Verwandte Anleitungen für INFICON Modul1000
Inhaltszusammenfassung für INFICON Modul1000
- Seite 1 H A N D B U C H O R I G I N A L B E T R I E B S A N L E I T U N G jinb80d1-i (1309) Katalog-Nr. 550-300A 550-310A 550-330A Ab Softwareversion V1.74 Modul1000 Modulares Dichtheitsprüfgerät...
- Seite 2 Impressum INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln Germany © Copyright 2010 INFICON GmbH, Köln. Dieses Dokument darf nur mit Genehmi- gung der INFICON GmbH, Köln vervielfältigt werden.
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Benutzerhinweise Anwendung dieser Anleitung Warnzeichen und Gefahrensymbole Darstellungskonventionen Begriffserklärungen Wichtige Sicherheitshinweise Bestimmungsgemäßer Gebrauch Anforderungen an den Anwender Anwendungsgrenzen Gefährdungen bei bestimmungsgemäßem Gebrauch Gerätebeschreibung Das Gehäuse Die Schnittstellen Bedienmöglichkeiten 3.3.1 Tischbetrieb 3.3.2 Schaltschrankeinbau 3.3.3 Fernbedienung RC1000 Lieferumfang Zubehör 3.5.1 Schnüffelleitung SL200 3.5.2 Testkammer TC1000 3.5.3... - Seite 4 6.12.7 Hauptmenü Info 6-30 6.12.8 Hauptmenü Benutzerberechtigung 6-31 Wartungsarbeiten Wartung und Service bei INFICON Allgemeine Hinweise zu Wartungen Wartungsplan Wartungsintervalle Beschreibung der Wartungsarbeiten 7.5.1 Öffnen des Gerätes TMH 071 Betriebsmittelspeicher ersetzen Sicherungswechsel 7-10 7.7.1 Übersicht der elektrischen Sicherungen 7-10 7.7.2...
- Seite 5 Entsorgung Technische Daten Gerätedaten 9.1.1 Stromversorgung 9.1.2 Gewicht / Abmessungen 9.1.3 Eigenschaften 9.1.4 Umgebungsbedingungen Steuerung über die SPS Ein- und Ausgänge 9.2.1 SPS Eingänge 9.2.2 SPS Ausgänge Die digitalen Ventilausgänge Analogausgang 9.4.1 Konfiguration des Analogausganges Anschlussbelegungen 9-11 9.5.1 PLC IN / AUDIO 9-11 9.5.2 PLC OUT...
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Seite 7: Benutzerhinweise
Benutzerhinweise Anwendung dieser Anleitung • Bitte lesen Sie dieses Handbuch, bevor Sie das Modul1000 in Betrieb nehmen. • Bewahren Sie das Handbuch so auf, dass Sie es jederzeit zur Hand haben. • Wird das Gerät an Dritte weitergegeben, muss dieses Handbuch beigefügt werden. -
Seite 8: Darstellungskonventionen
Leckratensignal abgezogen wird. Diese Funktion wird während des Kalibriervorganges oder bei Betätigung der Start-Taste aktiviert, sofern das Modul1000 zuvor mindestens 20 Sekunden in der Betriebsart „Standby“ oder „Belüften“ gelaufen ist. Sollte später der zuvor unterdrückte Heliumuntergrund weiter sinken, dann wird der Nullpunkt automatisch angepasst. - Seite 9 Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem. Die Größe des internen Heli- umuntergrundes wird in der Betriebsart Standby gemessen und vom gemessenen Signal abgezogen. (siehe oben: Automatische Nullpunkteinstellung) Kleinste nachweisbare Leckrate Die kleinste nachweisbare Leckrate, die das Modul1000 sicher erfassen kann (5x10 mbar l/s). Menu Das Menu erlaubt es dem Bediener des Modul1000, diesen entsprechend seinen Wünschen zu programmieren.
- Seite 10 Benutzerhinweise...
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Seite 11: Wichtige Sicherheitshinweise
Wichtige Sicherheitshinweise Bestimmungsgemäßer Gebrauch Das Modul1000 ist für die Dichtheitsprüfung im Vakuum vorgesehen. Mit der Schnüf- felversion des Modul1000 (Katalog-Nr. 550-310) lassen sich Lecks am Prüfteil außerdem orten. Das Modul1000 darf nur zur Dichtheitsprüfung mit den Gasen Helium und Wasser- stoff eingesetzt werden. -
Seite 12: Anwendungsgrenzen
Gerät ist für ätzende, giftige und explosive Stoffe ungeeignet. Mit dem Gerät ausschließlich harmlose Stoffe aufspüren. Gefährdungen bei bestimmungsgemäßem Gebrauch Lesen Sie, bevor Sie das Modul1000 installieren, alle Sicherheitshinweise aufmerk- sam durch und vergewissern Sie sich, dass Sie sie richtig verstanden haben. Gefahr Gefahr S TOP Lebensgefahr durch Explosion. - Seite 13 Mit dem Hersteller in Verbindung setzen, wenn ein solcher Einsatz geplant ist. Gefahr S TOP Lebensgefahr durch Implosion. Bauteile, die nicht druckfest sind, können durch Implosion zerbersten. An den Einlassflansch des Modul1000 nur Behälter und Bauteile anschließen, die für Vakuum geeignet sind. Gefahr S TOP Lebensgefahr durch einen starken Permanentmagneten.
- Seite 14 Warnung Warnung Verletzungsgefahr durch rotierende Teile. Modul1000 vor einem Tramsport mindestens 20 Minuten zur Ruhe kommen lassen. Warnung Verletzungsgefahr durch Herunterfallen des Gerätes. Modul1000 nur zu zweit tragen oder eine Hebevorrichtung benutzen. Warnung Schädigung des Rückens durch schweres Gewicht. Modul1000 nur zu zweit tragen oder eine Hebevorrichtung benutzen.
- Seite 15 Wenn anzunehmen ist, dass ein gefahrloser Betrieb nicht mehr möglich ist, so ist das Gerät außer Betrieb zu setzen und gegen unbeabsichtigte Inbetriebnahme zu sichern. In diesem Fall Kontakt mit dem INFICON-Service aufnehmen. Hinweis Dies kann z. B. der Fall sein: •...
- Seite 16 Vorsicht Das Modul1000 kann durch ungeeignete Stoffe unbrauchbar werden. Mit dem Gerät ausschließlich Helium oder Wasserstoff aufspüren. Durch Filter am Einlass des Modul1000 sollte das Eindringen von Schmutz in das Vakuumsystem verhindert werden. Vorsicht Elektronik des Modul1000 kann durch falsche Netzspannung beschädigt werden.
