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Inficon 560-300 Anleitungen zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Originalbetriebsanleitung, Betriebsanleitung
INFICON 560-300 Originalbetriebsanleitung (144 Seiten)
Massenspektrometer-Modul
Marke:
INFICON
| Kategorie:
Messgeräte
| Dateigröße: 8 MB
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
3
1 Über diese Anleitung
7
Mitgeltende Dokumente
7
Zielgruppen
7
Warnhinweise
7
Begriffsdefinitionen
9
2 Sicherheit
12
Bestimmungsgemäße Verwendung
12
Anforderungen an den Betreiber
12
Personalqualifikation
13
Pflichten des Bedieners
13
Gefahren
14
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
16
4 Beschreibung
17
Funktion
17
Geräteaufbau
18
Gesamtgerät (LDS3000)
18
Gesamtgerät (LDS3000 AQ)
19
Anschlussblock
23
MSB-Box
23
Kennzeichnungen am Gerät
26
Technische Daten
26
Umgebungsbedingungen
27
Werkseinstellungen
27
5 Montage LDS3000
30
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
30
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
31
Anschluss ULTRA, FINE oder GROSS Wählen
32
Komponentenverbindungen Herstellen
33
Elektrische Verbindungen Herstellen
34
6 Montage LDS3000 AQ (Akkumulation)
35
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
35
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
36
Komponenten Auswählen und Verbindungen Herstellen
38
Elektrische Verbindungen Herstellen
40
7 Betrieb LDS3000
41
Gerät Einschalten
41
Voreinstellungen
42
Einheit für die Leckrate Wählen
43
Einheit für den Druck Wählen
44
Kompatibilitätsmodus Wählen
44
Betriebsart Wählen
46
Gasart Wählen (Masse)
47
Gerät Kalibrieren
48
Zeitpunkt und Generelle Voreinstellungen
48
Interne Kalibrierung Konfigurieren und Starten
50
Externe Kalibrierung Konfigurieren und Starten
51
Externe Dynamische Kalibrierung Starten
53
Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL
55
Kalibrierung Prüfen
56
Kalibrierung mit Externem Prüfleck Prüfen
56
Kalibrierung mit Internem Prüfleck Prüfen
56
Kalibrierfaktor Eingeben
57
Kalibrierfaktor Schnüffeln
57
Kalibrierfaktor Vakuum
57
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
58
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
58
Maschinen- und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen
59
Messung Starten und Stoppen
60
Parameter Speichern und Laden
60
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
61
Gas-Untergründe mit den "ZERO"-Funktionen Unterdrücken
61
Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern
62
Gasballastventil der Vorvakuumpumpe Steuern
63
Anzeigegrenzen Wählen
64
Triggerwerte Einstellen
64
Kapillarüberwachung Einstellen
65
Drehzahl der Turbomolekularpumpe Einstellen
66
Kathode Auswählen
66
Einstellungen für den XL Sniffer Adapter
67
Einstellungen Zurücksetzen
69
8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
71
Gerät Einschalten
71
Voreinstellungen
71
Einheit für die Leckrate Wählen
72
Einheit für den Druck Wählen
73
Kompatibilitätsmodus Wählen
73
Basiseinstellungen über Assistent Vornehmen
75
Peak Bestimmen
76
Leckrate von Prüflecks Hinterlegen
77
Gerät Kalibrieren
78
Zeitpunkt und Generelle Voreinstellungen
78
Kalibrierfaktor Eingeben
79
Kalibrierfaktor Vakuum
79
Kalibrieren
80
ZERO Ausführen
82
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
83
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
83
Messung Durchführen
84
Parameter Speichern und Laden
85
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
85
Zerozeit Faktor AQ" Anpassen
86
Anzeigegrenzen Wählen
86
Drehzahl der Turbomolekularpumpe Einstellen
86
Kathode Auswählen
87
Einstellungen Zurücksetzen
87
9 Erweiterungsmodul Nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ)
89
Typ des Erweiterungsmoduls Auswählen
89
Einstellungen für das I/O-Modul IO1000
89
Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen
89
Ein- und Ausgänge Belegen
90
Digitale Eingänge des I/O-Moduls Belegen
98
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls Belegen
100
Einstellungen für das Busmodul BM1000
102
10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
103
Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-Leds
111
11 Betrieb CU1000 (Optional)
113
Elemente des Touchscreens
113
Elemente der Messanzeige
113
Elemente der Fehler- und Warnungsanzeige
116
Einstellungen und Funktionen
117
Touchscreen-Einstellungen
117
Bedienertypen und Berechtigungen
120
Bediener Abmelden
122
Daten Aufzeichnen
122
Einstellungen Zurücksetzen
122
Funktionen
122
Informationen Aufrufen
124
Software Aktualisieren
127
Software der Bedieneinheit Aktualisieren
127
Softwareversion der MSB-Box Prüfen und Aktualisieren
127
Software des I/O-Moduls Aktualisieren
128
12 Wartung
130
Wartung bei INFICON
130
Allgemeine Wartungshinweise
130
Wartungsplan
131
Wartungsarbeiten
132
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen
132
13 Außerbetriebnahme
137
Lecksuchgerät Stillsetzen
137
Massenspektrometer-Modul Entsorgen
137
Massenspektrometer-Modul Einsenden
137
14 Anhang
138
CE-Erklärung
138
Einbauerklärung
139
Kontaminationserklärung
140
Rohs
141
Inficon 560-300 Betriebsanleitung (76 Seiten)
Massenspektrometer-Modul
Marke:
Inficon
| Kategorie:
Messgeräte
| Dateigröße: 3 MB
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
3
1 Zu dieser Anleitung
6
Zielgruppen
6
Mitgeltende Dokumente
6
Darstellung von Informationen
6
Warnhinweise
6
Text-Auszeichnungen
7
2 Sicherheit
8
Bestimmungsgemäße Verwendung
8
Anforderungen an den Betreiber
8
Anforderungen an den Anwender
8
Allgemeine Sicherheitshinweise
9
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
10
4 Beschreibung
11
Funktion
11
Geräteaufbau
12
Gesamtgerät
12
Anschlussblock
13
MSB-Box
13
Technische Daten
15
Mechanische Daten
15
Elektrische Daten
15
Physikalische Daten
15
Umgebungsbedingungen
16
Werkseinstellungen
16
5 Montage
19
Lage der Anschlüsse den Einbauverhältnissen Anpassen
19
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Montieren
20
Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage Anschließen
21
Anschluss
22
Schlauchverbindungen Herstellen
22
Elektrische Verbindungen Herstellen
23
6 Betrieb
24
Gerät Einschalten
24
Voreinstellungen
25
Kompatibilitätsmodus und Betriebsart Wählen
25
Gasart Wählen (Masse)
27
Gerät Kalibrieren
27
Interne Kalibrierung
29
Kalibrierung Besonderheiten Intern
29
Externe Kalibrierung
30
Externe Dynamische Kalibrierung
32
Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL (Zubehör)
34
Kalibrierung mit Internem Prüfleck Prüfen
34
Kalibrierung Prüfen
34
Kalibrierung mit Externem Prüfleck Prüfen
35
Kalibrierfaktor Eingeben
36
Kalibrierfaktor Schnüffeln
36
Kalibrierfaktor Vakuum
36
Maschinen- und Schnüffelfaktor Einstellen
36
Maschinen- und Schnüffelfaktor Manuell Einstellen
37
Maschinen- und Schnüffelfaktor Per Maschinenkalibrierung Einstellen
37
Messung Starten und Stoppen
38
Parameter Speichern und Laden
39
Messdaten Kopieren, Messdaten Löschen
39
Gas-Untergründe mit den „ZERO"-Funktionen Unterdrücken
39
Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern
40
Vorvakuumpumpe Dekontaminieren
41
Einheit für die Leckrate Wählen
41
Einheit für den Druck Wählen
42
Anzeigegrenzen Wählen
42
Triggerwerte Einstellen
43
Kapillarüberwachung Einstellen
43
Turbomolekularpumpe Einrichten
43
Ionenquelle Einrichten
44
Vorverstärker Einstellen
45
Einstellungen für den XL Sniffer Adapter
46
Typ des Erweiterungsmoduls Auswählen
48
Einstellungen für das I/O-Modul IO1000
48
6.22.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen
48
6.22.2 Ein- und Ausgänge Belegen
49
Digitale Eingänge des I/O-Moduls Belegen
55
Digitale Ausgänge des I/O-Moduls Belegen
57
Einstellungen für das Busmodul BM1000
58
Warn- und Fehlermeldungen
58
6.24.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-Leds
65
Einstellungen Zurücksetzen
65
7 Wartung
66
Wartung bei INFICON
66
Allgemeine Wartungshinweise
66
Wartungsplan
67
Wartungsarbeiten
68
Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe Tauschen
68
8 Außerbetriebnahme
72
Lecksuchgerät Stillsetzen
72
Massenspektrometer-Modul Entsorgen
72
Massenspektrometer-Modul Einsenden
72
Anhang
73
EG-Einbauerklärung
73
Kontaminationserklärung
74
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