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primes MicroSpotMonitor MSM Originalbetriebsanleitung
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primes MicroSpotMonitor MSM Originalbetriebsanleitung

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Originalbetriebsanleitung
MicroSpotMonitor MSM
LaserDiagnosticsSoftware LDS 2.98
Revision 01/2019 DE

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Verwandte Anleitungen für primes MicroSpotMonitor MSM

Inhaltszusammenfassung für primes MicroSpotMonitor MSM

  • Seite 1 Originalbetriebsanleitung MicroSpotMonitor MSM LaserDiagnosticsSoftware LDS 2.98 Revision 01/2019 DE...
  • Seite 3 MicroSpotMonitor MSM WICHTIG! VOR DEM GEBRAUCH SORGFÄLTIG LESEN! ZUR SPÄTEREN VERWENDUNG AUFBEWAHREN! Revision 01/2019 DE...

  • Seite 4: Inhaltsverzeichnis

    Kurzübersicht Installation ......................15 Transport Transportsicherung demontieren .....................16 Transportsicherung montieren ....................17 Montage Vorbereitung und Einbaulage ....................17 MicroSpotMonitor MSM manuell ausrichten ................18 7.2.1 Wichtige Bedingungen zur Position des fokussierten Laserstrahls ......18 7.2.2 Positionierung des fokussierten Laserstrahls über dem Messobjektiv ......19 7.2.3 Positionierung des fokussierten Laserstrahls über dem optionalen Zyklon ....20 MicroSpotMonitor MSM montieren ..................21...
  • Seite 5 MicroSpotMonitor MSM Beschreibung der LaserDiagnosticsSoftware LDS 12.1 Grafische Benutzeroberfläche ....................34 12.1.1 Die Menüleiste ......................36 12.1.2 Die Werkzeugleiste ....................37 12.1.3 Menü-Übersicht ......................38 12.2 Datei ............................41 12.2.1 Neu (Menü Datei > Neu) ...................41 12.2.2 Öffnen (Menü Datei > Öffnen) ..................41 12.2.3 Schließen/Alle Dateien Schließen (Menü Datei > Schließen/ Alle Dateien Schließen) ...................41...
  • Seite 6 13.5.8 Einzelmessung (Menü Messung > Einzelmessung) ..........102 13.5.9 Kaustikmessung (Menü Messung > Kaustik) ............104 Fehleranalyse 14.1 Fehler während einer Messung ....................108 14.2 Kein Messsignal am MicroSpotMonitor MSM ................108 Wartung und Inspektion 15.1 Schutzglas wechseln ......................109 15.1.1 Sicherheitshinweise ....................109 15.1.2 Schutzglas wechseln ....................110 15.1.3...
  • Seite 7 MicroSpotMonitor MSM Abmessungen Anhang 21.1 Festen OD-Filter (Option) in den Revisionsschacht einsetzen ..........117 21.2 Datei „laserds.ini“ – ein Beispiel .....................118 21.3 Beschreibung des MDF-Dateiformats ..................119 21.4 Optische Komponenten ......................120 21.4.1 Messobjektiv ......................121 21.4.2 Fester Filter und Filterrad ..................126 21.4.3 Strahlwegverlängerung (SWV) .................127 21.4.4...
  • Seite 8 Strahlabmessungen und die Strahllage des fokussierten Strahls • Beugungsmaßzahl M Entwicklung, Produktion und Kalibrierung der Messgeräte erfolgt im Hause PRIMES. So werden optimale Qualität, exzellenter Service und kurze Reaktionszeit sichergestellt. Das ist die Basis, um alle Anforderungen unserer Kunden schnell und zuverlässig zu erfüllen.

  • Seite 9: Grundlegende Sicherheitshinweise

    Grundlegende Sicherheitshinweise Bestimmungsgemäße Verwendung Der MicroSpotMonitor MSM ist ausschließlich dazu gebaut, Messungen im oder in der Nähe des Strahlen- gangs von Hochleistungslasern durchzuführen. Hierbei sind die im Kapitel 19, „Technische Daten“, auf Sei- te 114 angegebenen Spezifikationen und Grenzwerte einzuhalten. Jeder darüber hinausgehende Gebrauch gilt als nicht bestimmungsgemäß.

  • Seite 10: Haftungsausschluss

    MicroSpotMonitor MSM Qualifiziertes Personal einsetzen Das Gerät darf ausschließlich durch Fachpersonal bedient werden. Das Fachpersonal muss in die Mon- tage und Bedienung des Gerätes eingewiesen sein und grundlegende Kenntnisse über die Arbeit mit Hochleistungslasern, Strahlführungssystemen und Fokussiereinheiten haben. Umbauten und Veränderungen Das Gerät darf ohne unsere ausdrückliche Zustimmung weder konstruktiv noch sicherheitstechnisch verän-...

  • Seite 11: Symbolerklärung

    MicroSpotMonitor MSM Symbolerklärung Folgende Symbole und Signalwörter weisen auf mögliche Restrisiken hin: GEFAHR Bedeutet, dass Tod oder schwere Körperverletzung eintreten wird, wenn die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen nicht getroffen werden. WARNUNG Bedeutet, dass Tod oder schwere Körperverletzung eintreten kann, wenn die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen nicht getroffen werden.

  • Seite 12: Über Diese Betriebsanleitung

    MicroSpotMonitor MSM Über diese Betriebsanleitung Diese Dokumentation beschreibt die Arbeit mit dem MicroSpotMonitor MSM und dessen Bedienung mit der LaserDiagnosticsSoftware LDS 2.98. Bei der Beschreibung der Software wird eine kurze Einführung in die Nutzung für den Messbetrieb gegeben. Diese Betriebsanleitung beschreibt die zum Zeitpunkt der Drucklegung gültige Softwareversion.

  • Seite 13: Einleitung

    Messungen von Kaustiken über mehr als 4 Rayleighlängen ermöglicht, wie sie die Norm ISO 11146 fordert. Optional kann der MicroSpotMonitor MSM um ein mit Neutralglasfiltern (OD1 bis OD5) bestücktes Filterrad ergänzt werden. Dieses Filterrad ermöglicht die Vermessung von Leistungsdichten im Bereich von einigen W/cm²...

  • Seite 14: Messprinzip

    MicroSpotMonitor MSM Messprinzip Der MicroSpotMonitor MSM ist ein kamerabasiertes Messsystem. Je nach Anwendungsfall können sich im Strahlengang bis zu 7 verschiedene optische Elemente befinden. Der Zweck und die Funktionsweise der einzelnen Komponente wird im Kapitel „21.4 Optische Komponenten“ auf Seite 120 beschrieben.

  • Seite 15: Kurzübersicht Installation

    Über Ethernet oder LAN LaserDiagnosticsSoftware LDS auf dem PC installieren Kapitel 11 auf Seite 29 • Die Software ist im Lieferumfang enthalten • MicroSpotMonitor MSM mit der LaserDiagnosticsSoftware LDS verbinden Messen Kapitel 13 auf Seite 82 • Sicherheitshinweise beachten •...

  • Seite 16: Transportsicherung Demontieren

    X Handhaben Sie das Messgerät bei Transport und Montage vorsichtig. X Um Verunreinigungen zu vermeiden, verschließen Sie das Messobjektiv mit der mitgelieferten Abdeckung. X Transportieren Sie das Gerät nur im originalen PRIMES-Transportkoffer (Option). Transportsicherung demontieren Entfernen Sie nach dem Auspacken des Gerätes zuerst die Transportsicherung. Die Transportsicherung fixiert den Verfahrschlitten der z-Achse.

  • Seite 17: Transportsicherung Montieren

    Schrauben befestigt sein (siehe Kapitel 7.3 auf Seite 21). Der MicroSpotMonitor MSM ist für den Betrieb in horizontaler Lage mit einem Strahleinfall von oben vorge- sehen. Mit einer optionalen Seitenplatte (Bestellnummer 801-004-060) ist auch der Betrieb mit horizontalem Strahleinfall möglich.

  • Seite 18: Microspotmonitor Msm Manuell Ausrichten

    MicroSpotMonitor MSM MicroSpotMonitor MSM manuell ausrichten 7.2.1 Wichtige Bedingungen zur Position des fokussierten Laserstrahls Durch die Abbildungseigenschaften des Messobjektivs (siehe Kapitel 21.4.1, „Messobjektiv“, auf Seite 121) ist es notwendig, den Laserstrahlfokus in einem bestimmten Bereich über dem Messobjektiv zu positionie- ren. ACHTUNG Beschädigung/Zerstörung des Gerätes...

  • Seite 19: Positionierung Des Fokussierten Laserstrahls Über Dem Messobjektiv

    Der Messebenenabstand entspricht der Entfernung der Messebene von der Oberkante des Messobjektivs bzw. des Schutzglases. Um den MicroSpotMonitor MSM unter dem Laser besser ausrichten zu können, wird mit jedem Messobjektiv eine entsprechende Ausrichthilfe geliefert. Mit dieser Ausrichthilfe und einem Pilotlaserstrahl können Sie das Gerät mit der nötigen Genauigkeit positionieren.

  • Seite 20: Positionierung Des Fokussierten Laserstrahls Über Dem Optionalen Zyklon

    MicroSpotMonitor MSM Der Messebenenabstand entspricht der Entfernung der Abbildungsebene von der Oberkante des Messobjektivs bzw. des Schutzglases. Dieser ist sowohl vom Strahlweg (Standard, Strahwegverlängerung SWV, Justageobjektiv JO) als auch von der Wellenlänge abhängig (siehe Tab. 7.1 auf Seite 20). Beim Verwenden eines Schutzglases mit 1,5 mm Dicke wird die Messebene um ca. 500 µm nach oben verschoben.