- Seite 17 Ist Flüssigkeit in das Modul1000 eingedrungen, Modul1000 nicht einschalten und Kontakt mit dem INFICON-Service aufnehmen. Vorsicht Das Modul1000 kann zerstört werden, wenn es über Monate oder Jahre unter ungünstigen Verhältnissen (feucht, zu heißt, zu kalt, zu hoch über dem Meeresspiegel) gelagert wurde. (Siehe technische Daten!) Wurde das Modul1000 unter diesen Umständen gelagert, Modul1000 ausgeschal-...
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Seite 18: Gerätebeschreibung
Gerätebeschreibung Das Modul1000 ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät, das zum Einbau in Dichtheits- prüfplätzen konzipiert ist. In einem kompakten Gehäuse befinden sich das Analysesystem mit Turbomoleku- larpumpe sowie die komplette Ansteuerelektronik. Je nach eingestellter Betriebsart, kann das Modul1000 übergeordnete Steuerungsfunktionen einer Dichtheitsprüfan- lage übernehmen. - Seite 19 Öffnungen zur Entriegelung Netzbuchse mit Netzschalter und der Haube Netzsicherungen Griffmulden Anschluss DN25 KF für Status-LED Vorvakuumpumpe bzw. Schnüffelleitung Luftfilter Elektrische Schnittstellen Anschluss DN25 KF für Vorvakuumpumpe Abb. 3-3 Ausschnitt der Unterseite des Modul1000 Pos. Beschreibung Anschluss für Vorvakuumpumpe (Einschraubflansch) Gerätebeschreibung...
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Seite 20: Die Schnittstellen
VALVES an den Kontakten 3 und 14. Bedienmöglichkeiten Bedient werden kann das Modul1000 über die Bedieneinheit für den Tischbetrieb oder die Gerätebedienung für den Einbau in den Schaltschrank. Das Modul1000 verfügt über ein umfangreiches Softwaremenü, über das es bedient und konfiguriert werden kann (siehe Kapitel 9.2). -
Seite 21: Tischbetrieb
3.3.1 Tischbetrieb Die Bedieneinheit lässt sich verrutschsicher auf ebenen Arbeitsflächen aufstellen. Abb. 3-5 Bedieneinheit für den Tischbetrieb Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung LC Anzeige Taste Nr. 5 Taste Nr. 1 Taste Nr. 6 Taste Nr. 2 Taste Nr. 7 Taste Nr. 3 Taste Nr. -
Seite 22: Fernbedienung Rc1000
3.3.3 Fernbedienung RC1000 Die drahtlose Fernbedienung RC1000 erlaubt den Betrieb des HLD5000 aus einer Entfernung von bis zu 100 m. Über die Fernbedienung lassen sich die Funktionen START, STOP/VENT (STOP/Belüften), ZERO (Untergrund) steuern, sie zeigt auf dem Display die gemessene Leckrate als Bargraph, als Zahlenwert oder als Diagramm an (siehe Technisches Handbuch der RC1000). -
Seite 23: Lieferumfang
551-010 - Verlängerungskabel, 8 m, für RC1000C 14022 3.5.1 Schnüffelleitung SL200 Das Modul1000, in der Ausführung als Vakuum- und Schnüffellecksucher, braucht für den Schüffelbetrieb die Schnüffelleitung SL200. 3.5.2 Testkammer TC1000 Die Vakuumkammer TC1000 dient dem integralen Testen von heliumgefüllten Bauteilen. Der Prüfablauf kann individuell im Softwaremenü des Modul1000 konfigu- riert werden und läuft mit dem Schließen der Kammer automatisch ab. -
Seite 24: Satz Anschlussstecker Für Schnittstellen
3.5.3 Satz Anschlussstecker für Schnittstellen Der Steckersatz enthält folgende Stecker: PLC IN / AUDIO, PLC OUT, RECORDER, PRESSURE GAUGE, VALVES ACCESSORIES Gerätebeschreibung... -
Seite 25: Installation
Modul1000 nur zu zweit tragen oder Hebevorrichtung benutzen. Mechanische Installation Das Modul1000 eignet sich zur Montage unterhalb und oberhalb von Tischarbeits- plätzen. Das Dichtheitsprüfgerät darf nur auf einer waagerechten Fläche betrieben werden. Beim Einbau ist auf ausreichende Belüftung zu achten, insbesondere die Lufteintritts- und Luftaustrittsöffnungen an der Vorder- und Rückseite des... -
Seite 26: Elektrische Installation
3-2/9). Vorsicht Stellen Sie das Gerät so auf, dass Sie den Netzstecker immer erreichen können. 4.2.2 Elektrische Schnittstellen Alle elektrischen Schnittstellen des Modul1000 sind übersichtlich in einem Anschlussfeld auf der rechten Geräteseite angeordnet (Siehe Abb. 3-2). Die Anschlüsse: LED gelb, LED grün... - Seite 27 An den Anschluss ACCESSORIES können die Schnüffelleitung SL200 oder die Testkammer TC1000 angeschlossen werden. Externe Druckmessstellen Wird das Modul1000 im Commanderbetrieb eingesetzt, muss eine zusätzliche Druckmessstelle an den Anschluss PRESSURE GAUGE angeschlossen werden. Die Druckmessstelle ist wie folgt mit dem achtpoligen Phoenixstecker "PRESSURE GAUGE"...
- Seite 28 Das Modul1000 kann Messwerte in Form von Strom und Spannung verarbeiten. Im Auslieferungszustand ist Eingang 1 für Strommessung 4... 20 mA konfiguriert, Eingang 2 für Spannungsmessung 0... 10 V. Um die Konfiguration des Einganges der Druckmessstelle zu verändern, muss der entsprechende Jumper auf der Schnittstellenkarte im Inneren des Modul1000 umge- steckt werden.
- Seite 29 Die Steuerung des Modul1000 erfolgt dann über entsprechende Befehlssätze wie in der Schnittstellenbeschreibung beschrieben. Kontakt Signal 24V ist über Jumper XT2 aufschaltbar, max. Stromentnahme 0,3A (Pin 2 und 3 verbunden). Im Auslieferungszustand ist 24V nicht aufgeschaltet (Pin 1 und 2 verbunden).
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Seite 30: Vakuumtechnische Anschlüsse
Vorvakuumpumpe Der Anschluss für die erforderliche Vorvakuumpumpe befindet sich links vorn am Gerät oder an der Unterseite. Alternativ kann bei der Vakuumversion des Modul1000 der Pumpenanschluss auch an der rechten Seite erfolgen. Schrauben Sie den Anschlussflansch mit dem Maulschlüssel SW13 heraus, um ihn umzubauen und entnehmen Sie die Dichtung. - Seite 31 Am Ventilausgang V21 kann ein externes Belüftungsventil angeschlossen werden. Schnüffelleitung Der Anschluss für die Schnüffelleitung ist nur bei der Schnüffelversion des Modul1000 (Katalognummer 550-310) vorhanden. An diesem Anschluss kann die optionale Schnüffelleitung SL200 angeschlossen werden. Der elektrische Anschluss der SL200 erfolgt über die Anschlussbuchse ACCESSORIES.
