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MSM+ HB
An der Seite des Gerätes befinden sich zwei Hebel zum Anpassen der Vergrößerung. Mit Hilfe dieser beiden
Hebel kann man entweder das Vergrößerungsobjektiv oder das Justageobjektiv in den Strahlweg einbringen.
Das Vergrößerungsobjektiv kann bildseitig, direkt hinter einem Filterrad, in den Strahlengang eingefügt wer-
den, indem beide Hebel in die obere Position gebracht werden.
Das Justageobjektiv kann ebenfalls bildseitig in den Strahlengang eingefügt werden, indem beide Hebel in
die untere Position gebracht werden.
Das Justageobjektiv kann die Strahlsuche vereinfachen, da der Messbereich (in x, y) vergrößert wird. Für
die eigentliche Messung sollte das Justageobjektiv im Normalfall wieder entfernt werden, da die Positionier-
genauigkeit absinken kann.
4.3
Messprinzip
Im Messobjektiv sind mehrere Strahlteiler integriert, so dass 99,9 % der Laserleistung zu entsprechend di-
mensionierten Absorbern geleitet werden. Der Laserstrahl wird durch weitere optische Elemente im Gerät so
abgeschwächt, dass er auf den CCD-Sensor geleitet werden kann.
Laserstrahl
Oberes Limit
Messebenen
Unteres Limit
Messobjektiv
Absorber
Prismen
Fester OD-Filter
Spiegel
Justageobjektiv (JO)
CCD-Sensor
Absorber
Trigger
Filterrad
Vergrößerungsobjektiv
(VO)
Abb. 4.5:
Schematische Darstellung des optomechanischen Aufbaus
Revision 00 DE - 02/2022
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