INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 39

INFICON
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
ü Sie verfügen über das Massenspektrometer-Modul (Akkumulation) von INFICON,
einen Wellschlauch und die abgebildeten Verbindungen.
ü Sie verfügen über eine trockene Vorvakuumpumpe mit eigener Stromversorgung.
Sie können alle trockenen Vakuumpumpen mit einem Gasdurchfluss von mehr als
60 sccm bei einem Basisdruck von unter 5 mbar verwenden. In dieser Anleitung
wird die Verwendung der trockenen INFICON-Vorpumpe (Katalog-Nummer
560-630) beschrieben.
ü Sie verfügen über eine geeignete Messkammer.
Informationen über die Messkammer können Sie von INFICON erhalten.
Beachten Sie, dass eine Messkammer, die dicht, aber nicht vakuumfest ist,
implodieren kann, wenn sie über übliche Messzeiten hinaus weiter abgepumpt wird.
Siehe auch "Messung durchführen [} 84]".
1
Schließen Sie den Drucksensor PSG500 an den FINE-Anschluss an.
2 Verbinden Sie einen Wellschlauch mit dem FINE-Anschluss des
Massenspektrometer-Moduls.
3
Verbinden Sie das offene Ende des Wellschlauchs über das Einlassmodul mit
der Messkammer.
4 Montieren Sie den GROSS-Drosselflansch am Anschluss GROSS/FOREPUMP
des Massenspektrometer-Moduls.
5
Verbinden Sie das offene Ende des GROSS-Drosselflansch-Schlauchs mit der
Vorvakuumpumpe.
6
Stellen Sie die elektrische Verbindung der Vorpumpe her.
Bei Verwendung der INFICON Vorpumpe (Katalog-Nummer 560-630) gehen Sie
folgendermaßen vor:
ð Stellen Sie fest, ob die Plus- und die Minus-Klemme der Anschlussleiste
bereits durch den Hersteller mit Kabeln verbunden sind.
Abb. 13: Anschlussleiste an der trockenen Vorpumpe von INFICON
ð Wenn ja, verbinden Sie Plus- und Minus Kabel mit einer Gleichstromquelle,
24 V +/- 10 %, 5 A.
ð Wenn nein, stecken Sie Plus- und Minus Kabel mit Aderendhülsen 8 mm
AWG 18 mit roter Isolierung in die zugehörigen Anschlussklemmen und
verbinden danach die Kabel mit einer Gleichstromquelle, 24 V +/- 10 %, 5 A.
Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6
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