebssystem Microsoft Windows 7 oder 8 (läuft nicht unter Windows XP)  Das Ethernet Configuration Tool von der CD-ROM oder von unserer Internetseite "www.inficon.com" herunterladen. tina96d1 (2015-05) VGC501_VGC502_VGC503.ga...
  • Seite 107  Ethernet Configuration Tool starten und <Search Devices> anklicken: Das Tool durchsucht das lokale Netzwerk nach angeschlossenen Geräten und listet die gefundenen Geräte im Auswahlfenster. Das Register <Device Info> zeigt Grundinformationen über das ausgewählte Gerät.  Im Register <Network Settings> erfolgt die automatische oder die manuelle Netzwerkeinstellung.
  • Seite 108  Im Register <Virtual Serial Port> kann jedem Gerät ein eigenes COM-Port zugewiesen, und/oder … … ein neues COM-Port erzeugt werden. Die neu erzeugte virtuelle COM-Schnittstelle erscheint im Listen- feld und im Windows Gerätemanager. tina96d1 (2015-05) VGC501_VGC502_VGC503.ga...
  • Seite 109: D: Literatur

    Literatur  [1] www.inficon.com Gebrauchsanleitung Pirani Standard Gauge PSG400, PSG400-S tina04d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein  [2] www.inficon.com Gebrauchsanleitung Compact Pirani Gauge PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S tina44d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein  [3] www.inficon.com Gebrauchsanleitung Pirani Standard Gauge PSG100-S, PSG101-S tina17d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein...
  • Seite 110  [13] www.inficon.com Gebrauchsanleitung High Pressure / Pirani Gauge HPG400 tina31d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein  [14] www.inficon.com Gebrauchsanleitung TripleGauge™ BCG450 tina40d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein  [15] www.inficon.com Gebrauchsanleitung Inverted Magnetron Pirani Gauge MPG400, MPG401 tina48d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein ...
  • Seite 111: Eu-Konformitätserklärung

    EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur Niederspannungsrichtlinie 2014/35/EU, EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS- Richtlinie 2011/65/EU. Produkte Einkanal, Zweikanal und Dreikanal Messgeräte VGC501, VGC502, VGC503 Artikelnummern 398-481 398-482 398-483 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: •...
  • Seite 112 LI–9496 Balzers Liechtenstein Tel +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina96d1 (2015-05) www.inficon.com t i na96d1...

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