  • Seite 21: Microspotmonitor Msm Montieren

    MicroSpotMonitor MSM MicroSpotMonitor MSM montieren GEFAHR Schwere Verletzungen der Augen oder der Haut durch Laserstrahlung Wird das Gerät aus der eingemessenen Position bewegt, kann im Messbetrieb vermehrt reflektierte Strahlung (Laserklasse 4) entstehen. X Befestigen Sie das Gerät so, dass es durch unbeabsichtigtes Anstoßen oder Zug an den Kabeln nicht bewegt werden kann.

  • Seite 22: Kühlkreis Anschließen (Nur 500 W Version)

    MicroSpotMonitor MSM Kühlkreis anschließen (nur 500 W Version) GEFAHR Brandgefahr; Beschädigung/Zerstörung des Gerätes durch Überhitzung Bei fehlendem Wasseranschluss oder zu niedrigem Durchfluss wird das Gerät überhitzt und kann dadurch beschädigt werden oder in Brand geraten. X Betreiben Sie das Messgerät nur mit angeschlossener Wasserkühlung und ausreichender Durchflussmenge.

  • Seite 23: Luftfeuchtigkeit

    MicroSpotMonitor MSM Luftfeuchtigkeit • Das Gerät darf nicht in kondensierender Atmosphäre betrieben werden. Die Luftfeuchtigkeit ist zu be- rücksichtigen, um Kondensate innerhalb und außerhalb des Gerätes zu vermeiden. • Die Temperatur des Kühlwassers darf nicht unterhalb des Taupunktes liegen (siehe Tab. 8.1 auf Seite 23).

  • Seite 24: Wasseranschlüsse Und Wasserdurchflussmenge

    MicroSpotMonitor MSM Wasseranschlüsse und Wasserdurchflussmenge Anschlussdurchmesser Empfohlene Durchflussmenge Mindestdurchflussmenge PE-Schläuche 12 mm 1,5 l/min (1 l/(min · kW) 1,0 l/min nicht unterschreiten Tab. 8.2: Wasseranschlüsse und Wasserdurchflussmenge Verschlussstopfen der Wasseranschlüsse entfernen 1. Drücken Sie mit zwei Fingern einer Hand den äußeren Lösering Lösering des Anschlusses nieder und ziehen Sie mit der anderen Hand den Stopfen heraus.

  • Seite 25: Elektrischer Anschluss

    MicroSpotMonitor MSM Elektrischer Anschluss Der MicroSpotMonitor MSM benötigt für den Betrieb eine Versorgungsspannung von 24 V ±5 % (DC). Ein passendes Netzteil mit einem Adapter wird mitgeliefert. Bitte verwenden Sie ausschließlich die mitgelieferten Anschlussleitungen. Bitte stellen Sie erst alle elektrischen Verbindungen her und schalten Sie das Gerät ein, bevor Sie die LaserDiagnosticsSoftware LDS starten.

  • Seite 26: Pinbelegung

    MicroSpotMonitor MSM Pinbelegung 9.2.1 Spannungsversorgung D-Sub-Buchse, 9-polig (Ansicht Steckseite) Funktion RS485 (+) +24 V Trigger RS485 (+) Nicht belegt RS485 (–) +24 V Trigger RS485 (–) Tab. 9.1: D-Sub-Buchse RS485 9.2.2 Eingang externer Trigger BNC-Stecker (Ansicht Steckseite) Funktion +5 V (Triggersignal) Abb.

  • Seite 27: Anschluss An Den Pc Und Stromversorgung Anschließen

    MicroSpotMonitor MSM Anschluss an den PC und Stromversorgung anschließen ACHTUNG Beschädigung/Zerstörung des Gerätes Beim Trennen der elektrischen Leitungen während des Betriebes (bei angelegter Spannungsversorgung) entstehen Spannungsspitzen, welche die Kommunikationsbausteine des Messgerätes zerstören können. X Schalten Sie zuerst das Netzteil aus, bevor Sie die Leitungen trennen.

  • Seite 28: Status-Leds

    MicroSpotMonitor MSM Status-LEDs Das Gerät hat zwei Status-LEDs. Bezeichnung Farbe Bedeutung Power Grün Die Spannungsversorgung ist eingeschaltet Measuring Gelb Eine Messung läuft Tab. 10.1: Beschreibung der Status-LEDs am MicroSpotMonitor MSM Spannungsversorgung Messmodus Abb. 10.1: Status-LEDs am MicroSpotMonitor MSM Revision 01/2019 DE...

  • Seite 29: Installieren Und Konfigurieren Der Laserdiagnosticssoftware Lds

    Die Installationssoftware schreibt das Hauptprogramm „LaserDiagnosticsSoftware.exe“ – falls nicht anders spezifiziert – in das Verzeichnis „Programme/PRIMES/LDS“. Darüber hinaus wird auch die Einstellungsdatei „laserds.ini“ in dieses Verzeichnis kopiert. In der Datei „laserds.ini“ sind die Einstellparameter für die PRIMES- Messgeräte hinterlegt. Revision 01/2019 DE...

  • Seite 30: Ethernetverbindung Einrichten

    Der PC muss ebenfalls eine feste IP-Adresse im gleichen Subnet haben, z. B.: IP-Adresse: 192.168.116.XXX Subnetzmaske: 255.255.255.0 Die ersten drei Blöcke der IP-Adresse müssen mit der IP des MicroSpotMonitor MSM übereinstimmen. Typenschild MSM Abb. 11.2: Ethernetverbindung einrichten im Dialogfenster Ethernet...

  • Seite 31: Verbindung Zum Pc Aufbauen (Menü Kommunikation > Freie Kommunikation)

    4. Geben Sie im Feld “TCP” die IP-Adresse ein. 5. Klicken Sie auf die Schaltfläche Verbinden (im Busmonitor erscheint “Connected”). 6. Klicken Sie auf die Schaltfläche PRIMES Geräte Suchen. 7. Klicken Sie auf die Schaltfläche Speichern (die Konfiguration wird gespeichert und muss beim Neustart der LaserDiagnosticsSoftware LDS nicht erneut eingegeben werden).

  • Seite 32: Standard-Ip-Adresse Des Gerätes Ändern (Menü Kommunikation > Freie Kommunikation)

    MicroSpotMonitor MSM 11.3.3 Standard-IP-Adresse des Gerätes ändern (Menü Kommunikation > Freie Kommunikation) Sollte die feste IP-Adresse des MicroSpotMonitor MSM mit einem anderen Gerät gleicher IP-Adresse im Netzwerk kollidieren, kann die feste IP-Adresse des MicroSpotMonitor MSM geändert werden. ACHTUNG Ausfall des Gerätes durch fehlerhafte Eingaben Bei der Änderung der IP-Adresse kann es zum Beispiel durch Tippfehler zur Überschreibung...
  • Seite 33 MicroSpotMonitor MSM Beispiel: Sie möchten die IP-Adresse von 192.168.116.85 auf 192.168.116.86 ändern. 1. Starten Sie die LaserDiagnosticsSoftware LDS (siehe Kapitel 12 auf Seite 34). 2. Öffnen Sie das Dialogfenster Kommunikation > Freie Kommunikation. 3. Wählen Sie im Feld „Mode“ TCP (die Option “Zweite IP” darf nicht aktiviert sein!).

  • Seite 34: Beschreibung Der Laserdiagnosticssoftware Lds

    MicroSpotMonitor MSM Beschreibung der LaserDiagnosticsSoftware LDS Die LaserDiagnosticsSoftware LDS ist die Steuerzentrale für alle PRIMES-Messgeräte, die Strahlverteilungen oder Fokusgeometrien vermessen und daraus die Strahlpropagationseigenschaften ermitteln. Die LaserDiagnosticsSoftware LDS steuert die Messungen und liefert die Messergebnisse grafisch aufberei- tet zurück. Darüber hinaus wird aus den Messdaten die Messung bewertet, um Ihnen Hinweise auf die Zuverlässigkeit des Messergebnisses zu geben.
  • Seite 35 MicroSpotMonitor MSM Die grafische Benutzeroberfläche besteht im Wesentlichen aus einer Menü- und einer Werkzeugleiste, über die Sie verschiedene Dialog- oder Darstellungsfenster aufrufen können. Menüleiste Werkzeugleiste Dialogfenster Abb. 12.3: Die wichtigsten Elemente der Benutzeroberfläche Sie können parallel verschiedene Mess- und Dialogfenster öffnen. Dabei bleiben einige grundsätzlich wichtige Fenster (für das Messen oder die Kommunikation) permanent im Vordergrund.

  • Seite 36: Die Menüleiste

    MicroSpotMonitor MSM 12.1.1 Die Menüleiste In der Menüleiste öffnen Sie per Mausklick alle Haupt- und Untermenüs, die das Programm bietet. Abb. 12.5: Die Menüleiste Revision 01/2019 DE...

  • Seite 37: Die Werkzeugleiste

    MicroSpotMonitor MSM 12.1.2 Die Werkzeugleiste Durch Anklicken der Symbole in der Werkzeugleiste sind die folgenden Programmmenüs zu öffnen. Dateiverwaltung Darstellungsart Dateiauswahl Ebenenauswahl     Abb. 12.6: Symbole in der Werkzeugleiste 1 - Neuen Datensatz anlegen 2 - Existierenden Datensatz öffnen 3 - Aktuellen Datensatz speichern 4 - Isometriedarstellung des ausgewählten Datensatzes öffnen...

