INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 109

INFICON
Wrn500 Drucksensor nicht
angeschlossen
Wrn502 Drucksensor 2 nicht
angeschlossen
Wrn520 Druck zu hoch
Wrn521 Druckanstieg,
Zusammenbruch
Anodenspannung
Wrn522 Druckanstieg, Emission
zusammengebrochen
Wrn540 Druck zu niedrig, Sniffer
blockiert
Err541 Sniffer blockiert (p1)
Wrn542 Sniffer gebrochen
Wrn550 Druck zu niedrig, XL
Sniffer blockiert
Wrn552 XL Sniffer gebrochen
Wrn554 XL sniffer P2 zu klein
Wrn556 Drossel zugesetzt
Err557 Drossel verstopft
6xx Kalibrierfehler
Wrn600 Kalibrierfaktor zu niedrig
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10
58 144
73 148
73 148
73 148
63 62
62 146
64 147
63 62
81 153
0,5V Drucksensor PSG500 P1 nicht
angeschlossen, IF-Board oder
MSB defekt
Drucksensor PSG500 P2 nicht
angeschlossen, IF-Board oder
MSB defekt.
18 mbar Druck p1 zu hoch
< Sollwert - Druck p1 zu hoch, Meldung nach
20V 1,4s
< 90% des Emission war vorher stabil, Druck
Sollwerts p1 zu hoch, Meldung nach 5s
> 110%
des
Sollwerts
Parameter Schnüffler verstopft,
Sniffer Schnüffelventil defekt, Filter
Fluss- verstopft
Warnung
Schnüffler verstopft,
Schnüffelventil defekt (Druck
kleiner als halber eingestellter
Warnwert), Filter verstopft
Schnüffler gebrochen
High Flow-Kapillare der
Schnüffelleitung reinigen oder
austauschen.
Verschmutzten Filter tauschen.
High Flow-Kapillare der
Schnüffelleitung austauschen.
Druck an SL3000XL im Low Flow
zu niedrig.
Druck zu niedrig (p1)
Druck zu niedrig (p1)
0,01 Kalibrierleck oder Maschinenfaktor
falsch eingestellt
109 / 144