INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 125
Massenspektrometer-modul
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LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Abb. 20: I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen
1
Zustand der Eingangssignale
3
Status der Funktion (aktiv oder
inaktiv)
• I/O module (3): Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen
Betrieb CU1000 (optional) | 11
2
Konfigurierte Funktion (INV =
Funktion ist invertiert)
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