  • Seite 38: Menü-Übersicht

    - Referenzwert für die Laserleistung - Brennweite - Wellenlänge - Bemerkungen - Geräte-Offset (für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant) Sensorparameter Folgenden Geräteparameter können hier z. B. eingestellt werden: - den mechanischen Sperrbereich der z-Achse - die räumliche Auflösung (32, 64, 128 oder 256 Pixel) - die mechanischen Bewegungsgrenzen in z-Richtung - Auswahl eines der am Bus angeschlossenen Messgeräte...
  • Seite 39 Vergleich der Messwerte mit definierten Grenzwerten und Auswertung (optional) Kommunikation Geräte suchen Das System sucht den Bus nach den verschiedenen Geräteadressen ab. Das ist not- wendig, wenn die Gerätekonfiguration am PRIMES-Bus nach dem Starten der Software geändert wurde. Freie Kommunikation Darstellung der Kommunikation auf dem PRIMES-Bus.
  • Seite 40 MicroSpotMonitor MSM Skript Editor Öffnet den Skriptgenerator, ein Werkzeug, um komplexe Messabläufe automatisch zu steuern (mit einer von PRIMES entwickelten Skriptsprache). Auflisten Zeigt eine Liste der geöffneten Fenster an. Python Öffnet den Skriptgenerator, um komplexe Messabläufe automatisch zu steuern (Skriptsprache Python).

  • Seite 41: Datei

    MicroSpotMonitor MSM 12.2 Datei Dieses Menü umfasst unter anderem die Verwaltung von Mess- und Einstellungsdaten. 12.2.1 Neu (Menü Datei > Neu) Mit Neu erstellen Sie eine neue Datei. 12.2.2 Öffnen (Menü Datei > Öffnen) Mit Öffnen öffnen Sie eine ausgewählte Datei.

  • Seite 42: Messeinstellungen Laden (Menü Datei > Messeinstellungen Laden)

    12.2.7 Messeinstellungen laden (Menü Datei > Messeinstellungen laden) Bereits gespeicherte Ein stellungen können Sie mit Messeinstellungen laden wieder zu aktuellen Einstel- lungen machen. Die standardmäßige Erweiterung für eine Einstellungsdatei des MicroSpotMonitor MSM ist ‘.ptx’. 12.2.8 Messeinstellungen speichern (Menü Datei > Messeinstellungen speichern) Sie speichern die aktuellen Messeinstellungen (.ptx-Datei).

  • Seite 43: Bearbeiten

    MicroSpotMonitor MSM 12.3 Bearbeiten 12.3.1 Kopieren (Menü Bearbeiten > Kopieren) Mit Hilfe der Kopierfunktion ist ein direkter Export von Grafiken in andere Programme möglich. Der Inhalt des aktuellen Fensters wird dabei in die Windows-Zwischenablage übertragen. 12.3.2 Ebene löschen (Menü Bearbeiten > Ebene löschen) Der Inhalt der aktuell angezeigten Messebene des Messdatensatzes, der in der Werkzeugleiste ausgewählt...

  • Seite 44: Messung

    MicroSpotMonitor MSM 12.4 Messung 12.4.1 Messumgebung (Menü Messung > Messumgebung) Abb. 12.9: Dialogfenster Messumgebung Im Dialogfenster Messumgebung können Daten wie der Lasertyp, Brennweite usw. gespeichert werden. Diese Daten können über Darstellung > Übersicht gelesen werden. Brennweite Die Angabe der Brennweite ist relevant für die Auswertung von Kaustikmessungen. Aus dem Kaustikverlauf und der eingetragenen Brennweite wird auf den Rohstrahldurchmesser auf der Fokussieroptik zurückgerech-...

  • Seite 45: Aktualisieren

    Der Maximalwert entspricht den Werten Y3 und Z3. Gerät Über diesen Eintrag wählen Sie das Gerät aus, das bedient werden soll. Je nach Anzahl der angeschlosse- nen Geräte werden zusätzlich Gerätenummern vergeben. Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. Revision 01/2019 DE...

  • Seite 46: Auflösung

    64 x 64 Pixel ausreichend. Bitte beachten Sie, dass eine größere Anzahl von Pixeln zu einer längeren Messdauer führt. Detektor Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. Manuelle Z-Achse Mit Hilfe dieser Funktion können Sie die z-Achse des Gerätes deaktivieren. Hilfreich ist diese Funktion, wenn externe Bewegungsachsen benutzt werden sollen.

  • Seite 47: Ccd Geräteinfo (Menü Messung > Ccd Geräteinfo)

    MicroSpotMonitor MSM 12.4.4 CCD Geräteinfo (Menü Messung > CCD Geräteinfo) Im Menü Messung > CCD Geräteinfo sind die wichtigsten Gerätedaten dargestellt. Man kann dort sowohl die Vergrößerungsdaten des Messobjektivs ablesen als auch prüfen, welcher Strahlweg geschaltet ist. Werden statt der tatsächlichen Vergrößerung offensichtliche Default-Werte (1:1) angezeigt, dann prüfen Sie bitte die Montage des Messobjektivs.

  • Seite 48: Ccd-Einstellung (Menü Messung > Ccd Einstellung)

    MicroSpotMonitor MSM 12.4.5 CCD-Einstellung (Menü Messung > CCD Einstellung) Abb. 12.12: Dialogfenster CCD-Einstellung Im Dialogfenster CCD-Einstellung werden die Wellenlänge, die Abschwächung und der Betriebsmodus festgelegt. Triggermodi Je nach Betriebsmode des zu vermessenden Lasers muss hier die passende Einstellung vorgenommen werden. Hierbei ist zu beachten, dass gepulste Laser mit einer Pulsfrequenz größer 500 Hz im Modus cw vermessen werden können.
  • Seite 49 MSM einige Triggersignale bekommt (unterer Triggerlevel). Anschließend wird der Triggerlevel so lange ange- hoben, bis der MicroSpotMonitor MSM kein Triggersignal mehr bekommt (oberer Triggerlevel). Der endgültige Triggerlevel bildet sich aus dem arithmetischen Mittel der beiden Grenzwerte. Unter dem Menüpunkt Trig- ger Channel kann der externe Triggereingang aktiviert werden.

  • Seite 50: Lqm-Justage (Menü Messung > Lqm-Justage)

    MicroSpotMonitor MSM 12.4.6 LQM-Justage (Menü Messung > LQM-Justage) Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. 12.4.7 Leistungsmessung (Menü Messung > Leistungsmessung) Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. 12.4.8 Einzelmessung (Menü Messung > Einzelmessung) Abb. 12.14: Dialogfenster Messeinstellungen Revision 01/2019 DE...
  • Seite 51 Ebene (z. B. 1>>2) Strahlsuche Startet eine automatische Strahlsuche in der aktuellen Messebene Scan Startet eine automatische Strahlsuche mit dem MicroSpotMonitor MSM. Der Al- gorithmus arbeitet bei fester z-Position und sucht nur im Bereich des eingestellten Messfensters opt. Verst.
  • Seite 52 Achse gewährleistete Messbereich (2 mm x 2 mm). Deshalb wurde die Strahlsuche mit dem Befehl Scan ergänzt. Wird ein Scan gestartet, tastet der MicroSpotMonitor MSM automatisch den Messbereich ab. Ist ein Punkt maximaler Intensität ermittelbar, zoomt der MicroSpotMonitor MSM automa- tisch auf dieses Gebiet und passt die Messfenstergröße an.

  • Seite 53: Symmetrisch

    MicroSpotMonitor MSM Z-Schieberegler Die Lage des Fensters in z-Richtung (Höhe) kann durch den z-Schieberegler oder über eine numerische Eingabe festgelegt werden. Symmetrisch Ist diese Funktion aktiviert, werden nur quadratische Messfenster zugelassen. Soll ein elliptischer oder auch ein rechteckiger Laserstrahl vermessen werden, sollte zur optimalen Anpassung der Messfenster diese Funk- tion deaktiviert werden.

  • Seite 54: Kaustik (Menü Messung > Kaustik)

    MicroSpotMonitor MSM 12.4.9 Kaustik (Menü Messung > Kaustik) Die Kaustikmessung ist eine Serienmessung, bei der die z-Position variiert wird. Dabei wird jeder z-Position eine eigene Messebene mit den entsprechenden Messergebnissen zugeordnet. Da sich in jeder z-Position Strahlradius und Leistungsdichte verändern, können von Ebene zu Ebene die Lage und Größe des Fensters sowie die Signalverstärkung variieren.

  • Seite 55: Start Justiermode (Menü Messung > Start Justiermode)

    Die manuelle Kaustikmessung besteht aus einer Abfolge von Einzelmessungen an verschiedenen z-Positionen, wobei die Ergebnisse in jeweils einer eigenen Ebene gespeichert werden (siehe Kapitel . 12.4.10 Start Justiermode (Menü Messung > Start Justiermode) Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. Revision 01/2019 DE...

