INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 6

Inhaltsverzeichnis
10.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-LEDs ....................................................................... 111
11 Betrieb CU1000 (optional) ............................................................................................................................ 113
11.1 Elemente des Touchscreens ................................................................................................................ 113
11.1.1 Elemente der Messanzeige ...................................................................................................... 113
11.2 Elemente der Fehler- und Warnungsanzeige ....................................................................................... 116
11.3 Einstellungen und Funktionen .............................................................................................................. 117
11.3.1 Touchscreen-Einstellungen ...................................................................................................... 117
11.3.2 Bedienertypen und Berechtigungen.......................................................................................... 120
11.3.2.1 Bediener abmelden .......................................................................................................... 122
11.3.3 Funktionen ................................................................................................................................ 122
11.3.3.1 Einstellungen zurücksetzen ............................................................................................. 122
11.3.3.2 Daten aufzeichnen ........................................................................................................... 122
11.3.3.3 Informationen aufrufen ..................................................................................................... 124
11.3.4 Software aktualisieren............................................................................................................... 127
11.3.4.1 Software der Bedieneinheit aktualisieren......................................................................... 127
11.3.4.2 Softwareversion der MSB-Box prüfen und aktualisieren.................................................. 127
11.3.4.3 Software des I/O-Moduls aktualisieren ............................................................................ 128
12 Wartung ........................................................................................................................................................ 130
12.1 Wartung bei INFICON........................................................................................................................... 130
12.2 Allgemeine Wartungshinweise.............................................................................................................. 130
12.3 Wartungsplan........................................................................................................................................ 131
12.4 Wartungsarbeiten ................................................................................................................................. 132
12.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen .......................................................... 132
13 Außerbetriebnahme...................................................................................................................................... 137
13.1 Lecksuchgerät stillsetzen...................................................................................................................... 137
13.2 Massenspektrometer-Modul entsorgen ................................................................................................ 137
13.3 Massenspektrometer-Modul einsenden................................................................................................ 137
14 Anhang ......................................................................................................................................................... 138
14.1 CE-Erklärung ........................................................................................................................................ 138
14.2 Einbauerklärung.................................................................................................................................... 139
14.3 Kontaminationserklärung ...................................................................................................................... 140
14.4 RoHS .................................................................................................................................................... 141
vi LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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