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Seite 32: Betriebsarten
• Commander, • Auto Leak Test. Bei diesen Betriebsarten kann zusätzlich eine Teilstrompumpe verwendet werden. Bei der Schnüffelversion des Modul1000 gibt es außerdem die Betriebsart: • Schnüffeln. Vakuum Im normalen Vakuumbetrieb wird das Modul1000 als „Stand Alone“ Dichtheitsprüf- gerät betrieben. -
Seite 33: Teilstrombetrieb
Teilstromventil an den Ventilausgang V20 angeschlossen werden. Das erhöhte Saugvermögen beschleunigt Evakuierungsvorgänge und die Signalansprechzeit des Modul1000. Je nach Einstellung kann die Teilstrompumpe über ein externes Teilstromventil wahlweise nur beim Evakuieren oder beim Evakuieren und Messen zugeschaltet werden.... -
Seite 34: Auto Leak Test
Auto Leak Test In der Betriebsart Auto Leak Test können Bauteile, die mit Helium befüllt sind, integ- ral in einer Vakuumkammer geprüft werden. Das Modul1000 übernimmt dabei die gesamte Steuerung des Prüfablaufs. Der Prüfablauf unterteilt sich in die Schritte: Evakuieren der Vakuumkammer, Messen der Leckrate und anschließendes Belüften der Vakuumkammer. -
Seite 35: Commander Betrieb
Untergrundmessung das Vakuumsystem der Anlage drei mal evakuiert und belüftet. Commander Betrieb Ist das Modul1000 in eine Lecksuchanlage integriert, kann es im Commander Betrieb die Steuerung des gesamten integralen Kammerprüfablaufs übernehmen. Alle notwendigen Ventile zur Heliumbefüllung des Prüfobjektes, sowie die notwen- dige Druckmessstelle kann direkt an das Modul1000 angeschlossen werden. -
Seite 36: Aufbau Einer Lecksuchanlage
Aufbau einer Lecksuchanlage Der Aufbau einer Lecksuchanlage mit der Modul1000-Commanderfunktion entspricht im Wesentlichen dem einer herkömmlichen integralen Dichtheitsprüfan- lage. Die Vakuumkammer wird durch das Modul1000 evakuiert, wahlweise auch im Teil- strombetrieb (Abb. 5-1 Teilstrombetrieb). Das in der Vakuumkammer befindliche Prüfteil ist durch die Kammerwände hindurch mit der Heliumbefülleinrichtung... -
Seite 37: Ablauf Des Prüfvorgangs
Enddruck < 50 mbar empfohlen. 5.4.2 Ablauf des Prüfvorgangs Das Prüfteil befindet sich in der mit dem Einlass des Modul1000 verbundenen Vakuumkammer. Der Prüfling ist durch eine geeignete Kupplung mit der Heliumbefülleinrichtung verbunden. Nach dem Auslösen des START Signals beginnt das Modul1000 die Vakuumkammer zu evakuieren. - Seite 38 Wird der vorgegebene Prüflingsdruck p_A_Groblecktest nicht innerhalb der Zeit t_E_Belüftungszeit erreicht, so wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 97 abge- brochen. Im Anschluss wird die Vakuumkammer durch das Modul1000 (und das externe Flutventil V21 (Abb. 5-1), falls angeschlossen) auf Atmosphärendruck belüftet.
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Seite 39: Schnüffelbetrieb
Schnüffelbetrieb Das Modul1000 in der Schnüffelversion kann sowohl als Vakuum- als auch als Schnüffellecksucher verwendet werden. Um es als Schnüffellecksucher einsetzten zu können, muss die optionale Schnüffel- leitung SL200 an den Anschluss „Sniff“ auf der rechten Geräteseite des Modul1000 angeschlossen werden. Im Messbtrieb saugt das Modul dann einen konstanten Gasstrom durch die Schnüffelleitung an. -
Seite 40: Betrieb
Zustand der Emission • Aktive Kathode • Eine Balkenanzeige, die den Hochlauf-Fortschritt anzeigt Nach Beendigung des Hochlaufs befindet sich das Modul1000 im Zustand „Standby“. Status LED Die LED zeigen an, in welchem Betriebszustand sich das Gerät befindet: Betriebszustand LED grün... -
Seite 41: Steuerung
Über die optionale Fernbedienung (siehe Kapitel 3.3.3) lassen sich die Grundfunkti- onen Start, Stop, Vent und Zero ausführen. Außerdem kann die Lautstärke verändert werden. Ist die Anzeige „LOCK“ aktiv, so wurde die Steuerung des Modul1000 über die Fern- bedienung innerhalb des Menüpunktes „Steuerungsort“ gesperrt. RS232 Schnittstelle Über die RS232 Schnittstelle kann ein PC direkt an das Modul1000 angeschlossen... -
Seite 42: Steuerbefehle
Evakuieren LED an: Messbetrieb Mit dem Aktivieren von START beginnt das Modul1000 den angeschlossenen Prüf- ling zu evakuieren. Erreicht der Druck am Einlass des Dichtheitsprüfgeräts einen Druck von < 0,4 mbar, wechselt das Modul1000 automatisch in den Messmodus. ... - Seite 43 Abb. 6-3 Zero-Funktion (Untergrundunterdrückung) MENU Durch Betätigung der Taste MENU wird das Auswahlmenü auf dem Display ange- zeigt. Display-Tasten Die Funktion der acht Tasten links bzw. rechts vom Display hängt von der aktuell ausgewählten Menüebene ab. Die jeweiligen Funktionen sind dann im Display beschrieben.
- Seite 44 Abb. 6-4 Beispiel einer numerischen Eingabe des Trigger Level 1 Um die Triggerschwelle von 1.0x10 mbar l/s auf 3x10 mbar l/s zu ändern, die Taste 2/3 (Taste Nr. 3) betätigen. Es öffnet sich ein Untermenü, in dem der gewünschte Wert 3 (Taste 4) gewählt werden kann. Betrieb...
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Seite 45: Display
Funktionen der acht Tasten links und rechts neben dem Display. Hochlauf Nach dem Einschalten gibt das Modul1000 über das Display verschiedene Statusin- formationen aus. Statuszeile Die Statuszeile am unteren Rand des Displays gibt, nachdem das Modul1000 hoch- gelaufen ist, folgende Geräteinformationen aus. Display- Bedeutung Erläuterung symbole Lautstärke... - Seite 46 Abb. 6-5 Evakuieren Messen Sobald der Druck am Einlass des Modul1000 die eingestellte Druckgrenze unter- schreitet, wechselt Gerät in den Messbetrieb. Abb. 6-6 Messen Betrieb...