  • Seite 56: Optionen (Nur Für Advanced User (Menü Messung > Optionen)

    MicroSpotMonitor MSM 12.4.11 Optionen (nur für advanced User (Menü Messung > Optionen) Abb. 12.16: Dialogfenster Option BeamFind aktivieren Die Funktion BeamFind wird bei Kaustikmessungen benötigt. Es handelt sich um einen Algorithmus, der über eine einstellbare Triggerschwelle das Messsignal von den Messartefakten (z. B. Rauschen) trennt und die Größe des Messfensters auf dieses Signal abstimmt.
  • Seite 57 MicroSpotMonitor MSM Für TopHat- und Gaußstrahlförmige Laserstrahlen sollte der Füllfaktor zwischen 0,5 und 0,7 liegen. Weist ein Strahl jedoch Beugungsringe auf und sollen diese vollständig im Messfenster liegen, kann der optimale Wert für den Füllfaktor auch zwischen 0,5 und 0,6 liegen.

  • Seite 58: Darstellung

    MicroSpotMonitor MSM 12.5 Darstellung Dieses Kapitel beschreibt die Darstellung, Analyse und Speicherung der Messergebnisse. Um Vergleiche zwischen verschiedenen Messungen durchzuführen, kann das Programm mehrere Messdatensätze gleichzeitig verwalten. Die geöffneten Datensätze werden in der Werkzeugleiste angezeigt. Um eine Darstellung zu öffnen, wird die zu untersuchende Datei in der Liste der Dateiauswahl selektiert, und danach die gewünschte Präsentationsart ausgewählt.

  • Seite 59: Falschfarben (Menü Darstellung > Falschfarben)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.1 Falschfarben (Menü Darstellung > Falschfarben) Hier wird eine Falschfarbendarstellung der gemessenen Leistungsdichteverteilung erzeugt. Abb. 12.18: Dialogfenster Falschfarben Die verwendete Farbskala ist links eingeblendet. Für eine erhöhte Sensitivität, zum Beispiel zur Analyse von Beugungsfiguren, ist es möglich, die verwendeten Farbskalen im Menü Darstellung > Farbtafeln umzuschalten.

  • Seite 60: Falschfarben (Gefiltert) (Menü Darstellung > Falschfarben (Gefiltert))

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.2 Falschfarben (gefiltert) (Menü Darstellung > Falschfarben (gefiltert)) Die dem Filter zugrunde liegende Funktion ist eine Spline-Funktion. Sie ist unter anderem dadurch charakte- risiert, dass die Lage der Maxima erhalten bleibt. Dabei werden in einer Matrize die einzelnen Pixel mit einem 1-2-1 Filter gewichtet, so dass das Rauschen verringert wird.

  • Seite 61: Isometrie 3D (Menü Darstellung > Isometrie 3D)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.4 Isometrie 3D (Menü Darstellung > Isometrie 3D) Diese Funktion erzeugt die dreidimensionalen Darstellungen der Leistungsdichteverteilung einer Ebene und aller Ebenen in Falschfarben. Das Darstellungsfenster ist zweigeteilt. Links wird die Kaustik, rechts die Leistungsdichteverteilung in einer Ebene dargestellt. Die horizontale Größe der Einzelfenster können Sie durch Ziehen des Trennbalkens mit der Maus verändern.

  • Seite 62: Übersicht 86 % Bzw. 2. Momente (Menü Darstellung > Übersicht (86%)/(2. Momente)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.5 Übersicht 86 % bzw. 2. Momente (Menü Darstellung > Übersicht (86%)/(2. Momente) Für die Radiusdefinition gibt es zwei wesentliche Bestimmungsmöglichkeiten: • Bestimmung der Strahlradien nach der 86% -Leistungsdefinition, (siehe Kapitel 22.2.4 auf Seite 145). • Bestimmung der Strahlradien nach der 2. Momente-Methode (ISO 11146), (siehe Kapitel 22.2.3 auf Seite 144.

  • Seite 63: Kaustik (Menü Darstellung > Kaustik)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.6 Kaustik (Menü Darstellung > Kaustik) Die Ergebnisse der Kaustikmessung können Sie mit dem Menüpunkt Darstellung > Kaustik anzeigen. Die Abb. 12.22 auf Seite 63 zeigt auf der linken Seite die berechneten Strahlparameter wahlweise auf Basis der 86 %-Radien oder die 2. Momenteauswertung nach ISO 11146. In der Bildmitte zeigt die Grafik den Kaustikverlauf an.
  • Seite 64 MicroSpotMonitor MSM Z-Position Dieser Wert gibt die Lage der Fokuspunkte in der z-Richtung an. Da die Ausgleichskurve alle Messpunkte berücksichtigt, ist die berechnete z-Position nicht zwingend am Ort des kleinsten gemessenen Strahlradius. Fokusradius Der Fokusradius ist der kleinste Strahlradius in der Kaustik. In der Regel ist dieser Wert dem kleinsten ge- messenen Wert ähnlich.
  • Seite 65 Ausgehend von diesen Werten berechnet das Programm auch richtungsabhängige Strahlpropagationsfaktoren und Strahllagewerte. Die zugehörigen Kurven werden über die beiden Kontrollkästchen Radius X, Y eingeblendet, die Zahlenwerte stellt das Ergebnisfenster bereit. Rohstrahl (Menü Darstellung > Kaustik > Rohstrahl) Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. Revision 01/2019 DE...
  • Seite 66 MicroSpotMonitor MSM Bewertung (Menü Darstellung > Kaustik > Bewertung) Diese Funktion prüft, ob die Ergebnisse und Einstellungen der Kaustikmessung im zuverlässigen Bereich liegen. Nicht OK Grenzwertig (in den Messebenen 2, 4, 6, 7 und 8) Abb. 12.24: Ergebnisfenster Messungsbewertung Unter „Abweichung“ wird die mittlere relative Standardabweichung des Kaustikfits von den Radien nach der 2.

  • Seite 67: Rohstrahl (Menü Darstellung > Rohstrahl)

    Sind alle Kriterien erfüllt, haben die Messergebnisse eine hohe Zuverlässigkeit. Die absolute Genauigkeit lässt sich aus der Standardabweichung des Fits nicht angeben, da zusätzlich sämtliche systematischen Messfeh- ler sowie die Genauigkeit der Kalibrierung in den Absolutfehler eingehen. 12.5.7 Rohstrahl (Menü Darstellung > Rohstrahl) Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. Revision 01/2019 DE...

  • Seite 68: Symmetrieprüfung (Menü Darstellung > Symetrieprüfung)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.8 Symmetrieprüfung (Menü Darstellung > Symetrieprüfung) Dieses Darstellungsmenü prüft die Rotationssymetrie der Leistungsdichteverteilung eines Laserstrahls. Es kann z. B. in Verbindung mit dem Monitorbetrieb (Messung > Einzelmessung > Monitor) zur Justierung von Laserresonatoren benutzt werden. Im Folgenden werden in den Abb. 12.25 auf Seite 68 und Abb. 12.26 auf Seite 68 zwei Beispiele für die möglichen Resultate der Symmetrieprüfung an einem elliptischen Strahl gezeigt.

  • Seite 69: Feste Schnitte (Menü Darstellung > Feste Schnitte)

    MicroSpotMonitor MSM Abb. 12.27: Dialogfenster Symmetrieprüfung in Polarkoordinaten für einen elliptischen Strahl Auf dem Bildschirm erscheinen die Kurven in unterschiedlichen Farben. Der Radius ist in Pixel-Koordinaten angegeben. Das Minimum und das Maximum der Radiuswerte kann ausgewählt werden. Auf der rechten Seite ist die Standardabweichung der verschiedenen Radiuswerte angezeigt.

  • Seite 70: Variable Schnitte (Menü Darstellung > Variable Schnitte)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.10 Variable Schnitte (Menü Darstellung > Variable Schnitte) Hier wird die räumliche Leistungs dichteverteilung anhand frei wählbarer Schnitte dargestellt. Es können Schnitte in x- und y-Richtung sowie in Leistungs dichte -Koordinaten (A/D-Wandler-Counts) durchgeführt werden. Die Lage der Schnitte ist durch Schieberegler oder per Tastatur einstellbar.
  • Seite 71 MicroSpotMonitor MSM Ein Klick auf die Schaltfläche CCD Info öffnet ein Fenster mit zusätzlichen Informationen zu den Geräteparametern wie Trigger Mode, Trigger Delay, Integrationsdauer, Vergrößerung, Art des Messobjektivs. Abb. 12.30: Anzeigefenster CCD Info Revision 01/2019 DE...

  • Seite 72: Graphische Übersicht (Menü Darstellung > Grafische Übersicht)

    Abb. 12.31: Anzeigefenster Grafische Übersicht – Beispiel zur Auswertung einer Zeitreihe - Radius/Zeit Siehe Kapitel 12.4.9 auf Seite 54, Abschnitt „Manuelle Kaustikmessung als Zeitreihe (Menü Messung > Kaustik > Manuelle Einstellung)“ 12.5.12 Systemstatus (Menü Darstellung > Systemstatus) Für den MicroSpotMonitor MSM nicht relevant. Revision 01/2019 DE...

  • Seite 73: Evaluierungsparameter (Menü Darstellung > Evaluierungsparameter)

    Kaustikauswertung (beamparams.eval). Unter dem Menüpunkt Darstellung > Evaluierungsparameter können Sie diese aufrufen. Abb. 12.32: Anzeigefenster Evaluierungsparameter mit geöffneter Parameterdatei Die gewünschten Parameter und ihre Grenzwerte können Sie mit dem Programm „PRIMES-EvalEditor“ vorgeben und in einer Evaluierungsparameterdatei (*.eval) speichern. Das Programm wird beim LDS-Setup mitinstalliert.

