INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 106

10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
Warnung Fehleranzeige
(Wrn) LDS3000
Fehler
(Err)
Wrn301 Anodenspannung zu hoch
Wrn302 Suppressorspannung zu
niedrig
Wrn303 Suppressorspanung zu
hoch
Wrn304 Spannung Anode-Kathode
zu niedrig
Wrn305 Spannung Anode-Kathode
zu hoch
Err306 Anodenspannung
fehlerhaft
Wrn310 Kathode 1 defekt
Wrn311 Kathode 2 defekt
Err312 Kathoden defekt
Wrn332 System heliumverseucht
Wrn334 Plötzlicher
Leckratenanstieg
106 / 144
Fehlernummer
LDS1000 Binär-
Protokoll bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibilit
ätsmodus
LDS1000/
LDS2010
40 131
39 130
38 129
36 127
35 126
36 127
45 136
46 137
47 138
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Grenzwerte Ursache
7V > des MSB defekt
Sollwerts
297V Kurzschluss Supressor, IF-Board
oder MSB defekt
363V MSB defekt
40V Kurzschluss Anode -Kathode, IF-
Board oder MSB defekt
140V MSB defekt
40 V Die Anodenspannung entspricht
Abweichun nicht dem Vorgabewert oder der
g vom Vorgabewert liegt außerhalb des
Vorgabew zulässigen Einstellbereichs.
ert
Kathode defekt, Leitung zur
Kathode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
Kathode defekt, Leitung zur
Kathode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
Kathode defekt, Leitung zur
Kathode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
Leckrate zu negativ (z.B.
unterhalb – 0.15 * Trigger 1). Die
Reaktionszeit der Warnung lässt
sich einstellen. Siehe ""Zerozeit
Faktor AQ" anpassen [} 86]"
Grobleck
INFICON