- Seite 47 Messwertanzeige Im Messbetrieb kann zwischen zwei verschiedenen Darstellungen zur Messwertan- zeige gewählt werden. • Numerische Anzeige mit großformatigen Zahlen und als Balkenanzeige Abb. 6-7 • Grafische Anzeige als Funktion der Messzeit Abb. 6-8 Die Umschaltung zwischen der numerischen Anzeige und der Grafikanzeige erfolgt mit der Taste 8.
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Seite 48: Kalibrieren Im Vakuumbetrieb
Die CAL-Einschwingzeit vergrößert sich entsprechend dem am Einlass angeschlossenen Volumen. Manuelle interne Kalibrierung Nach Starten der Kalibrierung öffnet das Modul1000 das interne Testleck und pumpt den Einlass ab. Abhängig vom angeschlossenen Volumen verlängert sich die Signaleinschwingzeit des Testlecks.... -
Seite 49: Kalibrieren Im Schnüffelbetrieb
Modul1000. Vor der Kalibrierung muss der entsprechende Wert des Kalibrierlecks, mit dem das Modul1000 kalibriert werden soll, in den Einstellungen des Modul1000 gespeichert werden. Dies kann über die optionale Bedieneinheit oder über die RS232 Schnitt- stelle geschehen. -
Seite 50: Kalibrieren Im Autoleaktest
Kalibrieren im Autoleaktest Es sind 4 Arten der Kalibrierung wählbar: • intern automatisch • intern manuell • extern automatisch • extern manuell Für eine externe Kalibrierung ist ein separates Testleck erforderlich, das an der Kammer angebracht wird. Bei Teilstrombetrieb sollte immer eine externe Kalibrierung durchgeführt werden. Ablauf der Kalibrierung: Testleck manuell öffnen bzw. -
Seite 51: Maschinenfaktor
Dichtheitsprüfgerät erreicht und nachgewiesen wird, gibt das Modul1000 auf der Basis einer internen Kalibrierung zunächst um das Teilstromverhältnis kleinere Messwerte aus. Um dies zu verhindern, kann der Maschinenfaktor im Softwaremenü des Modul1000 hinterlegt werden. Die gemessenen Leckraten werden dann nach einer internen Kalibrierung mit dem Maschinenfaktor multipliziert ausgegeben. -
Seite 52: Menüstruktur
6.11 Menüstruktur Skalierung linear / logarithmisch Anzeigebereich auto / manuell Zeitachse Anzeige Kontrast Untergrund in Standby Untere Anzeigegrenze Betriebsart Trigger level 1 Trigger level 2 Trigger level 3 Trigger & Alarme Lautstärke Einheiten Alarmverzögerung Audio Alarm Type Intern automatisch Intern manuell Kalibrierung Extern automatisch Extern manuell... - Seite 53 Speichern unter “PARA SET 1” Speichern unter “PARA SET 2” Speichern unter “PARA SET 3” Parameter laden / speichern Defaultwerte Laden Lade “PARA SET 1” Lade “PARA SET 2” Lade “PARA SET 3” Einstellungen Kalibrieraufforderung Paging Funktion Verseuchungsschutz Überwachung Druckgrenze für Vakuumbereich Druckgrenze für Schnüffel-Modus Maximale Evakuierungszeit Einstellungen anzeigen...
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Seite 54: Beschreibung Der Menüpunkte
6.12 Beschreibung der Menüpunkte Die Menüpunkte, auf die sich die jeweilige Beschreibung bezieht, sind in fetten Buch- staben gedruckt. Durch Betätigen der Taste MENU wird das Auswahlmenü auf dem Display ange- zeigt. Das Softwaremenü öffnet sich auf der Menüebene, auf der es zuvor verlassen wurde. -
Seite 55: Hauptmenü Betriebsart
Vakuum-Betriebsart wirksam. Die untere Anzeigegrenze wirkt sich sowohl auf die grafische Leckratenausgabe als auch auf die numerische Leckraten- ausgabe aus. Das Modul1000 zeigt keine Leckraten die kleiner als die untere Anzei- gegrenze sind im Display an. - Seite 56 Messoberfläche, noch im Menüpunkt "Lautsprecher" eine kleinere Lautstärke als die Mindestlautstärke eingestellt werden. Beep sound: Durch die Taste "Beep an" bzw. "Beep aus" kann der Beep-Ton des Modul1000 ein- bzw. ausgeschaltet werden. Ist der Beep-Ton eingeschaltet, signa- lisiert das Modul1000 bestimmte Zustandsänderungen durch einen kurzen Signal- ton.
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Seite 57: Hauptmenü Kalibrierung (Cal) Betriebsart Vakuum
Nachdem der Kalibriervorgang gestartet wurde, evakuiert das Modul1000 den Einlassbereich. Sobald der maximale Einlassdruck des Modul1000 erreicht ist, zeigt das Modul1000 ein zunächst noch schwankendes Messsignal in Form einer Balkenanzeige an. Nach einer, von dem mit dem Einlass verbundenen Volumen abhängigen Zeit, stabilisiert sich diese Anzeige. - Seite 58 Nur bei der externen manuellen Kalibrierung fordert das Modul1000 Sie auf das externe Testleck zu schließen. Sobald das externe Testleck geschlossen wurde, muss dies durch Drücken der Taste OK bestätigt werden. Bei der manuellen internen Kalibrierung ist keine Aktion erforderlich.
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Seite 59: Hauptmenü Einstellungen
Einlass des Gerätes belüftet. Wie lange die Taste Stop/Vent gedrückt gehalten werden muss, damit der Einlass des Modul1000 belüftet wird, hängt von der im Menü "Verzögerung Belüftung" einge- stellten Zeitdauer ab. Es kann eine Zeitdauer entsprechen der Tastenbeschriftung gewählt werden, "keine Belüftung", oder "sofort". - Seite 60 Teilenummer Im Softwaremenü Teilenummern kann der Teilezähler aktiviert werden und ein Start- wert bestimmt werden, von dem aus nach jedem Prüfzyklus hochgezählt wird. Referenzmessung In diesem Softwaremenüpunkt kann eine Referenzmessung gestartet werden. Hauptmenü Einstellungen Vakuumeinstellungen Commander Funktionen Im Softwaremenüpunkt „Commander Funktionen“...
- Seite 61 Einstellungen Vakuumeinstellungen Maschinenfaktor Der Maschinenfaktor berücksichtigt nach dem internen Kalibrieren das Verhältnis zwischen dem effektiven Saugvermögen des Modul1000 und dem des Anlagen- pumpstandes im Messbetrieb. Der Maschinenfaktor berücksichtigt die Tatsache, dass ein paralleles externes Pumpsystem verwendet wird. Auf der Basis einer internen Kalibrierung wären in einem solchen Fall alle gemesse- nen Leckraten zu klein.