  • Seite 74: Evaluiere Dokument (Menü Darstellung > Evaluiere Dokument)

    MicroSpotMonitor MSM Die Evaluierungsparameterdatei kann nur angezeigt werden, wenn sich die Datei BeamControls.xsd im gleichen Verzeichnis (C:\Programme\Primes\LDS2.98\System) befindet. 12.5.14 Evaluiere Dokument (Menü Darstellung > Evaluiere Dokument) Die Evaluierungsfunktion vergleicht wählbare Strahlparameter und deren einstellbare Grenzwerte mit den Ergebnissen einer aktuellen oder gespeicherten Messung.
  • Seite 75 MicroSpotMonitor MSM Bewertungskriterium: Nur wenn alle Einzelbewertungen in Ordnung sind, wird die Gesamtbewertung im Ampelsymbol grün angezeigt. Abb. 12.35: Dialogfenster der Evaluierung Ein Überschreiten der Warn- oder Grenzwerte hat Einfluss auf die Farbdarstellung im Ampelsymbol. Sobald ein Warnwert über- oder unterschritten wird, ist der gelbe Kreis gefüllt. Werden die Grenzwerte (Min/Max) über- oder unterschritten, ist der rote Kreis gefüllt.

  • Seite 76: Farbtafeln (Menü Darstellung > Farbtafeln)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.15 Farbtafeln (Menü Darstellung > Farbtafeln) Es sind verschiedene Farbtabellen verfügbar. Sie können zwischen den Farbtabellen hin- und herschalten. So kann die Zuordnung von A/D-Wandlerwerten und den verschiedenen Farbskalen variiert werden. Drei Einstellungen sind möglich: • Lineare Farbtabelle (Grundeinstellung) •...

  • Seite 77: Position (Menü Darstellung > Position)

    MicroSpotMonitor MSM 12.5.17 Position (Menü Darstellung > Position) Dieses Menü ermöglicht es, das Gerät in die Parkposition zu verfahren. Abb. 12.39: Dialogfenster Position 12.5.18 Evaluation (Option) (Menü Darstellung > Evaluation) Mit dieser Bewertungsfunktion können Sie verschiedene Parameter einer gemessenen Kaustik (.foc-Datei) mit vorgegebenen Grenzwerten (.pro-Datei) vergleichen und bewerten.
  • Seite 78 MicroSpotMonitor MSM Abb. 12.41: Beispiel für eine Profildatei So führen Sie eine Bewertung durch: 1. Klicken Sie auf die Schaltfläche Öffne Doc und wählen Sie Ihre Messdatei aus (.foc-Datei). 2. Klicken Sie auf die Schaltfläche Öffne Profil und wählen Sie Ihre Profildatei aus (.pro-Datei).

  • Seite 79: Kommunikation

    12.6.2 Freie Kommunikation (Menü Kommunikation > Freie Kommunikation) Mit Hilfe dieses Menüs können Sie die Kommunikation über den PRIMES-Bus überwachen. Außerdem wer- den hier die Einstellungen zur Kommunikation vorgenommen (siehe Kapitel 11.3.2 auf Seite 31). Abb. 12.42: Dialogfenster Kommunikation > Freie Kommunikation...

  • Seite 80: Liste Gesuchter Geräte (Menü Kommunikation > Liste Gesuchter Geräte)

    12.6.3 Liste gesuchter Geräte (Menü Kommunikation > Liste gesuchter Geräte) Jedes Gerät von PRIMES hat eine bestimmte Bus-Adresse. Soll mit der LaserDiagnosticsSoftware LDS ein Gerät bedient werden, muss diese Adresse hier eingetragen sein. Hier können Sie auch Adressen hinzufügen oder entfernen.

  • Seite 81: Skript (Menü Script)

    81 dargestellten. Python ist eine Programmiersprache mit effizienten abstrakten Datenstrukturen und einem einfachen, aber effektiven Ansatz zur objektorientierten Programmierung. Python ist sowohl für Skripte als auch für schnelle Anwendungsentwicklung sehr gut geeignet. Für die Programmierung mit Python steht eine separate PRIMES-Dokumentation zur Verfügung. Revision 01/2019 DE...

  • Seite 82: Messen

    Reflexion des Laserstrahls (Laserklasse 4). Die reflektierte Strahlung ist in der Regel nicht sichtbar. Der MicroSpotMonitor MSM darf in keiner der verfügbaren Konfiguration, ohne die folgen- den Schutzmaßnahmen zu treffen betrieben werden. X Tragen Sie Laserschutzbrillen, die an die verwendete Leistung, Leistungsdichte,Laserwellen länge und Betriebsart der Laserstrahlquelle angepasst sind.

  • Seite 83: Auswahl Und Wechsel Der Messobjektive

    Auswahl und Wechsel der Messobjektive 13.2.1 Auswahl des Messobjektivs Die richtige Auswahl des Messobjektivs ist für die Qualität der Messung mit dem MicroSpotMonitor MSM von entscheidender Bedeutung. Das Messobjektiv muss möglichst optimal auf die Wellenlänge, die Numerische Apertur und die zu vermes- sende Fokusgröße abgestimmt sein.
  • Seite 84 MicroSpotMonitor MSM Die Grenzen, die für die Standardobjektive gelten, sind zusammen mit einigen weiteren Daten der Messobjektive in der nachstehenden Tabelle zusammengefasst. Standard Objektiv Max. Messfenster Min. Auflösung Min. Strahldurchmesser Max. Strahldurchmesser 3,3x 1,4 mm 1,4 μm 30 μm 1 mm 910 μm 0,9 μm 20 μm...

  • Seite 85: Messobjektiv Wechseln

    MicroSpotMonitor MSM 13.2.2 Messobjektiv wechseln 1. Drehen Sie die zwei Rändelschrauben heraus (siehe Abb. 13.2 auf Seite 85). 2. Nehmen Sie das Messobjektiv nach oben ab. • Bitte beachten Sie, dass das Messobjektiv von zwei Passstiften fixiert wird und beim Entnehmen nicht verkantet.

  • Seite 86: Zerstörschwellen

    MicroSpotMonitor MSM 13.2.3 Zerstörschwellen Die Einsatzgrenzen des MicroSpotMonitor MSM ergeben sich aus den Zerstörschwellen der optischen Komponenten. Wie in Kapitel 21.4.1 auf Seite 121 beschrieben, müssen hierbei zwei unterschiedliche Fälle betrachtet werden. ACHTUNG Beschädigung/Zerstörung des Messobjektivs Durch zu hohe Leistungsdichte kann das Messobjektiv zerstört werden.
  • Seite 87 MicroSpotMonitor MSM Zur Abschätzung der minimal zulässigen Entfernung dienen die Diagramme in Tab. 13.2 auf Seite 87 und Tab. 13.3 auf Seite 88. Messebenenabstand PRIMES 10x-h ohne SWV Messebenenabstand PRIMES 3,3x-s ohne SWV F = 5 F = 10 F = 15...
  • Seite 88 MicroSpotMonitor MSM Messebenenabstand PRIMES 10x-h ohne SWV Messebenenabstand PRIMES 3,3x-s ohne SWV 530 nm 1 064 nm = 5 μm M² = 1 = 8 μm = 10 μm = 15 μm = 30 μm = 50 μm Abstand des Fokus vom Messobjektiv in mm Tab. 13.3: Abschätzung über den Fokusradius für 1 064 nm und 532 nm...

  • Seite 89: Messung Vorbereiten

    MicroSpotMonitor MSM 13.3 Messung vorbereiten Die folgenden Checklisten sollen Ihnen helfen, die wichtigsten Voraussetzungen für eine Messung zu realisie- ren und alle notwendigen Einstellungen der LaserDiagnosticsSoftware LDS vorzunehmen. 13.3.1 Checkliste Sicherheitsvorkehrungen Das Messgerät steht stabil und ist befestigt  Der Verfahrbereich (z-Achse) des Messgerätes ist frei von Hindernissen ...

  • Seite 90: Flussdiagramm Einer Messung

    MicroSpotMonitor MSM 13.4 Flussdiagramm einer Messung 13.4.1 Messung vorbereiten Kaustikeinstellungen Vorbereitung suchen Nein Fokus gefunden? z-Achse positionieren: MSM 35 = 18 mm MSM 120 = 60 mm Die Ausrichtung erneut prüfen Magnifiacation Aussteuer- Laserleistung Low x 0.3 ung prüfen erhöhen gering am Gerät wählen...

  • Seite 91: Kaustikmessung Durchführen

    MicroSpotMonitor MSM 13.4.3 Kaustikmessung durchführen Erste Kaustikmessung Kaustik-Grenzwerte eingeben Messprogramm Anzahl der Mess- beginnen ebenen auf 21 setzen Laserleistung Neue Datei erhöhen öffnen Asymetrische Messung Kaustimessung durchführen- Messung starten – 3 z bis +1 z starten Kaustikrenzen setzen Begrenzt > 6 z < 6 z Messbereich ± 3 z...

  • Seite 92: Messeinstellungen In Der Laserdiagnosticssoftware Lds Vornehmen

    MicroSpotMonitor MSM 13.5 Messeinstellungen in der LaserDiagnosticsSoftware LDS vornehmen Die folgenden Erläuterungen zu den Konfigurationsmöglichkeiten sollen Ihnen helfen, die richtigen Einstellun- gen für die jeweilige Aufgabenstellung vorzunehmen. In den folgenden Kapiteln werden wichtige Einstelloptionen farblich hervorgehoben: Farbe Bedeutung Diese Einstellung muss immer wie abgebildet gesetzt sein.

