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INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 29

Massenspektrometer-modul
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INFICON
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Parameter
Leckrateneinheit VAC, (Display und
Schnittstelle)
Leckrate obere Grenze VAC
(Schnittstelle)
Leckrate untere Grenze VAC (Schnitt-
stelle)
Leckrate obere Grenze SNIF (Schnitt-
stelle)
Leckrate untere Grenze SNIF (Schnitt-
stelle)
Lüftersteuerung
Maschinenfaktor in Standby
Maschinenfaktor / Schnüffelfaktor
Masse
Modul am I/O-Anschluss
Nominalzustand TMP
Prüfleck extern SNIF
Prüfleck extern VAC
Prüfleck intern
Prüfleck intern öffnen
Schnüffelleitungserkennung
Schnüffler Taste ZERO
Sprache
TMP-Drehzahl
Triggerlevel 1 (2, 3, 4)
Vorverstärkertest bei CAL
Wartungsmeldung
ZERO bei Start
ZERO-Modus
1) im Modus AQ
Werkseinstellung
mbar l/s
-1
1.0 x 10
-12
1.0 x 10
-1
1.0 x 10
-8
1.0 x 10
Lüfter immer an
Aus
1.0 (für alle Massen)
4
IO1000
An
-2
9.9 x 10
-2
9.9 x 10
-2
9.9 x 10
Aus
Ein
Ein
Englisch
1500
1)
1000
-5
1 x 10
mbar l/s
-5
-5
5 x 10
(1 x 10
) mbar l/s
Ein
Aus
Aus
Alles unterdrücken
Beschreibung | 4
1)
29 / 144

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Diese Anleitung auch für:

Lds3000 aq

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