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Seite 62: Hauptmenü Einstellungen Zero & Untergrund
Im Softwaremenü "Masse" kann das zur Lecksuche verwendete Spürgas verändert werden. Zur Auswahl stehen (Wasserstoff) He (Helium) He (Heliumisotop mit Masse 3) 6.12.6.4 Hauptmenü Einstellungen Schnittstellen Im Softwaremenü "Schnittstellen" können die elektrischen Schnittstellen des Modul1000 konfiguriert werden. 6-23 Betrieb... - Seite 63 Alle Steuerungsübergänge SPS, RS232 und Lokal. Lokal und SPS Das Modul1000 wird sowohl über die START-, STOP- und ZERO-Tasten am Gerät als auch über die Digitaleingänge gesteuert. Lokal und RS232 Das Modul wird sowohl über die START-, STOP- und ZERO-Tasten am Gerät als auch über die RS232-Schnittstelle gesteuert.
- Seite 64 Hauptmenü Einstellungen Schnittstellen Externes Druckmessgerät Im Commander Betrieb muss das Modul1000 mit einer externen Druckmessstelle verbunden werden. Im Softwaremenü "Externes Druckmessgerät" ist die Kennlinie und der Nullpunkt sowie Vollausschlag des verwendeten Druckmessgerätes einzu- geben. Kennlinie: Die Kennlinien-Charakteristik kann eingegeben werden: Strom linear, Spannung linear, Strom logarithmisch, Spannung loga- rithmisch.
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Seite 65: Hauptmenü Einstellungen Diverses
Die voreingestellte Sprache ist Englisch. Sollte versehentlich eine falsche Sprache eingestellt worden sein, so kann im Hochlauf des Modul1000 nach dem Einschalten durch gleichzeitiges Drücken der Tasten 2 und 6 auf die Sprache "englisch" umgeschaltet werden. Eine Speicherung der Einstellung erfolgt nicht automatisch, sondern muss über diesen Menüpunkt vorgenommen werden.. - Seite 66 Der verwendete Algorithmus bietet eine ausgezeichnete Empfindlichkeit und Reak- tionszeit; die Nutzung dieser Einstellung wird ausdrücklich empfohlen. Der Filtertyp Fixed verwendet eine feste Mittelungszeit von 0,2 Sekunden. Teilenummer In diesem Menü lässt sich die Funktion einer automatischen Zählung von zu prüfen- den Teilen einstellen.
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Seite 67: Hauptmenü Einstellungen Parameter Laden/Speichern
Warnung Wird die Wartungsmeldung ignoriert und ein verschmutzter Luftfilter nicht ersetzt, dann besteht die Gefahr, dass sich das Modul1000 überhitzt. 6.12.6.6 Hauptmenü Einstellungen Parameter laden/Speichern Speichern unter “PARA SET 1” Speichern unter “PARA SET 2” ... -
Seite 68: Hauptmenü Einstellungen Überwachung
Die Werkseinstellung ist „Aus“. Wenn die Aufforderung zur Kalibrierung eingeschaltet ist, erfolgt eine entsprechende Meldung 30 Minuten nach dem Einschalten oder wenn sich die Temperatur im Modul1000 seit der letzten Kalibrierung um mehr als 5 °C verändert hat. Paging Funktion... -
Seite 69: Hauptmenü Info
Dieser Menüpunkt geht über mehrere Seiten und zeigt Ihnen alle internen Daten an. Vakuumschema Das Vakuumschema des Modul1000 wird angezeigt. Aus diesem Diagramm ist unter anderem ersichtlich, welche Ventile zur Zeit geöffnet bzw. geschlossen sind. Bei Teilstrombetrieb und der Benutzung der Commander-Funktionen werden die entsprechenden Vakuumschemata auf weiteren Menüseiten dargestellt. -
Seite 70: Hauptmenü Benutzerberechtigung
Geräte-PIN ändern Der Zugriff auf das Modul1000 kann durch die Eingabe oder Änderung der Geräte PIN beschränkt werden. Ist die Geräte PIN von 0000 verschieden, fragt das Modul1000 nach dieser PIN sofort nach dem Einschalten. Ohne die Eingabe der Geräte PIN ist das Modul1000 nicht nutzbar. -
Seite 71: Wartungsarbeiten
Wartungsarbeiten Das Modul1000 ist ein speziell für den industriellen Einsatz konzipiertes und konst- ruiertes Messgerät. Die verwendeten Bauteile und Baugruppen entsprechen höchs- ten Qualitätsstandards und sind weitestgehend wartungsarm. Zur Wahrung der Gewährleistungsansprüche für das Modul1000 ist es jedoch erfor- derlich, die nachstehend aufgeführten Wartungsintervalle einzuhalten. - Seite 72 Dient der Wartung der Turbomolekularpumpe TMH 071. Das Erreichen eines der vorstehenden Wartungsintervalle wird auf der Bedieneinheit vom Modul1000 nach jedem Einschalten als Warnung angezeigt. Die Meldung wird solange generiert, bis das Wartungsintervall quittiert wurde. Der Wartungszähler 2 ist nur für die Quittierung der Servicestufen II und III im Servicemenü freigegeben.
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Seite 73: Wartungsplan
Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden • Wartungsarbeiten durchführen nach Zeitdauer • von Umwelt und Einsatz abhängig • Prozessabhängig Wartungsintervalle Der Wartungsplan für das Modul1000 lässt sich zur einfacheren Übersicht in drei Wartungsgruppen untergliedern. • 1500 Std.-Wartung • 5000 Std.-Wartung • 2 Jahres Wartung 1500 Std.-Wartung... - Seite 74 Ersatzfilter für Lüfter 200001552 5000 Std.-Wartung Die 5000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer von INFICON autorisierten Person durchgeführt werden. Alle 5000 Betriebstunden müssen die Ventilantriebe überprüft, gereinigt und die Ventildichtungen bzw. Ventilkappen erneuert werden. Das Flutfilter ist je nach Einsatz nach 5000 zu überprüfen, jedoch spätestens nach 15000 Betriebstunden...
- Seite 75 Betriebsmittelspeicher TMH 071 Die 2-jährige Wartung des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe TMH 071 sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer von INFICON autorisier- ten Person durchgeführt werden. Kunden die ein entsprechende Einweisung von einer autorisierten Person erhalten haben, können diese Wartung in Eigenverant- wortung durchführen.