  • Seite 93: Sensorparameter (Menü Messung > Sensorparameter)

    MicroSpotMonitor MSM 13.5.1 Sensorparameter (Menü Messung > Sensorparameter) Ziehquadrate Abb. 13.7: Dialogfenster Sensorparameter Sperrbereich Durch Ziehen des türkisfarbenen Quadrates mit dem Mauszeiger können Sie in diesem Fenster den Bewe- gungsbereich der y- und z-Achse einschränken. Diese Funktionalität soll helfen, Beschädigungen zu vermei- den, wenn andere Bauteile in den Bewegungsbereich des Gerätes ragen.

  • Seite 94: Messumgebung (Menü Messung > Messumgebung)

    MicroSpotMonitor MSM 13.5.2 Messumgebung (Menü Messung > Messumgebung) Abb. 13.8: Dialogfenster Messumgebung Brennweite Die Angabe der Brennweite ist relevant für die Auswertung von Kaustikmessungen. Aus dem Kaustikverlauf und der eingetragenen Brennweite wird auf den Rohstrahldurchmesser auf der Fokussieroptik zurückgerech- net.

  • Seite 95: Messeinstellungen (Menü Messung > Einzelmessung)

    MicroSpotMonitor MSM 13.5.3 Messeinstellungen (Menü Messung > Einzelmessung) Abb. 13.9: Dialogfenster Messeinstellungen Steuerung Messmodi (Einzelmessung, Monitor und VideoMode) Insgesamt können hier drei verschiedene Messmodi ausgewählt werden. In den Messmodi Einzelmessung und Monitor werden alle nötigen Kompensationen (Smear-Effekt, Diffusion) und Belichtungszeitanpassung bei jeder Messung neu durchgeführt.

  • Seite 96: Kaustikeinstellungen (Menü Messung > Kaustik)

    MicroSpotMonitor MSM 13.5.4 Kaustikeinstellungen (Menü Messung > Kaustik) Abb. 13.10: Dialogfenster Kaustikeinstellungen Parameter (Startnummer der Ebene und Anzahl der Ebenen) Unter Start kann die Startnummer der Ebene angegeben werden, bei der mit dem Messen begonnen wer- den soll. Standardmäßig liegt die Startnummer auf Null und sollte nur verändert werden, wenn man in ein be- stehendes Dokument messen und dabei die vorhandenen Messdaten nicht überschreiben möchte.
  • Seite 97 MicroSpotMonitor MSM Messdauer deutlich, setzt allerdings voraus, dass der Laserstrahl sich nur minimal in der Lage und seinen Parametern geändert hat. Strahlsuche In diesem Auswahlfeld wird die Ebene vorgegeben, in der die Kaustikmessung begonnen werden soll. Ist im Dialogfenster Optionen die Funktion BeamFind aktiviert, ist das auch die Ebene bei der diese Funktion ausgeführt wird.

  • Seite 98: Ccd-Einstellung (Menü Messung > Ccd Einstellung)

    MicroSpotMonitor MSM 13.5.5 CCD-Einstellung (Menü Messung > CCD Einstellung) Abb. 13.11: Dialogfenster CCD-Einstellung Im Dialogfenster CCD-Einstellung werden die Wellenlänge, die Abschwächung und der Betriebsmodus festgelegt. Triggermodi Je nach Betriebsmode des zu vermessenden Lasers muss hier die passende Einstellung vorgenommen werden. Hierbei ist zu beachten, dass gepulste Laser mit einer Pulsfrequenz größer 500 Hz im Modus cw vermessen werden können.

  • Seite 99: Allgemeine Ablaufsteuerung

    MicroSpotMonitor MSM Integrationsdauer Diese Funktion legt eine definierte Integrationsdauer fest. Hierzu muss zuerst der Optimizer deaktiviert wer- den, da sonst die Integrationsdauer vom Messgerät selbst optimiert und somit verändert wird. Auch diese Funktion findet hauptsächlich bei der Vermessung von gepulsten Lasersystemen Anwendung.

  • Seite 100: Optionen (Nur Für Advanced User (Menü Messung > Optionen)

    MicroSpotMonitor MSM 13.5.6 Optionen (nur für advanced User (Menü Messung > Optionen) Abb. 13.12: Dialogfenster Option BeamFind aktivieren Die Funktion BeamFind wird bei Kaustikmessungen benötigt. Es handelt sich um einen Algorithmus, der über eine einstellbare Triggerschwelle das Messsignal von den Messartefakten (z. B. Rauschen) trennt und die Größe des Messfensters auf dieses Signal abstimmt.

  • Seite 101: Ccd Geräteinfo (Menü Messung > Ccd Geräteinfo)

    MicroSpotMonitor MSM Für TopHat- und Gaußstrahlförmige Laserstrahlen sollte der Füllfaktor zwischen 0,5 und 0,7 liegen. Weist ein Strahl jedoch Beugungsringe auf und sollen diese vollständig im Messfenster liegen, kann der optimale Wert für den Füllfaktor auch zwischen 0,5 und 0,6 liegen.

  • Seite 102: Einzelmessung (Menü Messung > Einzelmessung)

    Strahlsuche manuell durchzuführen oder die Scan-Funktion zu benutzen. Wird ein Scan ausgelöst, tastet der MicroSpotMonitor MSM automatisch den Messbereich ab. Ist ein Punkt maximaler Intensität ermittelbar, zoomt der MicroSpotMonitor MSM automatisch auf dieses Gebiet und passt die Messfenstergröße an.
  • Seite 103 MicroSpotMonitor MSM Der Messmodus VideoMode funktioniert nur bei Ethernet-Kommunikation. Im VideoMode liefert der Mi- croSpotMonitor MSM ca. 4 Bilder pro Sekunde. Anders als der Monitor-Betrieb werden im VideoMode nur Rohdaten übermittelt. Falls der Detektor bei einer Messung übersteuert (ersichtlich an der Farbe rot in der Anzeige zur Signalsättigung bzw.

  • Seite 104: Kaustikmessung (Menü Messung > Kaustik)

    Bedarf wieder geladen werden. Kaustikmessung vorbereiten Bei der Ausrichtung des MicroSpotMonitor MSM sollte der Strahlfokus in der Mitte des Verfahrbereichs der z-Achse liegen. Je nach Gerätetyp sind das ca. 17 mm beim Standardgerät (35 mm z-Achse) oberhalb der Nullposition der integrierten z-Achse. Global können eingestellt werden: •...
  • Seite 105 MicroSpotMonitor MSM Automatische Kaustikmessung (Menü Messung > Kaustik > Automatik) Abb. 13.16: Dialogfenster Kaustikeinstellungen Bei der automatischen Kaustikmessung werden nur noch minimale und maximale z-Position sowie die Zahl der gewünschten Messebenen festgelegt. Der Messzyklus beginnt mit einer automatischen Strahlsuche in der ausgewählten Startebene.
  • Seite 106 MicroSpotMonitor MSM Manuelle Kaustikmessung (Menü Messung > Kaustik) und (Menü Messung > Einzelmessung) Abb. 13.17: Dialogfenster Kaustikeinstellungen und Dialogfenster Messeinstellungen Die manuelle Kaustikmessung besteht aus einer Folge von Einzelmessungen in verschiedenen z-Positionen, wobei die Ergebnisse in jeweils einer eigenen Ebene gespeichert werden.
  • Seite 107 MicroSpotMonitor MSM Eine Zeitreihe aufnehmen (Menü Messung > Einzelmessung) Abb. 13.18: Dialogfenster Messeinstellungen Die Aufnahme einer Zeitreihe entspricht der einer manuellen Kaustikmessung jedoch mit gleichbleibender z-Position in allen Ebenen. 1. Löschen Sie die alten Daten im Dialogfenster Bearbeiten > Alle Ebenen löschen oder erstellen Sie ein neues Dokument Datei >...

  • Seite 108: Fehleranalyse

    14.2 Kein Messsignal am MicroSpotMonitor MSM Wenn außer einem Rauschpegel, beim MicroSpotMonitor MSM von typischerweise ca. 270 - 300 cts. (die aktuelle Zahl der „Counts” kann im Menüpunkt Darstellung > VariableSchnitte abgelesen werden), kein Messsignal zu erkennen ist, prüfen Sie die Geräteposition. Gegebenenfalls ist es hilfreich das Justageobjek- tiv zuzuschalten.

  • Seite 109: Wartung Und Inspektion

    15.1 Schutzglas wechseln Optional kann das Messobjektiv des MicroSpotMonitor MSM mit einem Schutzglas oder einem Schutzglas mit Zyklon geliefert werden. Das Schutzglas im Strahleintritt ist ein Verschleißteil und kann bei Bedarf ge- wechselt werden. Leichte Verschmutzungen des Schutzglases können in abgekühltem Zustand mit Isop- ropanol (beachten Sie die Sicherheitshinweise des Herstellers) vorsichtig entfernt werden.

  • Seite 110: Schutzglas Wechseln

    MicroSpotMonitor MSM Das Schutzglas befindet sich im Schutzglashalter des Messobjektivs unter dem Haltering bzw. dem Zyklon. Der Haltering bzw. der Zyklon sind über einen federbelasteten Bajonettverschluss mit drei Schließzapfen auf dem Schutzglashalter befestigt. 15.1.2 Schutzglas wechseln 1. Beachten Sie die Sicherheitshinweise im Kapitel „15.1.1 Sicherheitshinweise“ auf Seite 109.

