7 Betrieb LDS3000 ............................................................................................................................................ 41

7.1 Gerät einschalten.................................................................................................................................... 41

7.2 Voreinstellungen ..................................................................................................................................... 42

7.3 Einheit für die Leckrate wählen............................................................................................................... 43

7.4 Einheit für den Druck wählen.................................................................................................................. 44

7.5 Kompatibilitätsmodus wählen ................................................................................................................. 44

7.6 Betriebsart wählen .................................................................................................................................. 46

7.7 Gasart wählen (Masse)........................................................................................................................... 47

7.8 Gerät kalibrieren ..................................................................................................................................... 48

7.8.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen................................................................................... 48

7.8.2 Interne Kalibrierung konfigurieren und starten............................................................................ 50

7.8.3 Externe Kalibrierung konfigurieren und starten........................................................................... 51

7.8.4 Externe dynamische Kalibrierung starten ................................................................................... 53

7.8.5 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL ........................................................... 55

7.8.6 Kalibrierung prüfen...................................................................................................................... 56

7.8.6.1

Kalibrierung mit internem Prüfleck prüfen .......................................................................... 56

7.8.6.2

Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen ......................................................................... 56

7.8.7 Kalibrierfaktor eingeben .............................................................................................................. 57

7.8.7.1

Kalibrierfaktor Schnüffeln ................................................................................................... 57

7.8.7.2

Kalibrierfaktor Vakuum....................................................................................................... 57

7.8.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen ................................................................................. 58

7.8.8.1

Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen........................................................... 58

7.8.8.2

Maschinen- und Schnüffelfaktor per Maschinenkalibrierung einstellen ............................. 59

7.9 Messung starten und stoppen ................................................................................................................ 60

7.10 Parameter speichern und laden.............................................................................................................. 60

7.11 Messdaten kopieren, Messdaten löschen .............................................................................................. 61

7.12 Gas-Untergründe mit den "ZERO"-Funktionen unterdrücken................................................................. 61

7.13 Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern ............................................................................................ 62

7.14 Gasballastventil der Vorvakuumpumpe steuern ..................................................................................... 63

7.15 Anzeigegrenzen wählen ......................................................................................................................... 64

7.16 Triggerwerte einstellen ........................................................................................................................... 64

7.17 Kapillarüberwachung einstellen .............................................................................................................. 65

7.18 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen ...................................................................................... 66

7.19 Kathode auswählen ................................................................................................................................ 66

7.20 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter................................................................................................ 67

LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)

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