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Seite 76: Beschreibung Der Wartungsarbeiten
Beschreibung der Wartungsarbeiten Veränderungen am Modul1000 die über den normalen Umfang der Wartungsmaß- nahmen hinausgehen, dürfen nur durch geschultes Fachpersonal ausgeführt werden. Für die in diesem Kapitel beschriebenen Wartungsarbeiten ist das Entfernen der Gerätehaube nicht erforderlich. Der Austausch einer Sicherung erfordert jedoch das Öffnen des Gerätes. -
Seite 77: Tmh 071 Betriebsmittelspeicher Ersetzen
Massenspektrometer und Turbopumpe vollständig geflutet sind. Nur im gefluteten Zustand lässt sich der Verschlussdeckel zum Betriebsmittelspeicher öffnen. Zum Fluten der TMH 071 Vorvakuumanschluss zum Modul1000 auftrennen und Gerät für ca. 10 bis 25s einschalten. Nach ca. 10 s öffnet Ventil V2 und Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe werden angeflutet. - Seite 78 Abb. 7-3 Verschlussdeckel Betriebsmittelspeicher Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Vorvakuumanschluss Verschlussdeckel Betriebsmittel-spei- cher TMH 071 Eingriff Spezialwerkzeug Revisionsschacht Mit Spezialwerkzeug (Stirnlochschlüssel) Verschlussdeckel an der Unterseite der TMH 071 herausschrauben. Nachdem der Verschlussdeckel entfernt wurde, ist der Betriebsmittelspeicher zugänglich. Mit Schraubenzieher den Betriebsmittelspeicher heraushebeln und den örtlichen Vorschriften entsprechend entsorgen.
- Seite 79 Abb. 7-4 Betriebsmittelspeicher ersetzen Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Betriebsmittelspeicher O-Ring Wartungsarbeiten...
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Seite 80: Sicherungswechsel
Sicherungswechsel 7.7.1 Übersicht der elektrischen Sicherungen Netzschalter Gehäusechassis: Bezeichnung Techn. Daten Absicherung für Netzschalter 2x T 6,3 A Netzgerätesicherung (2-phasig AUS) Verdrahtungsebene: Bezeichnung Techn. Daten Absicherung für T 6,3 A Spannungsversorgung TC 600 T 0,8 A Ventilatoren Netzteil ZWS240PAF-24/TA: Bezeichnung Techn. -
Seite 81: Netzsicherung Austauschen
7.7.2 Netzsicherung austauschen Gefahr S TOP Lebensgefahr durch Stromschlag. Vor dem Sicherungswechsel den Netzstecker des Modul1000 ziehen. Nur Sicherungen mit den angegebenen Werten in das Modul1000 einbauen. Benötigtes Werkzeug • Schraubendreher Gr.1 Benötigtes Material • Schmelzsicherung 2 x T 6,3 A Die Hauptsicherungen des Modul1000 sind im Netzschalter des Gerätes unterge-... -
Seite 82: Sicherungen Schnittstellenkarte Tauschen
Sicherungssatz komplett Bestellnr.: 200 000 641 Der Zugang zu den Sicherungen ist nur möglich wenn die Gerätehaube vom Modul1000 entfernt wurde. Folgen Sie hierzu den Anweisungen in 7.5.1 Öffnen des Gerätes. Hinweis Bitte beachten Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise in diesem Kapitel. -
Seite 83: Parameterspeicher (I•Stick) Austauschen
Schraubenzieher Gr.1 Benötigtes Material • I•STICK Der Zugang zu dem I•STICK ist nur möglich wenn die Gerätehaube vom Modul1000 entfernt wurde. Folgen Sie hierzu den Anweisungen in 7.5.1 Öffnen des Gerätes. Hinweis Bitte beachten Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise in diesem Kapitel. -
Seite 84: Flutfilter Austauschen
Benötigtes Material • Ersatzfilter (2 Stck.) Bestellnr.: 200 000 683 Der Zugang zum Flutfilter ist nur möglich wenn die Gerätehaube vom Modul1000 entfernt wurde. Folgen Sie hierzu den Anweisungen in 7.5.1 Öffnen des Gerätes. Hinweis Bitte beachten Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise in diesem Kapitel. -
Seite 85: Transport Und Entsorgung
Das Modul1000 immer in der Original-Verpackung transportieren. Transport nach Kontamination Falls Sie ein Gerät an INFICON oder eine autorisierte INFICON Vertretung zurück- schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstof- fen ist oder kontaminiert ist. Bei kontaminierten Geräten geben Sie bitte auch die Art der Gefährdung an. -
Seite 86: Technische Daten
Lärmpegel dB (A) 0,5 m Abstand < 56 Audioalarm in dB (A) Kontaminationswert (nach IEC 60664-1) Überspannungsklasse (nach IEC 60664-1) Netzleitung 9.1.3 Eigenschaften Max. Einlassdruck (Modul1000) 0,4 mbar Max. Einlassdruck (Modul1000b) 3,0 mbar Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate im Vakuummodus (ULTRA) < 5×10 mbar l/s Untere Nachweisgrenze im Schnüffelmodus... -
Seite 87: Umgebungsbedingungen
9.1.4 Umgebungsbedingungen Für die Benutzung in Räumen Zulässige Umgebungstemperatur (bei Betrieb) +10° C … +40° C 50° F … 104° F Zulässige Lagertemperatur 0° C … +60° C 32° F … 140° F 80% bei 31° C / 88° F, Maximale relative Feuchte linear fallend bis... -
Seite 88: Steuerung Über Die Sps Ein- Und Ausgänge
9.2.1 SPS Eingänge Vorsicht Die Elektronik des Modul1000 kann bei zu hoher Eingangsspannung zerstört werden. Die Eingangsspannung darf nur maximal 30V DC betragen. Die 14-polige Phönix-Anschlussbuchse befindet sich auf der Geräterückseite und ist mit PLC In / Audio beschriftet. Die Pinbelegung der Anschlussbuchse kann frei... - Seite 89 ZERO Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH: ZERO einschalten. Wechsel HIGH nach LOW: ZERO ausschalten. START / STOP Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH: START ausführen. Wechsel nach LOW: STOP ausführen. START Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH: START ausführen STOP Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH: STOP ausführen.
- Seite 90 Wechsel HIGH nach LOW: Bei externer Kalibrierung: Bestätigung, dass externes Testleck geschlossen ist und das Leckraten-Signal stabil ist. CAL INT Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH: Internes, automatisches Kalibrieren starten. CAL EXT Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH: Externes, manuelles Kalibrieren starten. CYCLE (flankengesteuerter START / STOP-Eingang) Zustandsgesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH: Im Zustand Standby wird START und im Zustand...
