INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 22

4 | Beschreibung
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• I/O1000 (Geräteschnittstelle zwischen einem Lecksucher und einer externen
Steuerung)
• BM1000 (Geräteschnittstelle zwischen z. B. der MSB-Box des
Massenspektrometer-Moduls LDS3000 und einer externen Steuerung)
• Wellschlauch, zu beziehen über die Homepage von INFICON unter
"Vakuumkomponenten".
• ISO-KF-Anschlüsse (beispielsweise Einschraubflansch), zu beziehen über die
Homepage von INFICON unter "Vakuumkomponenten".
• ISO-K Zentrierringe und Dichtungen, zu beziehen über die Homepage von
INFICON unter "Vakuumkomponenten".
• DIN-Schienennetzteil 24 V, 10 A von INFICON (Katalog-Nummer 560-324) für die
trockene Vorpumpe von INFICON
• Trockene Vorpumpe von INFICON (Katalog-Nummer 560-630)
Anschluss für Schlauch ID 10 mm
Abb. 5: Vorpumpe von INFICON
Anschluss für Schalldämpfer (optional)
Anschluss Plus (24 V)
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
INFICON
Anschluss Minus