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INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 5

Massenspektrometer-modul
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Inhaltsverzeichnis

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INFICON
7.21 Einstellungen zurücksetzen .................................................................................................................... 69
8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) ............................................................................................................. 71
8.1 Gerät einschalten.................................................................................................................................... 71
8.2 Voreinstellungen ..................................................................................................................................... 71
8.3 Einheit für die Leckrate wählen............................................................................................................... 72
8.4 Einheit für den Druck wählen.................................................................................................................. 73
8.5 Kompatibilitätsmodus wählen ................................................................................................................. 73
8.6 Basiseinstellungen über Assistent vornehmen ....................................................................................... 75
8.7 Peak bestimmen ..................................................................................................................................... 76
8.8 Leckrate von Prüflecks hinterlegen......................................................................................................... 77
8.9 Gerät kalibrieren ..................................................................................................................................... 78
8.9.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen...................................................................................  78
8.9.2 Kalibrierfaktor eingeben ..............................................................................................................  79
8.9.3 Kalibrierfaktor Vakuum................................................................................................................  79
8.9.4 Kalibrieren...................................................................................................................................  80
8.10 ZERO ausführen..................................................................................................................................... 82
8.11 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen ............................................................................................. 83
8.11.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen....................................................................  83
8.12 Messung durchführen ............................................................................................................................. 84
8.13 Parameter speichern und laden.............................................................................................................. 85
8.14 Messdaten kopieren, Messdaten löschen .............................................................................................. 85
8.15 "Zerozeit Faktor AQ" anpassen .............................................................................................................. 86
8.16 Anzeigegrenzen wählen ......................................................................................................................... 86
8.17 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen ...................................................................................... 86
8.18 Kathode auswählen ................................................................................................................................ 87
8.19 Einstellungen zurücksetzen .................................................................................................................... 87
9 Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) ................................................................................... 89
9.1 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen ............................................................................................... 89
9.2 Einstellungen für das I/O-Modul IO1000................................................................................................. 89
9.2.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen .....................................................................................  89
9.2.2 Ein- und Ausgänge belegen........................................................................................................  90
9.2.2.1
Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen........................................................................ 98
9.2.2.2
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen..................................................................... 100
9.3 Einstellungen für das Busmodul BM1000............................................................................................. 102
10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) .............................................................................. 103
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
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Diese Anleitung auch für:

Lds3000 aq

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