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Seite 91: Sps Ausgänge
9.2.2 SPS Ausgänge Die 16-polige Phönix-Anschlussbuchse befindet sich auf der Geräterückseite und ist mit PLC Out beschriftet. Die Pinbelegung der Anschlussbuchse kann frei konfiguriert werden. Hinweis Relaisausgänge (Kontakt 3-12): Max. Belastung 60V DC / 25V AC / 1A ohmsche Last, für bis zu 500000 Schaltvorgänge. Halbleiter-Relaisausgänge (Kontakt 13, 14): max. - Seite 92 STANDBY Geschlossen, wenn sich das Gerät sich im Zustand STANDBY befindet. MEASURE Geschlossen, wenn sich das Gerät im Messbetrieb befindet. VENTED Geschlossen, wenn der Einlass belüftet ist. ERROR Geschlossen, wenn kein Fehler vorliegt. Offen, wenn ein Fehler vorliegt. WARNING Geschlossen, wenn keine Warnung vorliegt. Offen, wenn eine Warnung vorliegt.
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Seite 93: Die Digitalen Ventilausgänge
Gleichspannungsversorgung anschließen. Diese muss eine sichere Trennung vom Netz haben und darf maximal 30V betragen. Die 24V-Versorgung des Modul1000 kann zur Speisung der Ventile genutzt werden.Die Ventilschalter schalten zu der an Kontakt 3 angelegten 24V-Versorgung. Jeder Ventilschalter darf maximal mit 0,2A belastet werden. -
Seite 94: Analogausgang
Hinweis Die Schreiberausgänge sind gegenüber den anderen Anschlüssen elektrisch isoliert. Falls dennoch Brummstörungen auftreten sollten, empfiehlt es sich, das Modul1000 und den Schreiber an der gleichen Netzphase zu betreiben. Sollte dies nicht möglich sein, gilt es sicherzustellen, dass die Massen beider Geräte auf dem gleichen Potential liegen. - Seite 95 Abb. 9-1 TPR-Kennlinie (P1, P2; Rekorder-Ausgang) p1 (Einlassdruck) / p2 (Vorvakuumdruck) UL200 Der Einlassdruck p1 oder der Vorvakuumdruck p2 wird ausgegeben. Diese Bele- gung entspricht dem logarithmischen Schreiberausgang des Lecksuchers UL200. Druck logarithmisch: U = 1 bis 10 V; 0,5 V/Dekade beginnend mit 1 V = 1·10 mbar / 1·10 LR lin...
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Seite 96: Anschlussbelegungen
LR exponent Der Leckraten-Exponent wird als Stufenfunktion ausgegeben: U = 1 … 10 V in Schritten von 0,5 V pro Dekade beginnend bei 1 V = 1×10 -(11-E) LR=10(V-E)*10 LR log. H. LR = Leckrate V = Ausgansspannung E = Ausgangsspannung auf ganzzahlig abgerundet (1V, 2V, 3V, 4V, ...) Spannungen zwischen 1V bis 1.1V, 2V bis 2.1V, 3V bis 3.1V usw. - Seite 97 Pos. Beschreibung Externer, aktiver Lautsprecher +24V +24V GND 24V SPG GND AUDIO OUT GND 24V Abb. 9-3 Externe Beschaltung, z.B. SPS mit interner Spannungsversorgung 9-12 Technische Daten...
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Seite 98: Plc Out
9.5.2 PLC OUT +24V n.c. Abb. 9-4 PLC Out PIN 3 - 12: Relaiskontakte, max. 60V DC / 25V AC / 1A PIN 13, 14: Halbleiterrelais, max. 30V DC / 1A 9-13 Technische Daten... -
Seite 99: Pressure Gauge
4 … 20mA Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Abb. 9-5 Interne Versorgung +24V Pos. Beschreibung Drucksensoren Modul1000 +24V, 0.8 A GND 24V 4 … 20 mA Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Abb. 9-6 Externe Versorgung 24V mit gemeinsamem GND Pos. - Seite 100 +24V, 0.8 A 4 … 20 mA GND 24V Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Abb. 9-7 Externe Sensorversorgung 24V mit getrennter Masseführung Die Spannungsdifferenz zwischen Pin 2 und den Pins 4 und 5 beträgt maximal ±4 V. Anschluss von Sensor mit 0 …...
- Seite 101 +24V, 0.8 A GND 24V Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Abb. 9-9 Anschluss mit getrennter Masseführung Die Spannungsdifferenz zwischen PIN 2 und PIN 4 / 6 darf maximal ±4V betragen. 9-16 Technische Daten...
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Seite 102: Valves
9.5.4 Valves Interne Versorgung +24V +24V Abb. 9-10 Anschlussbeispiel Pos. Beschreibung Ventile I max < 0,2 A, maximal 8 Stück Ventile I max < 1A 9-17 Technische Daten... - Seite 103 Externe Versorgung +24V +24V Abb. 9-11 Anschlussbeispiel Pos. Beschreibung Ventile I max < 0,2 A, maximal 8 Stück Ventile I max < 1A 9-18 Technische Daten...
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Seite 104: Recorder
9.5.5 Recorder Analog Out1 Analog Out2 Abb. 9-12 Lastwiderstand >10k Genauigkeit des Analogausgangs: Endwert: 10V: 1,2% vom Endwert Offset ±1% vom Endwert. 9-19 Technische Daten... -
Seite 105: Einbauzeichnung Der Bedieneinheit Zum Rackeinbau
Einbauzeichnung der Bedieneinheit zum Rackeinbau Abb. 9-13 Ausschnitt der Schalttafel zum Einbau der Bedieneinheit 9-20 Technische Daten... -
Seite 106: Commander Betrieb
= 1100mbar Err92 t1 > t_A_Abpumpzeit p_E_Druckabfallschw.= 1800mbar Diverses: Pext < p_B_Abpumpdruck: t1, t2: Interne Timer V30 schließen, p1: Einlassdruckdruck Modul1000 pext: Druck im Prüfling Warte auf Testkammer oder Prüfling ULTRA ist leck t2 > t_F_Messbereitschaft Err94 ULTRA: V33 öffnen, starte t1... -
Seite 107: Ce-Zertifikat
CE-Zertifikat 9-22 Technische Daten... -
Seite 108: Fehlermeldungen Und Warnungen
TMP inkl. TC 600 austauschen. INFICON Service verständigen. Netzteilausgangsspannung vom TC 600 zu niedrig. TMP Netzteil defekt 24 V Netzteil Modul1000 Ausgangspannung kontrollieren TMP inkl. TC 600 austauschen. Drehzahl der TMP ist nach Ablauf der Anlaufzeit von 15 min. unter dem Drehzahlwert von <1200Hz... - Seite 109 EEPROM Schreibbefehl Fehler auf Querverdrahtungsebene MC 68 defekt. Softwareproblem. Überlauf der EEPROM- Parameter Warteschlange Bitte INFICON Service kontaktieren! Spannungsüberwachungseingang AD24 A/B > 11,5 V. Externe Versorgung (24 V) zu Fremdeinspeisung auf einer der 24 V Ausgänge der Anschluss-stecker hoch Schnittstellenkarte.
