Vakuumsystemdiagramm Des Lecksuchers - Agilent Technologies G8610A Bedienungsanleitung

Testanschluss
V7
Testanschluss-Thermoelement
V2 V3
* V8
**
Abbildung 7-10
* Normalerweise geöffnetes Ventil, eingeschaltet geschlossen während aller Betriebe.
** Modell G8610B, G8611C, G8612C, G8611B während der Rohbearbeitungssequenz.
Agilent Technologies Heliumlecksucher
Kalibriertes Leck
V6
V5
V4
V1

Vakuumsystemdiagramm des Lecksuchers

Spektrometer
V1 Foreline
V2 Contraflow1
V3 Contraflow2
V4 Midstufe1
V5 Midstufe2
V6 Kal Leck
V7 Lüften
*V8 Ablassen
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