  • Seite 111: Schutzglas Beim Zyklon Wechseln

    MicroSpotMonitor MSM 15.1.3 Schutzglas beim Zyklon wechseln 1. Beachten Sie die Sicherheitshinweise im Kapitel „15.1.1 Sicherheitshinweise“ auf Seite 109. 2. Entfernen Sie bei Bedarf die Druckluftschläuche am Zyklon. 3. Drücken Sie den Zyklon nach unten gegen den Schutzglashalter, drehen Sie ihn gegen den Uhrzeiger- sinn bis zum Anschlag und heben Sie ihn nach oben ab.

  • Seite 112: Lagerung

    X Lagern Sie das Gerät im originalen PRIMES-Transportkoffer (Option). Maßnahmen zur Produktentsorgung PRIMES ist im Rahmen des Elektro- und Elektronikgerätegesetzes (ElektroG) verpflichtet, nach dem August 2005 gefertigte PRIMES-Messgeräte kostenlos zu entsorgen. PRIMES ist bei der Stiftung Elektro-Altgeräte-Register („EAR“) als Hersteller unter der Nummer WEEE-Reg.- Nr.

  • Seite 113: Konformitätserklärung

    MicroSpotMonitor MSM Konformitätserklärung Revision 01/2019 DE...

  • Seite 114: Technische Daten

    4 bar Min. Kühlwasserdurchfluss 1,5 l/min Kühlwassertemperatur T Taupunkttemperatur < T < 30 °C Soll außerhalb dieser Spezifikation gearbeitet werden, bitte vorher mit PRIMES Rücksprache halten. Kommunikation Schnittstelle RS485/Ethernet Maße und Gewichte 427 (+12) zzgl. Stecker x 202 x 181 mm Abmessungen (L x B x H) + 35 mm oder 120 ...
  • Seite 115 MicroSpotMonitor MSM Umgebungsbedingungen Gebrauchstemperaturbereich 10 – 40 °C Lagerungstemperaturbereich 5 – 50 °C Referenztemperatur 22 °C Zulässige relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend) 10 – 80 % Revision 01/2019 DE...

  • Seite 116: Abmessungen

    MicroSpotMonitor MSM Abmessungen 427 +12 157,5 187,5 166,6 2x Ø11 4x Ø6,6 2x Ø6,6 316,6 +12 Alle Angaben in mm (Allgemeintoleranz ISO 2768-v) Revision 01/2019 DE...

  • Seite 117: Anhang

    1. Schalten Sie die Laserquelle aus. 2. Stellen Sie sicher, dass alle bewegliche Teile, z. B. Roboterarme, etc. im Stillstand sind und dass diese nicht unbeabsichtigt in Bewegung gebracht werden können. 3. Schalten Sie die Spannungsversorgung des MicroSpotMonitor MSM aus. ACHTUNG Beschädigung/Zerstörung der optischen Bauteile Durch Verschmutzungen können die optischen Bauteile beschädigt oder zerstört werden.

  • Seite 118: Datei „Laserds.ini" - Ein Beispiel

    MicroSpotMonitor MSM 21.2 Datei „laserds.ini“ – ein Beispiel Unten abgebildet ist der Inhalt einer laserds.ini-Datei. Hier sind einige Starteinstellungen des Systems defi- niert – unter anderem: • voreingestellte serielle Schnittstelle. • Einstellungen für die Strahlsuche wie Schwellhöhe und die räumliche Auflösung bei der Suche.

  • Seite 119: Beschreibung Des Mdf-Dateiformats

    MicroSpotMonitor MSM 21.3 Beschreibung des MDF-Dateiformats Das MDF-Dateiformat ist ein einfaches ASCII-Format, das die wichtigsten Daten einer Strahlvermessung - die räumliche Leistungsdichteverteilung enthält. MDF steht für „mailable data format“. Durch dieses vereinheitlichte Format sollen Konversionsprobleme zwischen unterschiedlichen Auswerteprogrammen reduziert werden und auch eine sichere Datenübertragung auch z. B. durch E-Mail gewährleistet werden.

  • Seite 120: Optische Komponenten

    MicroSpotMonitor MSM 21.4 Optische Komponenten Der MicroSpotMonitor MSM ist ein kamerabasiertes Messsystem. Je nach Anwendungsfall können sich im Strahlengang bis zu 7 verschiedene optische Elemente befinden. Ihr Zweck und die Funktionsweise der einzelnen Komponente wird in den nächsten Kapiteln genauer erläu- tert.

  • Seite 121: Messobjektiv

    MicroSpotMonitor MSM 21.4.1 Messobjektiv Das Messobjektiv ist ein Linsensystem mit der Aufgabe, eine definierte Ebene „oberhalb“ des Messobjektivs auf den CCD-Sensor abzubilden. „Oberhalb“ bedeutet in diesem Falle, dass die Ebene außerhalb des Mi- croSpotMonitor MSM liegt. Dieses berührungslose Messen bietet den Vorteil, dass auch sehr große Leistungsdichten (GW/cm²) detektiert werden können.
  • Seite 122 = ω (1.3) σ(z) Ist das passende Messobjektiv gewählt, erkennt der MicroSpotMonitor MSM über eine elektronische Codie- rung an der Halterung des Messobjektivs das montierte Messobjektiv und passt die zur Verfügung stehen- den Messfenster an. Wäre beispielsweise die maximale quadratische Messfenstergröße bei einer 1:1 Abbildung auf dem CCD- Sensor 4 mm x 4 mm so ist sie bei einer 10:1 Vergrößerung auf 0,4 mm x 0,4 mm reduziert.
  • Seite 123 MicroSpotMonitor MSM Positionierung des fokussierten Laserstrahls über dem MicroSpotMonitor MSM Die Abbildungseigenschaften des Messobjektivs machen es nötig, den Laserstrahlfokus in einem bestimm- ten Bereich über dem Messobjektiv zu positionieren. Gleichung (1.1) zeigt, dass je weiter der Fokus über dem Messobjektiv liegt (afokus), desto kürzer wird er hinter dem Messobjektiv abgebildet (a´fokus).
  • Seite 124 Fester OD-Filter (Option) Messobjektiv Prismen Abb. 21.6: Ausschnitt aus dem Strahlengang des MicroSpotMonitor MSM Die Reflexion wird beschrieben mit den Fresnelschen Formeln. Sie beschreiben das sogenannte Reflexions- bzw. Transmissionsverhältnis von Licht an Trennflächen. (1.4) : Reflexionsverhältnis von senkrecht polarisiertem Licht.
  • Seite 125 Einfallswinkel von 45°, dem Einfallswinkel unter dem der Strahl im MicroSpotMonitor MSM verläuft. Aus diesem Grund sind die Prismen so in den MicroSpotMonitor MSM integriert, dass der Strahl in alle drei Raumrichtungen abgelenkt wird (siehe Abb. 21.6 auf Seite 124). Somit ist sichergestellt, dass immer zwei der drei Einfallsebenen der Prismen senkrecht zueinander stehen und sich die Polarisationseffekte kompen- sieren.

  • Seite 126: Fester Filter Und Filterrad

    Die Filter sind allerdings nur mit wenigen 100 mW/cm² belastbar, weswegen sie sich nicht als Ersatz für die Prismen eignen würden. Die maximale mittlere Leistung mit welcher der MicroSpotMonitor MSM bestrahlt werden darf ist mit 250 Watt (nur 500 W Version mit Wasserkühlung) angegeben. Bei Anwendungen in diesem Leistungsbereich ist stets darauf zu achten, dass die Apertur des Messobjektivs möglichst gut ausgenutzt wird.

  • Seite 127: Strahlwegverlängerung (Swv)

    Die aktive Sensorfläche des verwendeten CCD-Sensors beträgt 4,76 mm x 5,58 mm. Bei einem 10-fach Messobjektiv bedeutet das, dass im Standardfall der MicroSpotMonitor MSM zum Beispiel bei CCD-Betrieb auf ca. 0,5 mm genau in x- und y- Richtung positioniert werden muss. Mit Hilfe des Justa- geobjektivs kann dieser Bereich auf 1,5 mm erweitert werden.

  • Seite 128: Absorber

    • Frame Interline Transfer (FIT) Die im MicroSpotMonitor MSM eingesetzte Variante, Interline Transfer, ist in der Industrie weit verbreitet und bietet die Möglichkeit einer Belichtungszeitsteuerung. Der verwendete CCD-Sensor hat einen Pixel Abstand von 4,6 μm, bei 1 024 x 1 360 photoaktiven Pixel. Der Dynamikbereich von 55 dB ist mit Hilfe einer Belichtungszeitsteuerung auf über 130 dB erweitert.
  • Seite 129 Das Auslesen des Ausleseregisters nimmt hierbei die 10-fache Zeit der anderen Schritte in Anspruch. Nach der Belichtung dauert es ca. 132 ms um alle Pixel aus dem Sensor auszulesen. 120 ms davon benötigt das Ausleseregister. Um das Auslesen zu beschleunigen, kann bei dem MicroSpotMonitor MSM die auszule- sende Datenmenge begrenzt werden.
  • Seite 130 MicroSpotMonitor MSM Smear-Effekt Abb. 21.12: Beispiel für den Smear-Effekt Bei hohen Beleuchtungsstärken kann es verstärkt zu dem sogenannten Smear-Effekt kommen. Dieser stellt sich bei der Visualisierung der Ergebnisse als Signalbalken dar, der sich ausgehend von einer hellen Stelle des Bildes bis zum Rand erstreckt. Dieser Balken entsteht, weil bei hohen Intensitäten doch Ladungen in den Dunkelregistern generiert werden.
  • Seite 131 MicroSpotMonitor MSM Die Schieberegister werden ausgelesen, ohne dass zuvor ein Phototransfer stattgefunden hat. Sind die Daten für die Dunkelmessung verarbeitet, wird der Zeilenzähler wieder auf Null gesetzt. Der oben beschrie- bene Ablauf wiederholt sich, jetzt wird - nachdem die Belichtungszeit abgelaufen ist - sofort ein Phototransfer ausgelöst.