- Seite 110 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung Signal MVPZN auf der MSV Platine ist aktiv. 24 V Spannung auf MSV-Karte ist zu niedrig, U < 18,3 V. Sicherung F1 auf der MSV Karte ist durchgebrannt. 24 V Spannung auf MSV-Karte Referenzspannung UREF auf der MSV Platine XT7/1 ist zu hoch, U > 5 V. ist zu niedrig! DC/DC Wandler MSV Karte defekt 24 V Stromversorgungsspannung vom Hauptnetzteil zu stark belastet oder...
- Seite 111 MSV Karte defekt Fehlerhafter Ionenquellenstecker oder Kabel. Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode 1 kann nicht eingeschaltet werden. Das Modul1000 schaltet auf Katode 2. Neue Ionenquelle bestellen. Emission der Kathode 1 kann Katode 1 defekt nicht eingeschaltet werden.
- Seite 112 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung Die Umgebungstemperatur ist zu hoch. Ungünstige Platzierung Dichtheitsprüfgerät. (Wärmestau) Temperatur an der Elektronikbaugruppe ist zu Lüfter ausgefallen. hoch! (60°C) Luftfilter stark verschmutzt. Temperatursensor defekt. Der Temperatursensor auf der Verdrahtungsebene zeigt an, dass T < 2 °C. Temperatur an der Längere Hochlaufzeit der ext.
- Seite 113 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung Vorverstärkersignal hat im unempfindlichsten Messbereich 10 V für 10 s überschritten. Massive Verseuchung des Hochvakuumsystem mit Helium. W64 Vorverstärkersignal ist zu groß. Vorverstärker defekt Grobe Verunreinigung im Massenspektrometer. TMP Frequenz von Solldrehzahl abgefallen im Schnüffelbetrieb. Schnüffler nicht angeschlossen.
- Seite 114 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung Die Verstärker-Spannungsdifferenz zwischen offenem und geschlossenem Testleck ist 2 x 10E-14 A. Signaldifferenz zwischen offenem und geschlossenem Internes Testleck defekt Testleck ist zu klein. Das externe Testleckventil ist defekt oder nicht geschlossen. Die vom Testleck erzeugte Vorverstärkerspannung ist 2 x 10E-14 A. Das für die Kalibrierung verwendete Testleck ist zu klein.
- Seite 115 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung I•STICK auf Verdrahtungsebene ist leer und wurde mit Defaultwerten initialisiert. Alle Kundenparameter müssen erneut eingegeben bzw. bestimmt werden. Alle I•STICK Parameter I•STICK nicht angeschlossen. verloren! Bitte überprüfen Sie Ihre Einstellungen. I•STICK enthält keine Werte. I•STICK ist defekt! Fehlender oder geänderter Parameter im I•STICK und neue Softwareversionsnummer festgestellt.
- Seite 116 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung Zeit t1 > als die Testgas Entspannzeit t_D. Testgas Pumpsystem defekt. Testgas ablassen dauert zu Ventil V32 öffnet nicht. lange Zeit t_D zum Erreichen des Entspanndruckes p_D zu kurz gewählt. Entspanndruck p_D falsch gewählt. Entspanndruck p_D > eingestelltem Endruckwert nach Ablauf der Entspannzeit t_D.
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Seite 117: Bestellinformation
Bestellinformation Beschreibung Kat. Nr. Bedieneinheit Tischbetrieb 551-100 Bedieneinheit Rackeinbau 551-101 Anschlussleitung zur Bedieneinheit, 1 m 551-103 Anschlussleitung zur Bedieneinheit, 5 m 551-102 Schnüffelleitung SL200 140 05 Fernbedienung: – Fernbedienung RC1000WL, drahtlos 551-015 – Fernbedienung RC1000C, drahtgebunden 551-010 – Funktransmitter 551-020 (zum Betrieb eines weiteren Dichtheitsprüfgerätes) Testkammer TC1000... -
Seite 118: Servicezentren Weltweit
Fax: +55 114 154 4888 Castelnuovo Fax: +39 045 6 40 24 21 Bulgarien leakdetection.service@inficon.com Japan reach.japan@inficon.com INFICON GmbH Tel.: +49 221 56788-112 INFICON Co. Ltd. Tel.: +81.45.471.3396 Cologne Fax: +49 221 56788-9112 Yokohama Fax: +81.45.471.3387 China reach.china@inficon.com Kanada reachus@vpcinc.ca INFICON LTD Tel.: +852.2862.8863... - Seite 119 Fax: +45 744 336 46 Köln Fax: +49 221 56788-9112 Polen kamola@vakpol.com Taiwan reach.taiwan@inficon.com VAK-POL & GAZ Sp. z Tel.: +48 602 315 212 INFICON Company Limited Tel.: +886.3.5525.828 Pulawy Fax: +48 602 315 212 Chupei City, HsinChu Hsien Fax: +886.3.5525.829 Portugal leakdetection.service@inficon.com Tschechien filip.lisec@inficon.com...
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Seite 120: Stichwortverzeichnis
Stichwortverzeichnis Vorpumpe siehe Pumpe Druckmessgerät 6-25 • externes Druckmessstelle • extern Abmessung Accessories 6-16 Alarme 6-17 Einheiten 6-17 Alarmverzögerung Einschwingzeit 6-27 Analogausgang • CAL 9-11 6-23 Anschlussbelegungen Einstellungen 6-30 • anzeigen 6-15 Anzeige 6-26 • Diverses 6-24 ASCII Evakuieren 6-16 6-20 Auto Leak Test 6-30... - Seite 121 Nullpunkteinstellung • automatische 6-29 Kalibrieraufforderung 6-30 Kalibrier-Faktor Kalibrierung Öffnen 6-10 • extern • Gerät 6-10 – manuell – Werkzeug 6-19 • extern automatisch 6-19 • extern manuell • intern Parameter Kontaminationserklärung 6-27 • laden/speichern 6-16 Kontrast 6-31 6-17 Pinpoint 6-16 Lautsprecher 9-11 •...
- Seite 122 6-31 Serviceliste VENT 6-18 Setpoint Ventile • Versorgung 7-10 Sicherungen 9-18 – extern 9-17 Speichern – intern 6-27 • Parameter 6-29 Verseuchungsschutz 6-26 Sprache Vorvakuum SPS Ausgänge • Siehe Vorvakuumpumpe 6-25 • definieren Vorvakuumdruck SPS Eingänge Vorvakuumpumpe 6-25 6-26 • definieren –...
- Seite 123 11-7 Stichwortverzeichnis...
- Seite 124 .c o m Due to our continuing pr ogram of produc t impr oveme nts, specifi catio ns are subject to chan ge wit hout notic e. All trademarks are the property of their respective owners. jinb80d1-h ©2013 INFICON...
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