  • Seite 132: Messen Von Gepulster Laserstrahlung

    MicroSpotMonitor MSM 21.5 Messen von gepulster Laserstrahlung Der CCD-Sensor des MicroSpotMonitor MSM besitzt eine Dynamik von 55 dB. Um diese zu erweitern wurde eine Integrationszeitsteuerung implementiert. Die Integrationszeit kann zwischen 12 µs und 186 ms frei ge- wählt werden. Ist im Dialogfenster Einzelmessung bzw. Kaustikmessung die Funktion Optim. (Optimize) aktiviert, be- stimmt die LaserDiagnosticsSoftware LDS automatisch –...
  • Seite 133 Die lange Timeoutzeit (20 sec) hilft auch Laser zu vermessen, bei denen der Puls manuell ausgelöst werden muss. Ist dies der Fall, wird zuerst eine Messung gestartet. Der MicroSpotMonitor MSM fährt in die ge- wünschte Position und durchläuft intern eine bestimmte Routine. Wenn der MicroSpotMonitor MSM bereit für einen Trigger ist, wird dies im Dialogfenster Freie Kommunikation angezeigt.

  • Seite 134: Auswahl Der Messkonfiguration

    MicroSpotMonitor MSM 21.5.1 Auswahl der Messkonfiguration Es müssen verschieden Messoptionen unterschieden werden: • Messung einer einzelnen Ebene oder einer kompletten Kaustik • Messung eines kompletten Pulses oder nur eines Ausschnittes • Messung mit fester Integrationszeit oder mit Integrationszeitsteuerung • Messung im getriggerten oder ungetriggerten Betrieb •...
  • Seite 135 MicroSpotMonitor MSM Pulsfrequenz Abb. 21.15: Prozentuale Änderung der detektierten Energie bei Wegfall von genau einem Puls in Abhängigkeit der Pulsfrequenz In der Tab. 21.1 auf Seite 134 sind für verschiedene Pulsfrequenzen die Anzahl der detektierten Pulse in der maximalen Integrationszeit (186 ms) und in einer Integrationszeit von 1 ms aufgetragen.
  • Seite 136 Mit Hilfe von Neutralglasdichtefiltern, welche in den Strahlengang eingebracht werden können, ist es möglich, stets in dem gewünschten Bereich 1 - 4 zu arbeiten. Zusätzlich ist der MicroSpotMonitor MSM, wie in der Eingangsbetrachtung bereits erwähnt, mit diversen Möglichkeiten zur Triggerung ausgestattet. Zusammen mit der Integrationszeitsteuerung und einer Verzöge- rungszeitsteuerung kann so auch in Fall 1 sinnvoll gemessen werden.
  • Seite 137 MicroSpotMonitor MSM Prinzipiell kann man diese 4 Fälle in zwei Gruppen einteilen. Fall 1 und 2 müssen im getriggerten Messmode gemessen werden. Fall 4 hingegen lässt sich am besten ungetriggert im Messmode cw vermessen. Fall 3 sollte durch eine geeignete Filterauswahl ganz vermieden werden.

  • Seite 138: Beispiele Für Den Getriggerten Messbetrieb

    Messen: Eine Messung starten. Nun hat man 20 sec Zeit, einen Trigger auszulösen. Durch den Delay-Wert von 0,95 ms und der fest vorgegebenen Integrationszeit von 100 µs detektiert der MicroSpotMonitor MSM den zweiten Laserpuls nach Auslösen des Triggers. Beispiel 2: Pulsdauer 1 ms...

  • Seite 139: Zusammenfassung

    Vermeiden Sie auf jeden Fall, dass die Integrationszeit kleiner als die Pulspausen wird. Ist das der Fall, kann mit dem MicroSpotMonitor MSM ungetriggert nicht mehr richtig gemessen werden. Manchmal ist es deshalb sinnvoll die Abschwächung so zu dimensionieren, dass genau ein Puls reicht um den Sensor im Fokus zu belichten.

  • Seite 140: Grundlagen Der Strahldiagnose

    MicroSpotMonitor MSM Grundlagen der Strahldiagnose 22.1 Laserstrahlparameter Rohstrahldurchmesser d σ σ Divergenzwinkel θ Brennweite f θ Fokusdurchmesser d σ z-Achse z-Achse Abb. 22.1: Skizze zur Definition der Strahlparameter Revision 01/2019 DE...

  • Seite 141: Rotationssymmetrische Strahlen

    MicroSpotMonitor MSM 22.1.1 Rotationssymmetrische Strahlen Entsprechend ISO 11145 und ISO 11146 werden für die Charakterisierung eines rotationssymmetrischen Strahls drei Strahlparameter benötigt. • die z-Position der Strahltaille (Fokus) z • den Durchmesser der Strahltaille d σF den Fernfelddivergenzwinkel Θ • Mit Hilfe dieser drei Größen ist es möglich den Strahldurchmesser an jedem Ort entlang der Ausbreitungsrichtung zu bestimmen.

  • Seite 142: Nicht Rotationssymmetrische Strahlen

    MicroSpotMonitor MSM 22.1.2 Nicht rotationssymmetrische Strahlen Um nichtrotationssymmetrische Strahlen beschreiben zu können, werden folgende Strahlparameter benötigt. • die z-Positionen der Strahltaille (Fokus) z und z • die Durchmesser der Strahltaille d und d σ0x σ0y die Fernfelddivergenzwinkel Θ und Θ...

  • Seite 143: Berechnung Der Strahldaten

    MicroSpotMonitor MSM 22.2 Berechnung der Strahldaten Es sind - zur Berechnung der Strahldaten - sowohl die von dem ISO Standard 11146 geforderten Algorith- men zur 2. Momente-Methode implementiert, als auch die in der Industrie weit verbreitete 86 %-Methode. Für den Gauß´schen TEM00-Mode liefern beide Methoden sehr ähnliche Ergebnisse, wohingegen für die meisten anderen realen Laserstrahlen die 2. Momente-Methode größere Strahldurchmesser berechnet als...

  • Seite 144: Bestimmung Der Strahllage

    MicroSpotMonitor MSM 22.2.2 Bestimmung der Strahllage Die Strahllage wird nach der 1. Momente-Methode bestimmt. Das heißt, es wird der Schwerpunkt der Leis- tungsdichteverteilung (E(x,y,z)) bestimmt. (1.5) Nachdem die Strahllage bekannt ist, gibt es - wie eingangs des Kapitels erwähnt - zwei Möglichkeiten, den Strahlradius zu berechnen.

  • Seite 145: Radiusbestimmung Mit Der Methode Des 86%Igen Leistungseinschlusses

    MicroSpotMonitor MSM 22.2.4 Radiusbestimmung mit der Methode des 86%igen Leistungseinschlusses Der erste Schritt ist die Bestimmung des Volumens der Leistungsdichteverteilung. Es ist proportional zur Gesamtleistung. Die Addition aller Leistungsdichtewerte und ihre Multiplikation mit den Pixelabmessungen ergibt das Volumen und somit die Gesamtleistung. Ein zuverlässiger Nulllevelabzug ist auch hier die wesentli- che Basis.

  • Seite 146: Weitere Radiusdefinitionen (Option)

    3. Gaußfit-Methode 4. 1/e²-Leistungsdichteabfall-Methode 5. Leistungseinschluss-Methode mit frei definierbarem 1. Leistungseinschluss 6. Leistungseinschluss-Methode mit frei definierbarem 2. Leistungseinschluss 2. Momente Leistungseinschluss Schneidenmethode Schlitzmethode Gaußfitmethode 1/e²-Leistungsdichte Abb. 22.5: Schematische Darstellung der optional für die PRIMES-LaserDiagnosticsSoftware LDS angebotenen Strahlradiusdefinitionen Revision 01/2019 DE...

  • Seite 147: Messfehler

    MicroSpotMonitor MSM 22.3 Messfehler Unabhängig von dem Messprinzip gibt es viele Fehlerquellen bei der Bestimmung des Strahlradius. • die Bestimmung des Nulllevel • die endliche Größe des Messfensters • das Auflösungsvermögen in x- und y- Richtung • das Auflösungsvermögen bezogen auf die Intensität der Bestrahlung 22.3.1...

  • Seite 148: Fehler Durch Falsche Wahl Der Messfenstergröße

    MicroSpotMonitor MSM 22.3.3 Fehler durch falsche Wahl der Messfenstergröße Für die korrekte Normierung des Volumens unterhalb der gemessenen Verteilung ist es notwendig, dass die gesamte Laserstrahlung innerhalb des Messfensters liegt. Da die Intensitätsverteilung im Prinzip unendlich ausgedehnt ist, liegt stets ein Bruchteil der Strahlleistung außerhalb des Messbereichs.

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